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UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID ESCUELA TÉCNICA SUPERIOR DE INGENIEROS DE TELECOMUNICACIÓN TESIS DOCTORAL Diseño, fabricación y caracterización de diodos láser basados en pozos cuánticos de InGaAs(N)/GaAs Presentada por: D. Jose María Ulloa Herrero Licenciado en Ciencias Físicas Directores: D. Jose Luis Sánchez-Rojas Aldavero Catedrático de Universidad D. Adrián Hierro Cano Profesor Titular Interino de Universidad Madrid, febrero de 2005 Tribunal nombrado por el Mgfco. Y Excmo. Sr. Rector de la Universidad Politécnica de Madrid, el día ............... de ........................ de 20....... Presidente D. ................................................................... Vocal D. ................................................................... Vocal D. ................................................................... Vocal D. ................................................................... Secretario D. ................................................................... Realizado el acto de lectura y defensa de la Tesis el día ............ de ..................... de 20........en .................................... Calificación .................................................................. EL PRESIDENTE LOS VOCALES EL SECRETARIO Quien no conoce nada no ama nada. Paracelso A mi familia RESUMEN En este trabajo se pretende contribuir al desarrollo de diodos láser de pozo cuántico en dos rangos de longitud de onda de gran interés por sus aplicaciones y que no están actualmente satisfactoriamente cubiertos por las tecnologías existentes. Estos son: a) 1.06 – 1.1 µm: comunicaciones ópticas entre satélites a 1.06 µm, aplicaciones magnetométricas de alta sensibilidad a 1.08 µm, detección óptica de gases, instrumentación científica, metrología, aplicaciones médicas etc. b) 1.3 – 1.55 µm: comunicación por fibra óptica Para la zona de 1.06 – 1.1 µm la aproximación elegida es el uso de pozos cuánticos de InGaAs/GaAs crecidos sobre substrato de GaAs con orientación (111)B. El espesor crítico en esta orientación es mayor que en la más convencional (100), lo que permitiría obtener una longitud de onda de emisión mayor y una mayor fiabilidad en los dispositivos por encima de 1.06 µm. Además, la presencia de un campo piezoeléctrico en el caso (111) hace que estos dispositivos resulten muy interesantes desde el punto de vista físico, permitiendo el desarrollo de nuevas aplicaciones, como moduladores ópticos integrados y dispositivos no lineales. En cuanto a la zona de 1.3 – 1.55 µm, se ha elegido el cuaternario GaInNAs. Se ha demostrado que al sustituir una pequeña cantidad de arsénico por nitrógeno en GaAs o InGaAs se produce una fuerte disminución en la energía del gap y cambian drásticamente las propiedades electrónicas del material. En particular, un pozo de GaInNAs/GaAs presenta una mayor discontinuidad en la banda de conducción que uno de InGaAsP/InP, usado actualmente a nivel comercial, por lo que es de esperar un mayor confinamiento de electrones y por tanto un mejor comportamiento a altas temperaturas. Además, este sistema permite la realización de láseres de cavidad vertical basados en la ampliamente establecida tecnología de los reflectores de Bragg de Al(Ga)As/GaAs, evitando así las complicaciones tecnológicas presentes en el caso del InP. InGaAs/GaAs (111)B Se realiza un extenso análisis teórico sobre las propiedades de ganancia de láseres de pozo cuántico de InGaAs/GaAs (111)B, y se realiza un estudio comparativo con el caso (100). Se calcula además la estructura de la banda de valencia de los pozos considerando interacción huecos pesados- huecos ligeros en la aproximación de masa efectiva degenerada, resolviendo el Hamiltoniano de Luttinger-Kohn 4x4, y se estudia cómo ésta se ve modificada por el contenido de In, la anchura de pozo y el campo piezoeléctrico. Se calcula también la renormalización del gap (BGR) en estas estructuras y se compara con el correspondiente al caso (100). Teniendo en cuenta todo esto, se proponen unas estructuras óptimas para obtener emisión láser en 1.06 y 1.08 µm. Se fabrican y caracterizan láseres piezoeléctricos de InGaAs con altos contenidos de In, con el objetivo de obtener emisión en 1.06 y 1.08 µm, y se explora la longitud de onda máxima alcanzable con este tipo de estructuras. Los resultados experimentales obtenidos de sus figuras de mérito se comparan con las predicciones del cálculo con el objetivo de validar el modelo. Una vez demostrado el funcionamiento de los láseres, se utilizan medidas de emisión espontánea en un rango muy amplio de corrientes para tratar de profundizar experimentalmente en el funcionamiento de los dispositivos. A partir de estas medidas se obtiene información sobre la influencia del campo piezoeléctrico y sobre el BGR. Esta información se utiliza a su vez para una verificación adicional del modelo teórico. GaInNAs/GaAs Se desarrollan dos modelos con distinto grado de aproximación, ambos basados en el modelo de Band-Anticrossing (BAC), que describen los estados de energía y las funciones de onda de los electrones confinados en pozos de GaInNAs/GaAs. Tras validar los cálculos comparando con resultados experimentales, se realiza un detallado análisis de la estructura de bandas en función de los parámetros de diseño del pozo. Posteriormente se calcula la ganancia material en pozos de GaInNAs/GaAs considerando un modelo simple para la estructura de bandas, pero que supone una buena aproximación en un amplio rango de inyección de portadores. Se analiza en detalle el efecto del N en la ganancia, así como el del In y la anchura del pozo. Seguidamente se realiza una extensa caracterización óptica y estructural de pozos cuánticos de GaInNAs crecidos por la técnica de epitaxia de haces moleculares (MBE). Se estudia como la emisión se deteriora al aumentar el contenido de N, se muestra el efecto del aleado térmico rápido (RTA) en la fotoluminiscencia (PL), y se intenta encontrar un aleado óptimo que permita mejorar de forma sistemática la emisión óptica de las muestras. Se realiza un estudio estructural, por microscopía electrónica de transmisión (TEM), y óptico, sobre el efecto del RTA en pozos con altos contenidos de In y N pero diferente morfología: intercara superior muy rugosa (comienzo del crecimiento 3D), intercaras planas pero fluctuaciones de composición, y alta calidad cristalina (intercaras planas y sin fluctuaciones de composición aparentes). Se relaciona la microestructura del pozo con sus propiedades ópticas, y en particular con la localización de portadores, y se estudia en detalle cómo el RTA afecta a la localización mediante medidas de PL con temperatura. En lo referente a dispositivos, se fabrican y caracterizan diodos emisores de luz (LED) y láseres con un pozo simple de GaInNAs/GaAs en la zona activa. Se estudia en detalle la electroluminiscencia (EL) de los LEDs en función de la temperatura y la corriente inyectada. El objetivo es aclarar el origen y la influencia relativa de los distintos procesos de recombinación que determinan la eficiencia del LED. El efecto del RTA en las propiedades electro-ópticas de los dispositivos es también analizado. Comparando medidas de EL y fotocorriente (PC) se cuantifica el efecto de la localización de portadores y se relaciona con la morfología del pozo. Se comparan las prestaciones de LEDs basados en pozos que presentan una morfología diferente. Finalmente se caracterizan los láseres fabricados, mostrándose sus figuras de mérito principales, y se analiza el impacto que la morfología del pozo tiene en éstas. Se comparan las longitudes de onda de emisión medidas con las que predice el modelo, determinando asíel grado de validez del mismo. SUMMARY The objective of the present work is to contribute to the development of quantum well (QW) laser diodes in two different wavelength ranges of great interest because of their applications, and that are not successfully covered by the existing technologies. These are: a) 1.06 – 1.1 µm: optical intersatellite links at 1.06 µm, high sensibility magnetometer applications at 1.08 µm, optical detection of gases, scientific instrumentation, metrology, medical applications etc. b) 1.3 – 1.55 µm: optical fiber communications. For the first region, the chosen approach is to use InGaAs/GaAs QWs grown on (111)B oriented GaAs substrate. The critical layer thickness in this orientation is larger than in the conventional (100) orientation, thus permitting to achieve longer lasing wavelengths and higher reliability in devices emitting above 1.06 µm. In addition, the presence of a piezoelectric field in the (111) orientation makes these devices very interesting from the physical point of view, giving rise to new applications such as integrated optical modulators and non-linear devices. Regarding the 1.3 – 1.55 µm range, we have focused on the quaternary alloy GaInNAs. It has been found that replacing a small amount of arsenic atoms in GaAs or InGaAs by nitrogen strongly reduces the energy gap and drastically changes the electronic structure. This opens interesting prospects for band structure engineering and specifically for the feasibility of long wavelength (1.3-1.55 µm) lasers with improved performance. In particular, the larger conduction-band offset in InGaAsN compared to the commonly used InGaAsP system is expected to lead to a stronger electron confinement that should result in an improved high temperature laser performance. In addition, this system allows the realization of vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs) based on the well-established Al(Ga)As/GaAs Bragg reflector technology, circumventing the technological problems caused by the lack of high quality Bragg reflectors in the InP- based material system. InGaAs/GaAs (111)B An extensive theoretical analysis of the gain properties of InGaAs/GaAs (111)B QW laser diodes is performed comparing to the (100) counterparts. The valence band structure of the QWs is calculated considering heavy hole – light hole interaction in the degenerate effective mass approximation, by solving the 4x4 Luttinger-Kohn Hamiltonian, and the results are compared with those of the parabolic approximation. The band gap renormalization (BGR) is also calculated for these structures and compared to the (100) case. Accounting for all these processes, the optimum heterostructures for laser emission at 1.06 and 1.08 µm are proposed. Based on the previous design, piezoelectric InGaAs/GaAs QW lasers with high In content are fabricated and characterized in order to achieve emission at 1.06 and 1.08 µm, and the longer possible emission wavelength that can be obtained with these structures is explored. The experimental results obtained from the figures of merit are compared with the predictions of the theoretical model in order to validate it. Once laser emission is demonstrated, spontaneous emission measurements in a wide range of injection currents are performed. From these measurements, information about the influence of the piezoelectric field and the BGR is obtained, which is again used to compare with the theoretical model. GaInNAs/GaAs Two theoretical models based on the Band-Anticrossing (BAC) model using different approximations are developed in order to describe the confined electronic states in a GaInNAs/GaAs QW. An experimental validation of the results is carried out, and after that, a detailed analysis of the QW conduction band structure as a function of the QW design parameters is performed. Using the previous models, the material gain as a function of the injection level is calculated for moderate carrier densities and its dependence with the nitrogen and indium contents, and QW thickness is analysed. An extensive optical and structural characterization of GaInNAs QWs grown by Molecular Beam Epitaxy is also performed. The degradation of the photoluminescence (PL) spectra with the N content is studied, as well as the positive effect that Rapid Thermal Annealing (RTA) has on the light emission properties. An structural analysis by Transmission Electron Microscopy (TEM) together with the optical characterization allows to establish a direct relation between the QW morphology, the optical properties and the effect of RTA on the luminescence, and clarifies the impact of RTA on carrier localization. Regarding devices, light emitting diodes (LED) based on a single GaInNAs QW are fabricated and characterized. The electroluminescence (EL) of the LEDs is analysed in detail as a function of temperature and injection current in order to find the origin and relative influence of the different carrier recombination mechanisms that determine the LED efficiency. The effect of RTA on the opto-electronic properties of the devices is also studied. From a comparison of EL and photocurrent measurements, carrier localization is quantified and directly related to the QW morphology as obtained by TEM. The performance of devices based on QWs with different morphologies are also compared. Finally, long wavelength laser diodes with a similar active zone to that of the LEDs are fabricated and characterized, and lasing is demonstrated up to 1.486 µm. The measured lasing wavelengths are compared with the ones predicted by the model, thus determining its accuracy. AGRADECIMIENTOS En este apartado quiero dar las gracias a toda la gente que de alguna manera ha participado en el desarrollo de este trabajo. He tenido la suerte de poder realizar esta tesis en el ISOM, un laboratorio de primera línea que cuenta con unos medios muy poco frecuentes en España. Por eso quiero dar las gracias al Prof. Elías Muñoz y al Prof. Enrique Calleja, que dirigen el grupo de semiconductores del ISOM en el que yo he trabajado y que han conseguido hacer de él un grupo puntero a nivel internacional Quiero dar especialmente las gracias al los profesores José Luis Sánchez-Rojas, José Manuel García Tijero y Adrián Hierro. José Luis y José Manuel me entrevistaron y me seleccionaron, depositando en mí su confianza, y me guiaron en mis inicios en el “mundillo”. Toda la parte teórica de esta Tesis ha sido posible gracias a la enorme experiencia de José Luis, y a su trabajo previo en el campo. José Manuel, por su parte, fue quien me inició en las técnicas experimentales y me mostró la importancia de la paciencia y el rigor en ciencia. Ambos me han ofrecido siempre su ayuda; también después de haber dejado el grupo. Ha sido un placer trabajar codo a codo con Adrián en los últimos años; he aprendido mucho de él, y sin su ayuda no hubieran sido posibles los últimos capítulos de esta tesis. Aunque no hemos escrito todos los “papers” que planeábamos escribir mientras tomábamos unas birras, creo que la cosa ha ido bastante bien. Quiero mencionar también al resto de profesores y doctores, con los que he tenido el privilegio de trabajar, más o menos directamente: a Jorge Julián Sánchez, con quien coincidí aquí poco tiempo, pero cuyas muestras utilicé en la primera parte de esta tesis, a Ignacio Izpura, por su ayuda en el tema de los láseres “piezo”, a Álvaro de Guzmán, Fernando Calle, Miguel Ángel Sánchez y Alejandro Braña. También quiero dar las gracias al Prof. Ignacio Esquivias y al Dr. Luis Borruel, del Dpto. de Tecnología Fotónica, por permitirme medir en su laboratorio y por su colaboración en los primeros trabajos que publiqué. Las dos estancias realizadas en centros de investigación extranjeros me sirvieron paracomplementar mi formación y para ver como “se funciona” en otros laboratorios. Por eso quiero dar las gracias al profesor Graham Rees y al Dr. Mark Hopkinson de la Universidad de Sheffield (Reino Unido), así como al Dr. Thomas Fleischmann, por entonces estudiante en aquella Universidad. Igualmente doy las gracias a los doctores Bruno Gerard y Xavier Marcadet por permitirme trabajar un tiempo en Thales Research and Technology en París (Francia) y al Dr. Jean-Luc Reverchon, con el que trabajé allí día a día. Gracias a todo el personal del ISOM, tanto a los técnicos Julián Sánchez, Alicia Fraile, Maite Pérez y David López, por su labor en la fabricación de los dispositivos que he estudiado, como a Fernando Contreras y Oscar García por su excelente trabajo de mantenimiento de los laboratorios. Gracias también a todo el personal de secretaría, tanto del departamento (DIE) como del ISOM: Mariano, Juli, Montse, Mari Mar y Silvia. Gracias a todos los que han sido mis compañeros en estos años de trabajo, que han hecho que fuera realmente agradable el venir cada mañana a “currar”. Algunos ya son doctores y hace tiempo que se fueron, a otros les queda poco para serlo y otros acaban de empezar. Podría escribir un párrafo, o diez, de cada uno de ellos, así que voy a limitarme a nombrarlos: Fernando Naranjo “Orench”, JL Pau “Jei El Pi”, Jorge Hernando “El Hernando”, Ana Jiménez, Susana, Esperanza, Jelena, Rocio, JM Tirado, Tomás, Javier Miguel, Jorge Pedrós, Carlos Rivera, David, Pablo, Yago, Milena, Fátima, Javier Grandal, Sergio, Juan, Raquel, Miguel Montes, Fernando, Álvaro etc. Índice general Motivación, objetivos y estructura de la tesis ............................................................................................... Capítulo 1. Introducción a los diodos láser de pozo cuántico...................................................................... 1.1. Introducción....................................................................................................................................... 1.2. Estados electrónicos en pozos cuánticos ........................................................................................... 1.2.1. Aproximación de función de onda envolvente ........................................................................ 1.2.1.1. Ecuación de masa efectiva no-degenerada .................................................................... 1.2.1.2. Ecuación de masa efectiva degenerada.......................................................................... 1.3. Efecto de la deformación................................................................................................................... 1.4. Principios de funcionamiento de un láser de semiconductor ........................................................... 1.4.1. Procesos ópticos en semiconductores ...................................................................................... 1.4.2. El láser de semiconductor ........................................................................................................ 1.4.2.1. El diodo láser de pozo cuántico deformado.................................................................. Capítulo 2. Técnicas de caracterización y fabricación................................................................................. 2.1. Introducción....................................................................................................................................... 2.2. Técnicas de caracterización del material ........................................................................................... 2.2.1. Técnicas de caracterización óptica: fotoluminiscencia............................................................ 2.2.2. Técnicas de caracterización estructural: microscopia electrónica de transmisión................... 2.3. Fabricación de dispositivos: diodos electroluminiscentes y diodos láser. 2.4. Técnicas de caracterización de dispositivos ...................................................................................... 2.4.1. Electroluminiscencia................................................................................................................ 2.4.2. Fotocorriente............................................................................................................................ 2.4.3. Figuras de mérito de diodos láser ............................................................................................ 2.4.3.1. Espectro de emisión láser .............................................................................................. 2.4.3.2. Característica potencia - corriente ................................................................................. PARTE I: InGaAs/GaAs (111)B Capítulo 3. Diseño de diodos láser de pozo cuántico de InGaAs/GaAs sobre GaAs (111) B.................... 3.1. Introducción....................................................................................................................................... 3.2. Diferencias principales entre orientaciones: (111)B vs. (100) .......................................................... 3.2.1. El efecto piezoeléctrico............................................................................................................ 3.3. Descripción del modelo teórico......................................................................................................... 3.3.1. Cálculo de los niveles confinados en el pozo .......................................................................... 3.3.1.1. Comparación con experimento...................................................................................... 3.3.2. Cálculo de la ganancia y la emisión espontánea ...................................................................... 3.4. Resultados del modelo teórico .......................................................................................................... 3.4.1. Análisis de la ganancia: (111)B vs. (100) ............................................................................... 3.4.2. Criterios de diseño de la zona activa ....................................................................................... 3.5. Efecto del mezclado de bandas.......................................................................................................... 3.6. Efecto de la renormalización del gap ................................................................................................ 3.7. Diseño de láseres en 1.06 y 1.08 µm ................................................................................................. 3.8. Conclusiones ..................................................................................................................................... 1 9 10 10 10 11 12 13 16 16 19 21 24 25 25 25 28 28 33 33 35 36 37 38 42 43 44 45 47 48 48 50 54 55 57 59 68 74 75 Capítulo 4. Caracterización de dispositivos basados en pozos cuánticos de InGaAs/GaAs sobre GaAs (111) B .............................................................................................................................................................. 4.1. Introducción....................................................................................................................................... 4.2. Caracterización de diodos láser ......................................................................................................... 4.2.1. Medidas de fotoluminiscencia ................................................................................................. 4.2.2. Medida de las figuras de mérito...............................................................................................4.2.3. Comparación con el modelo teórico ........................................................................................ 4.3. Estudio del funcionamiento de los dispositivos mediante el análisis de la emisión espontánea ...... 4.3.1. Estudio del efecto del campo piezoeléctrico............................................................................ 4.3.2. Estudio del efecto de la renormalización del gap .................................................................... 4.4. Conclusiones ..................................................................................................................................... PARTE II: GaInNAs/GaAs ................................................................................................. Capítulo 5. Diseño de diodos láser de pozo cuántico de GaInNAs/GaAs ................................................... 5.1. Introducción....................................................................................................................................... 5.2. Modelado de pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs ............................................................................ 5.2.1. Modelo Band Anti-Crossing (BAC) ........................................................................................ 5.2.2. Modelos para un pozo cuántico de GaInNAs/GaAs ................................................................ 5.2.3. Comparación con experimento: deducción parámetros BAC.................................................. 5.2.4. Análisis de la estructura de bandas .......................................................................................... 5.3. Diseño de estructuras láser: cálculo de la ganancia material ............................................................ 5.4. Conclusiones ..................................................................................................................................... Capítulo 6. Caracterización de pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs........................................................... 6.1. Introducción....................................................................................................................................... 6.2. Fotoluminiscencia de pozos cuánticos de GaInNAs ......................................................................... 6.2.1. Efecto del N en la PL ............................................................................................................... 6.2.2. Efecto de la morfología del pozo ............................................................................................. 6.2.3. Efecto del aleado térmico rápido (RTA).................................................................................. 6.2.4. Localización de portadores ...................................................................................................... 6.2.5. Hacia 1.55 µm.......................................................................................................................... 6.3. Efecto del RTA en las propiedades estructurales y ópticas de los pozos .......................................... 6.3.1. Modo de crecimiento y efecto del RTA en la calidad estructural............................................ 6.3.2. Efecto del RTA en las propiedades ópticas ............................................................................. 6.3.2.1. RTA y recombinación no-radiativa ............................................................................... 6.3.2.2. Efecto del RTA en la localización de portadores .......................................................... 6.4. Conclusiones ..................................................................................................................................... Capítulo 7. Caracterización de dispositivos basados en pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs .................. 7.1. Introducción....................................................................................................................................... 7.2. Caracterización de diodos emisores de luz........................................................................................ 7.2.1. Procesos dominantes de recombinación de portadores............................................................ 7.2.2. Efecto del RTA en las propiedades electro-ópticas ................................................................. 7.2.3. Efecto de la morfología del pozo ............................................................................................. 7.3. Caracterización de diodos láser ......................................................................................................... 7.3.1. Efecto de la morfología del pozo ............................................................................................. 76 77 78 79 80 86 88 89 95 98 99 100 101 102 102 107 110 114 119 126 127 128 129 130 132 134 137 142 143 144 146 146 148 151 153 154 155 156 163 166 169 170 7.3.2. Medida de las figuras de mérito............................................................................................... 7.3.2.1. Láseres en 1.3 µm.......................................................................................................... 7.3.2.2. Láseres por encima de 1.4 µm....................................................................................... 7.3.3. Comparación con el modelo .................................................................................................... 7.4. Conclusiones ..................................................................................................................................... Capítulo 8. Conclusiones y trabajo futuro .................................................................................................... 8.1. Conclusiones ...................................................................................................................................... 8.1.1. InGaAs sobre GaAs (111)B ..................................................................................................... 8.1.2. GaInNAs .................................................................................................................................. 8.2. Trabajo futuro .................................................................................................................................... Bibliografía ...................................................................................................................................................... 173 173 180 181 184 186 187 187 188 190 194 Motivación, objetivos y estructura de la tesis 1 MOTIVACIÓN, OBJETIVOS Y ESTRUCTURA DE LA TESIS Motivación, objetivos y estructura de la tesis 2 Motivación Los diodos láser fabricados con materiales semiconductores constituyen una parte fundamental de la actual tecnología de las comunicaciones ópticas. Pero además de su importancia tecnológica, resultan de gran interés desde el punto de vista físico. Estos láseres incorporan una heteroestructura en la que la capa activa está rodeada por un material con un gap de energía mayor. El concepto de láser de heteroestructura fue propuesto en 1963 por H. Kroemer [Kro63] en los EE.UU. y por R. F. Kazarinov y Zh. I. Alferov [Alf63] en la Unión Sovietica. En 1970, el grupo de Alferov [Alf71] y Hayashi y Panish [Hay70] habían demostrado ya láseres de doble heteroestructura operando en modo continuo a temperatura ambiente. Debido a las propiedades de confinamiento de electrones que presentaban, estos láseres fueron los precursores directos de las estructuras de pozo cuántico, aunque fue sólo tras el desarrollo de dos nuevas técnicas de crecimientoen los 70, MBE (Molecular Beam Epitaxy) y MOVPE (Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy), cuando se consiguieron estructuras de pozo cuántico de calidad suficiente como para que los efectos cuánticos fueran observables en sus propiedades ópticas. Fue en 1974 cuando Dingle et al. [Din74] observaron por primera vez la característica estructura de escalones en el espectro de absorción de un pozo de GaAs/AlGaAs. Desde el punto de vista teórico, los láseres basados en pozos cuánticos presentaban ventajas considerables sobre aquellos con capas bulk en la zona activa. Además de la posibilidad de modificar la longitud de onda de emisión variando tan sólo la anchura del pozo, debían presentar una menor corriente umbral, debido a la nueva densidad de estados resultante del confinamiento en un plano [Zor93]. El primer láser de pozo cuántico aparece en la literatura en 1975, en un artículo de van der Ziel et al. [Zie75], pero presentaba aún unas características peores que las de los de láseres de doble heteroestructura. Las ventajas reales de los láseres de pozo cuántico no se demostraron hasta 1982, cuando Tsang, en los Laboratorios Bell, consiguió un dispositivo con una densidad de corriente umbral de 160 A/cm2 [Tsa82]. Actualmente son láseres de pozo cuántico los que se emplean en la mayoría de las aplicaciones. Al principio se centró toda la atención en dispositivos hechos a partir de materiales ajustados en red, por lo que los sistemas GaAs/AlGaAs e InGaAsP/InP fueron los más estudiados. Con dispositivos basados en estos dos grupos de materiales se consiguió cubrir un amplio rango de longitudes de onda (λ), que se muestra en la figura 1. El sistema GaAs/AlGaAs cubre el rango 0.65-0.80 µm, pero la λ máxima está limitada por el gap del GaAs. Por otro lado, los basados en el sistema InGaAsP/InP, cubren el rango de longitudes de onda entre 1.1 y 1.6 µm aproximadamente. Por debajo de 1.1 µm presentan un deficiente confinamiento de portadores y como consecuencia una gran sensibilidad térmica y potencia de salida limitada [Zor93]. Motivación, objetivos y estructura de la tesis 3 Figura 1. Región del infrarrojo cercano del espectro óptico y sistemas de materiales semiconductores que cubren un determinado rango de longitud de onda. El gap existente en λ ~ 0.88 - 1.1 µm (1.127 - 1.409 eV) no puede cubrirse con ninguna heteroestructura III-V ajustada en red. De las aleaciones III-V de gap directo disponibles (figura 2), el InxGa1-xAs parece el material más adecuado para obtener emisión en esa región de λ, aunque implique acomodar un desajuste de red importante (de hasta el 3%). Las primeras publicaciones sobre diodos láser basados en pozos tensionados de InGaAs/GaAs (100) fueron para dispositivos crecidos por MBE emitiendo a ∼ 1.0 µm, pero con muy altas densidades de corriente umbral (∼ 1.2 KA/cm2) [Lai84]. Además, se observó una rápida degradación [Cam83], [Lud83], y un aumento del 10 % en la corriente umbral después de 25 horas de operación. En poco tiempo se consiguieron mejores densidades de corriente umbral (465 A/cm2) y fiabilidades un poco mayores [Lai85], y a partir de 1986 la actividad en la investigación de este sistema de materiales aumentó rápidamente, obteniéndose muy buenos resultados para λ hasta 1.05 µm, debido a las propiedades ventajosas derivadas de la deformación [Col95]. Sin embargo, la fiabilidad de estos dispositivos por encima de 1.05 µm sigue actualmente siendo un problema, debido a que para λ mayor los pozos están muy cerca de su espesor crítico, por lo que el rango λ∼ 1.06-1.1 µm sigue sin estar satisfactoriamente cubierto por las tecnologías existentes. Figura 2. Parámetro de red y energía del gap de algunas de las principales familias de semiconductores. 0.7 0.8 0.9 1.0 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 λ (µm) GaInAsP/InPGaAs/AlGaAs InGaAs/GaAs (100) InGaAs/GaAs (111) GaInNAs/GaAs 0.7 0.8 0.9 1.0 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 λ (µm) GaInAsP/InPGaAs/AlGaAs InGaAs/GaAs (100) InGaAs/GaAs (111) GaInNAs/GaAs Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs GaAsN Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs GaAsN Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs GaAsN Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs Parámetro de red (Å) En er gí a de l g ap (e V ) InGaAs GaInNAs GaAsN Motivación, objetivos y estructura de la tesis 4 Resulta, sin embargo, que ese intervalo de λ es de gran interés por sus multiples aplicaciones: a) comunicaciones ópticas entre satélites a 1.06 µm b) aplicaciones magnetométricas de alta sensibilidad a 1.08 µm c) detección óptica de gases, instrumentación científica, metrología y aplicaciones médicas, en el rango 1.06-1.1 µm. Una aproximación poco estudiada para cubrir ese rango de λ entre 1.06 y 1.1 µm son los dispositivos basados en pozos cuánticos de InGaAs/GaAs crecidos en la orientación (111)B. Se ha demostrado [Sac94], [Call95] que es posible crecer capas deformadas de InGaAs/GaAs sobre sustratos de GaAs (111)B de mayor espesor que el alcanzable sobre GaAs (100) para un mismo contenido de indio (el espesor crítico de InGaAs sobre GaAs (111) es mayor que sobre GaAs (100)), lo que permitiría obtener una λ de emisión mayor, y una mayor fiabilidad en los dispositivos en torno a 1.06 µm. Además, estos dispositivos podrían presentar alguna ventaja derivada de la diferente estructura de la banda de valencia en la orientación (111), como ocurre en el caso de heteroestructuras GaAs/AlGaAs. Se demostró en el caso de láseres de pozo cuántico de GaAs/AlGaAs que la densidad de corriente umbral era menor en dispositivos crecidos sobre GaAs (111) que sobre GaAs (100) [Haya87]. Esta diferencia se atribuyó a la menor densidad de estados de huecos pesados en esta orientación, en acuerdo con las predicciones sobre el efecto de la masa efectiva de la banda de valencia en la densidad de corriente umbral hechas por Yablonovitch en 1986 [Yab86]. Desde que en 1992 Tao y Wang [Tao92] publicaron el primer láser de InGaAs/GaAs (111), operando en pulsado a 988 nm y con una corriente umbral de 267 A/cm2, varios trabajos han seguido esta línea de investigación [Ish94], [Take95], [Coo96], [Toma01]. Se aumentó la longitud de onda de laseo y se mejoraron las características de los láseres, publicándose en el 2001 emisión en 1072 nm en modo continuo con una corriente umbral de 90 A/cm2 [Tom01]. Sin embargo, hasta donde nosotros sabemos, no se había superado aún esa longitud de onda al inicio de este trabajo. Pero el interés de estos dispositivos no es solo la posibilidad de obtener longitudes de onda más largas y mayor fiabilidad que en el caso (100). Debido a la falta de simetría de inversión propia de los cristales con estructura zinc-blenda, los pozos crecidos en la orientación (111) presentan un campo piezoeléctrico, del orden de 105 V/cm. Este campo modifica la estructura de potencial del pozo y hace que estos dispositivos resulten muy interesantes desde el punto de vista físico, presentando propiedades ópticas no lineales debido a efectos de apantallamiento del campo piezoeléctrico por acumulación de portadores. Estas propiedades particulares dan lugar a nuevas aplicaciones, como moduladores ópticos integrados y dispositivos no lineales [Kho99], [Kho99b], [Ort00], [Toma02]. Motivación, objetivos y estructura de la tesis 5 Otra región de λ, la comprendida entre 1.3 y 1.55 µm, es actualmente también objeto de intensa investigación. Estas dos longitudes de onda son fundamentales en comunicaciones ópticas, ya que las fibras de cuarzo usadascomo medio de transporte de la luz tienen ahí sus mínimos de atenuación. Como ya hemos dicho, esta región está actualmente cubierta por diodos láser basados en el sistema InGaAsP/InP. No obstante, esta estructura presenta una discontinuidad de banda de conducción pequeña y por lo tanto un débil confinamiento de electrones que se refleja en un mal comportamiento a altas temperaturas (presentan temperaturas características bajas) [Pea82]. Además, el hecho de que no existan reflectores de Bragg de alta calidad basados en el sistema InP, hace que la tecnología de los láseres de cavidad vertical (VCSELs, Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser) sea muy compleja. Se han dedicado, por tanto, numerosos esfuerzos a la obtención de láseres en esas longitudes de onda usando otros substratos, especialmente GaAs. Una aproximación para llegar a 1.3 µm sobre GaAs son los puntos cuánticos de In(Ga)As. Se predicen para estos láseres unas mejores características que para los basados en pozos cuánticos, como una menor corriente umbral y una dependencia con la temperatura despreciable [Ara82], [Bim98]. Sin embargo, presentan diferentes inconvenientes, como la dificultad de obtener una distribución de puntos suficientemente homogénea o el valor pequeño de la ganancia modal [Bim98]. Todo esto hace que estos dispositivos no hayan sido aún aceptados a nivel comercial. Recientemente, Kondow ha propuesto el cuaternario GaInNAs como material adecuado para la fabricación de diodos láser emitiendo en 1.3 y 1.55 µm [Kond96]. Se ha demostrado que al sustituir una pequeña cantidad de arsénico (0.5-3 %) por nitrógeno en GaAs o InGaAs se produce una fuerte disminución en la energía del gap (ver figura 2) y cambian drásticamente las propiedades electrónicas del material [Shan99]. Este comportamiento es contrario al que cabría esperar de la tendencia general de aumento del gap al disminuir el parámetro de red, representada por el sombreado de la figura 2. Las heteroestructuras basadas en pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs abren por tanto nuevas perspectivas para la realización de láseres de λ larga (1.3-1.55 µm) con mejores prestaciones. En particular, debido a la mayor discontinuidad en la banda de conducción, es de esperar un mayor confinamiento de electrones y por tanto un mejor comportamiento a altas temperaturas. Además, este sistema permite la realización de VCSELs basados en la ampliamente establecida tecnología de los reflectores de Bragg de Al(Ga)As/GaAs, evitando así las complicaciones tecnológicas presentes en el caso del InP. Desde que en 1996 Kondow presentara el primer láser basado en un pozo simple de GaInNAs/GaAs, emitiendo en 1.18 µm con una corriente umbral de 1.83 kA/cm2 [Kon96b], se ha dedicado un gran esfuerzo a la obtención de láseres de GaInNAs en longitudes de onda mayores. Pronto se obtuvieron buenos resultados en láseres de emisión horizontal funcionando a Motivación, objetivos y estructura de la tesis 6 temperatura ambiente en 1.3 µm [Nak98], [Sat99], [Bor99], [Ego99], [Li01]. Sin embargo, las dificultades parecen aumentar exponencialmente cuando se intenta ir de 1.3 hasta 1.55 µm, aunque se han demostrado ya láseres en 1.4 µm [Ha02], [Wei02] y 1.5 µm [Fis00], [Fis01]. Las densidades de corriente umbral aumentan enormemente al pasar de 1.3 a 1.5 µm. A finales del 2001, las mejores publicadas en 1.3 µm estaban en torno a 335 – 350 A/cm2 [Liv00], [Ego01], y aumentaban a 1.5 kA/cm2 para 1.4 µm [Ha02] y hasta 34 kA/cm2 al llegar a 1.5 µm [Fis01]. El origen de estos altos valores de corriente umbral no está actualmente claro, ya que los procesos dominantes de recombinación de portadores en estos dispositivos no han sido prácticamente estudiados [Fehs02] y siguen sin ser comprendidos. Se ha comprobado mediante medidas de microscopía electrónica de transmisión que el N da lugar a la formación de fluctuaciones laterales de composición y deformación en el GaInNAs [Gre00], [Cha03], [Cha03b] que no aparecen en el InGaAs, así como a una mayor rugosidad en la intercara superior y una aceleración de la transición al régimen de crecimiento tridimensional [Cha03]. Además, numerosos experimento ópticos concluyen que la eficiencia radiativa de la aleación GaInNAs disminuye rápidamente con la incorporación de N [Xin98], [Buy99b], [Hak02]. Todo esto estaría en principio influyendo en las prestaciones de los láseres basados en pozos cuánticos de esta aleación, por lo que el efecto del N en las propiedades ópticas y estructurales del GaInNAs es actualmente intenso objeto de investigación. Este esfuerzo en la comprensión del efecto del N en la aleación se desarrolla también desde el punto de vista teórico, y se han desarrollado en los últimos años modelos basados en diferentes aproximaciones que tratan de explicar los resultados experimentales [Wei96], [Lind99], [Sha99], [Kent01]. Como resultado del intenso trabajo desarrollado en estos últimos años en cuanto a la comprensión de las propiedades opto-electrónicas del GaInNAs, parece demostrada su utilidad en la fabricación de láseres en 1.3 µm. Sin embargo, por encima de esa longitud de onda no se han conseguido aún resultados suficientemente satisfactorios. Objetivos En este trabajo se pretende contribuir al desarrollo de diodos láser de pozo cuántico de InGaAs/GaAs (111)B, para emisión en 1.06-1.1 µm, y GaInNAs/GaAs, para emisión en 1.3- 1.55 µm. A la hora de diseñar un dispositivo con las mejores prestaciones es fundamental la optimización de la ganancia, por lo que se realizará un amplio trabajo teórico de modelado de la estructura de bandas y la ganancia material tanto para el InGaAs como para el GaInNAs. Motivación, objetivos y estructura de la tesis 7 En el caso del InGaAs, al conocerse ya mejor las propiedades del material, nos centraremos en el diseño, fabricación y caracterización de dispositivos, tratando de explorar la longitud de onda máxima alcanzable con esta estructura, así como en el estudio experimental y teórico del efecto del campo piezoeléctrico y de efectos multipartícula como la renormalización del gap. El caso del cuaternario GaInNAs es diferente, ya que se trata con un material muy reciente y poco estudiado. El primer objetivo será por tanto la comprensión de las propiedades ópticas y estructurales de los pozos cuánticos de este material, y el desarrollo de un modelo teórico que explique el comportamiento observado. El segundo objetivo será estudiar el funcionamiento de diodos electroluminiscentes y láseres basados en estos pozos, para aclarar en particular cuales son los procesos dominantes de recombinación de portadores que tienen lugar. El objetivo final es la fabricación y caracterización de diodos láser de emisión horizontal de pozo cuántico de GaInNAs/GaAs en 1.3 – 1.55 µm, y la exploración de la λ máxima alcanzable con esta estructura. Podemos dividir esquemáticamente los objetivos de la tesis en dos grandes grupos: 1. Diodos láser de pozo cuántico de InGaAs/GaAs (111)B: λλλλ= 1.06 - 1.1 µµµµm 1.1. Diseño, fabricación y caracterización de diodos láser de emisión horizontal de pozo cuántico de InGaAs/GaAs crecidos sobre GaAs (111)B emitiendo en 1.06 y 1.08 µm, y exploración de la λ máxima alcanzable con esta estructura. 1.2. Comprensión y modelado del funcionamiento de los dispositivos, incluyendo el efecto del campo piezoeléctrico y efectos multipartícula como la renormalización del gap. 2. Diodos láser de pozo cuántico de GaInNAs/GaAs: λλλλ= 1.3 - 1.55 µµµµm 2.1. Caracterización de pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs que permita la comprensión de sus propiedades ópticas y estructurales y desarrollo de una herramienta de simulación que permita el modelado de dichas propiedades. 2.2. Diseño, fabricación y caracterización de diodos láser de emisión horizontal de pozo cuántico de GaInNAs/GaAs en 1.3 – 1.55 µm. Motivación,objetivos y estructura de la tesis 8 Estructura de la tesis La presente memoria está dividida en ocho capítulos. Los dos primeros pueden considerarse capítulos introductorios. En el Capítulo 1 se presentan los conceptos teóricos necesarios para la adecuada comprensión del trabajo realizado, haciendo especial hincapié en el efecto de la deformación en los estados electrónicos de un pozo cuántico y en las propiedades de un láser de pozo cuántico. El Capítulo 2 describe brevemente las técnicas experimentales utilizadas y la información que de ellas puede obtenerse. Los Capítulos 3 a 7 son los que describen en detalle el trabajo realizado y los resultados obtenidos. Pueden dividirse en dos partes, en acuerdo con la división hecha en los objetivos: Capítulos 3, 4 – InGaAs/GaAs (111)B, Capítulos 5, 6, 7 – GaInNAs/GaAs. El Capítulo 3 trata todo el trabajo teórico realizado sobre láseres de pozo cuántico de InGaAs/GaAs (111)B, y en el Capítulo 4 se presentan los resultados experimentales obtenidos para estos dispositivos. En cuanto a la parte de GaInNAs, comienza también con la descripción del trabajo de modelado de láseres de pozo cuántico de GaInNAs/GaAs en el Capítulo 5. El Capítulo 6 se dedica a la caracterización óptica y estructural de pozos cuánticos de GaInNAs/GaAs, y el Capítulo 7 se centra ya en el estudio y caracterización de dispositivos emisores de luz (diodos electroluminiscentes y láseres) basados en estos pozos. Finalmente, en el Capítulo 8 se resumen los resultados principales obtenidos a lo largo de la Tesis y se proponen unas líneas de investigación con las que continuar el trabajo en este campo. Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 9 CAPÍTULO 1 INTRODUCCIÓN A LOS DIODOS LÁSER DE POZO CUÁNTICO 1.1. Introducción 1.2. Estados electrónicos en pozos cuánticos 1.2.1. Aproximación de función de onda envolvente 1.2.1.1. Ecuación de masa efectiva no-degenerada 1.2.1.2. Ecuación de masa efectiva degenerada 1.3. Efecto de la deformación 1.4. Principios de funcionamiento de un láser de semiconductor 1.4.1. Procesos ópticos en semiconductores 1.4.2. El láser de semiconductor 1.4.2.1. El diodo láser de pozo cuántico deformado Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 10 1.1. Introducción En este capítulo se pretende dar una breve introducción teórica a los estados electrónicos en pozos cuánticos deformados, así como al funcionamiento de los diodos láser basados en dichos pozos cuánticos. Existen numerosos textos en los que todo esto se explica en detalle [Zor93], [Col95], por lo que aquí se presenta sólo lo estrictamente necesario para la posterior comprensión del trabajo desarrollado. 1.2. Estados electrónicos en pozos cuánticos 1.2.1. Aproximación de función de onda envolvente Las funciones de onda Ψ de los electrones en las bandas de conducción y de valencia de un semiconductor se hallan resolviendo la ecuación de Schrödinger, que relaciona el Hamiltoniano 0H de la red cristalina con la energía E del electrón: Ψ=Ψ +=Ψ EV m H )( 2 0 2 0 rp (1.1) donde p es el operador momento, r el vector de posición, m0 la masa del electrón libre y V(r) es el potencial creado por la red cristalina. Debido a la periodicidad de V(r), las soluciones de esta ecuación son de la forma: ),( rkrk uei ⋅=Ψ (1.2) donde k es el vector de onda del electrón y u es una función de Bloch, que tiene la propiedad de ser periódica con la red cristalina. A la hora de hallar la solución de (1.1) para un pozo cuántico, resulta útil considerar combinaciones lineales de funciones de onda tipo (1.2), de forma que, usando un conjunto arbitrario de coeficientes de expansión A(k), puede expresarse la nueva función de onda como: )()()(),0(),()( 33 rrkrkrk rkrk uFdekAuduekA ii ≡≈=Ψ ⋅⋅ ∫∫ (1.3) Esta descripción de los estados “localizados” (por ejemplo en un pozo cuántico) es conocida como aproximación de función de onda envolvente. La principal aproximación realizada es el Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 11 asumir que, en una determinada banda de energía, la función de Bloch no depende fuertemente de k (por lo menos cerca del borde de banda, k=0) y se puede representar por la función de Bloch del borde de banda )(),0( rr uu ≡ . Esto permite sacarla fuera de la expansión y definir la función de onda envolvente F(r). Por tanto, la solución generalizada a (1.1) en una banda de energía en la aproximación de función de onda envolvente consiste en el producto de dos componentes: la función de Bloch del borde de banda y la función de onda envolvente que varía lentamente con r. Todos los cálculos de niveles electrónicos realizados en este trabajo se basan en la aproximación de función de onda envolvente. 1.2.1.1. Ecuación de masa efectiva no-degenerada En el cálculo de los estados electrónicos en un pozo cuántico de InGaAs, adoptaremos una aproximación que consiste en considerar que la banda de conducción es parabólica para todas las energías. Por el contrario, en el caso del GaInNAs no podremos en principio hacer esta aproximación, por motivos que se explicarán en el capítulo 5. En principio, la aproximación parabólica es buena cuando la banda de energía en cuestión no interacciona fuertemente con ninguna otra. Para una banda de energía no-degenerada (excluyendo el spin), como la banda de conducción del InGaAs, la función de onda envolvente F cumple una ecuación de masa efectiva del tipo [Lut55]: ecec FEFVH =+ )( (1.4) donde el Hamiltoniano de la banda de conducción es 2 2 2 ∇−= c c m H � (1.5) y mc es la masa efectiva de la banda de conducción. V es ahora el potencial correspondiente a la variación en las energías de los bordes de banda entre los distintos materiales, y Ec está medida respecto al mínimo de la banda de conducción. Para un pozo cuántico crecido en la dirección z, V es un potencial unidimensional )(zVV = , por lo que se puede asumir que la función de onda envolvente es de la forma [ ])(exp)( ykxkizFF yxze += (1.6) Sustituyendo en (1.4) se obtiene Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 12 )()()( )( 1 2 2 zFEzFzV dz d zmdz d zcz c = + − � (1.7) Resolviendo esta ecuación se obtienen las energías y funciones de onda de los electrones en la banda de conducción del pozo cuántico. 1.2.1.2. Ecuación de masa efectiva degenerada La simplicidad de la estructura de bandas en la banda de conducción del pozo se debe a que se ha asumido que la interacción con cualquier otra banda es tan débil que puede tratarse sustituyéndola por la masa efectiva de la banda de conducción. Sin embargo, para bandas degeneradas en energía (como las de huecos pesados y ligeros cerca del borde de banda) la aproximación de interacción débil es muy pobre, y la ecuación de masa efectiva (1.4) debe ser modificada para incluir de forma explícita la interacción. En este caso puede obtenerse una ecuación de masa efectiva para cadabanda degenerada, pero a consecuencia de la degeneración, aparece un término de interacción que acopla las ecuaciones [Lut55]. Para considerar explícitamente la interacción entre las bandas de huecos pesados y huecos ligeros habrá que trabajar entonces con cuatro ecuaciones acopladas (hay que incluir la degeneración de spin). Se podría incluir también la interacción con la banda de spin-órbita, resultando un sistema de 6 ecuaciones acopladas. Si se añade también la banda de conducción quedan 8 ecuaciones acopladas [Epp87b], [Cola87]. Sin embargo, en los materiales con que se trata en este trabajo, GaAs, InGaAs e GaInNAs, la energía de desdoblamiento spin-órbita es de más de 300 meV, luego es una buena aproximación el despreciar esta banda, al igual que la de conducción, y considerar sólo interacción entre huecos pesados y ligeros. Así se trabaja con sólo 4 ecuaciones acopladas, que puestas en forma matricial están representadas por el Hamiltoniano de Luttinger-Kohn 4x4 [Lut55]. Las cuatro ecuaciones de masa efectiva acopladas pueden simplificarse enormemente usando un método sugerido primero por Kane [Kan56] y refinado después por Broido y Sham [Bro85], que no se va a describir aquí. Consiste en hacer un cambio de base adecuado de funciones de Bloch de forma que las cuatro ecuaciones se desacoplan en dos sistemas idénticos de dos ecuaciones acopladas, de la forma lvhll hvlhv FEFWFVH FEWFFVH =++ =++ ⊥)( )( (1.8) donde Fh,l son las funciones de onda envolventes de huecos pesados (h) y ligeros (l) correspondientes a las nuevas funciones de Bloch, y ⊥W es el hermítico conjugado de W, que Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 13 es el término de acoplo. La forma de los Hamiltonianos y de W se describe en el capítulo 3 (apartado 3.5), donde se resuelve este problema para la banda de valencia de un pozo cuántico de InGaAs/GaAs crecido en ambas orientaciones (100) y (111). Los pozos cuánticos con que se trata en este trabajo se consideran pseudomórficos, por lo que están sometidos a una deformación importante. Como se explica en el siguiente apartado, la deformación rompe la degeneración en el borde de banda entre huecos pesados y ligeros y separa en energía ambas bandas, disminuyendo fuertemente su interacción. Esto hace que en este caso particular sea posible, en una primera aproximación, considerar las bandas de huecos pesados y ligeros no-degeneradas, y por tanto desacopladas, pudiendo resolverse una ecuación de masa efectiva como la (1.7) para cada una. Así el cálculo de la banda de valencia se simplifica muchísimo. En el capítulo 3, apartado 3.3.1, la banda de valencia se resuelve de esta forma simplificada. Al calcular la banda de valencia de los pozos en la aproximación de masa efectiva no- degenerada y degenerada, se podrán comparar los resultados, y evaluar así la importancia que la interacción huecos pesados – huecos ligeros tiene en la estructura de bandas y por tanto en la ganancia material del pozo. 1.3. Efecto de la deformación Desde el punto de vista teórico, todas las heteroestructuras tratadas en este trabajo, sean pozos de InGaAs/GaAs o de GaInNAs/GaAs, se considerarán crecidas en régimen pseudomórfico, lo que quiere decir que acomodan el desacoplo de red mediante la deformación de la capa delgada. Dicha deformación modifica el gap del semiconductor. En la realidad esto es así hasta que la energía elástica almacenada, que aumenta con el espesor de la capa deformada, supera la energía correspondiente a la formación de dislocaciones. Al espesor al que tiene lugar ese fenómeno le llamaremos espesor crítico. El parámetro de red del InGaAs y del GaInNAs en el plano de crecimiento a0 es mayor que el del GaAs as, por lo que ambos materiales crecerán bajo compresión biaxial. Ya en 1959 Pikus y Bir [Pik59] proporcionaron la teoría fundamental necesaria para describir como la deformación afecta al hamiltoniano de Luttinger-Kohn mencionado anteriormente. Si se define el desacoplo de red como: 0 0 a aas p − =ε (1.9) Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 14 pueden expresarse los elementos del tensor de deformación para el InGaAs en la orientación (100) como [San94]: )(0 2 11 12 33 2211 ji c c ij p p ≠= − = == ε εε εεε (1.10) mientras que para la orientación (111) queda [San94]: p pij ccc c ji ccc cc εε εε 441211 44 11 441211 1211 42 4 )( 42 2 ++ = ≠ ++ +−= (1.11) donde cij son las constantes elásticas del material. La deformación tiene en nuestro caso dos consecuencias muy importantes. Una es la aparición del efecto piezoeléctrico en el caso (111), que se tratará en el apartado 3.2.1. La otra es que los niveles de huecos pesados (hh) y ligeros (lh) se ven desplazados en energía una cantidad [San94]: ∆ − −−++=∆ −−+=∆ 2 3311 2 33113311 33113311 )( )()2( )()2( εεεεεε εεεε b baE baE lh hh (1.12) en el caso (100) y ∆ −+=∆ −=∆ 2 12 2 1211 1211 3 33 33 εεε εε ddaE daE lh hh (1.13) en el caso (111). ∆ es la energía del desdoblamiento spin-órbita, y a, b y d son los potenciales de deformación, que pueden relacionarse directamente con los parámetros de Luttinger del material. En el caso del InGaAs, todos los parámetros que aparecen en las expresiones anteriores se calculan en este trabajo como interpolación lineal de los de GaAs e InAs, que se muestran en la tabla 1.1. En el caso del GaInNAs se consideran estos parámetros iguales a los Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 15 del InGaAs, despreciando el efecto que en ellos pueda tener la pequeña cantidad de N (≤ 3 %) introducida en el material. Para incluir el efecto de la deformación en el cálculo de la estructura de bandas hay que sumar al Hamiltoniano de Luttinger-Kohn el Hamiltoniano de deformación. Tanto en el caso (100) como en el (111) el Hamiltoniano de deformación se hace diagonal [Hen63], por lo que pueden directamente sumarse las expresiones (1.12) o (1.13) a los términos de la diagonal del Hamiltoniano de Luttinger-Kohn (o de (1.8)). Tabla 1.1. Constantes elásticas y potenciales de deformación del GaAs y del InAs [San94]. Los del InGaAs utilizados en este trabajo se calculan como interpolación lineal de éstos, y los del GaInNAs se consideran iguales a los del InGaAs. De las ecuaciones (1.12) y (1.13) se concluye que la compresión biaxial aumenta por una parte la energía del gap, desplazando en la misma medida las bandas de huecos pesados y ligeros (primer término de las ecuaciones, llamado componente hidrostática de la deformación). Pero además, debido a la ruptura de la simetría cúbica de la red, separa las bandas de huecos pesados y ligeros (segundo término, componente uniaxial de la deformación), rompiendo la degeneración en el centro de zona que existe en el material sin deformación (figura 1.1), y disminuyendo por tanto la interacción entre ambas bandas. Los huecos pesados disminuyen su energía, mientras que los ligeros la aumentan. Figura 1.1. Esquema del efecto de la compresión biaxial, separada en sus contribucioneshidrostática y uniaxial, en la energía del borde de banda de las bandas de conducción y valencia. Ec Ehh= Elh Ec Ehh Elh Sin deformación Contribución hidrostática Contribución uniaxial Ec Ehh= Elh Ec Ehh Elh Sin deformación Contribución hidrostática Contribución uniaxial Material c11 (N/m2) c12 (N/m2) c44 (N/m2) a (eV) b (eV) d (eV) GaAs 12.25 5.7 6.04 -8.67 -1.7 -3.6 InAs 8.64 4.85 3.96 -3.01 -1.6 -4.5 Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 16 Esta separación tiene consecuencias muy importantes, ya que la no-parabolicidad de la estructura de bandas que tanto afecta a la ganancia material del pozo [Zor93], es consecuencia directa de la interacción huecos pesados – huecos ligeros. En las estructuras fuertemente deformadas con altos contenidos de In que se tratan en esta tesis, esta separación en energías es tan grande que el primer nivel de huecos ligeros estará normalmente a mayor energía que el tercer nivel de huecos pesados. La ruptura de la degeneración huecos pesados – huecos ligeros en el centro de zona provoca también un cambio en las masas efectivas de huecos pesados y ligeros en el plano del pozo xy [Col95], ya que la masa efectiva de huecos pesados se vuelve pequeña, mientras que la de huecos ligeros se vuelve grande, aunque ambos conservan sus masas efectivas en la dirección de crecimiento z (figura 1.2). La densidad de estados de huecos pesados disminuye por tanto como consecuencia de la compresión biaxial, lo que afecta de forma importante a la ganancia. Figura 1.2. Efecto de la compresión biaxial en la estructura de la banda de valencia en el plano de crecimiento (kxy) y en la dirección perpendicular a dicho plano (kz). 1.4. Principios de funcionamiento de un láser de semiconductor En este apartado se pretende describir de forma fenomenológica y muy simplificada los principios de funcionamiento de un láser de semiconductor. Para un análisis más detallado puede recurrirse a [Cas78], [Zor93], [Col95]. 1.4.1. Procesos ópticos en semiconductores Hay dos procesos por los que un electrón en un semiconductor puede recombinarse desde un estado de mayor energía a otro de energía menor generando luz (un fotón): recombinación espontánea y recombinación estimulada. En la recombinación espontánea, un electrón en la banda de conducción se recombina espontáneamente con un hueco en la banda de valencia, generando un fotón. En este proceso, la radiación resultante es incoherente, ya que el E HH LH kzkxy Sin deformación kzkxy HH LH E Compresión biaxial E HH LH kzkxy Sin deformación E HH LH kzkxy Sin deformación kzkxy HH LH E Compresión biaxial kzkxy HH LH E Compresión biaxial hh hh lh lh Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 17 tiempo y dirección de emisión de cada proceso de recombinación son aleatorios. Este es el mecanismo de funcionamiento de un diodo emisor de luz (LED, light emitting diode). En la emisión estimulada, un fotón perturba el sistema y provoca la recombinación de un electrón y un hueco generando un fotón con la misma frecuencia, dirección de propagación y fase que el incidente, es decir, un fotón coherente al que desencadena el proceso. Es por tanto un proceso de amplificación y es el responsable de la emisión láser (láser es el acrónimo de light amplification by stimulated emission of radiation). Además de estas dos, hay evidentemente otra transición radiativa, la absorción, que también es estimulada ya que la que la energía de un fotón es transferida a un electrón, que pasa de la banda de valencia a la de conducción. Si se tienen en cuanta las leyes de conservación de la energía y el momento, un fotón de energía hν puede inducir transiciones sólo entre pares de estados 1 y 2 que cumplan νhEEE ==− 2112 y 12 kk = . La interacción se reduce por tanto a una determinada región del diagrama E-k del semiconductor, como se muestra en la figura 1.3 para dos dimensiones del espacio k. Sólo las transiciones verticales en esa región son permitidas. Figura 1.3. Banda de conducción y de valencia de un semiconductor (en dos dimensiones del espacio k) y pares de estados que pueden interaccionar con un fotón de energía E21. Las tasas con las que estos tres procesos radiativos tienen lugar dependen de varios factores. Dos factores determinantes son la densidad de fotones y la densidad disponible de pares de estados. Este último factor depende de la densidad total de pares de estados, que vendrá representada por una densidad reducida de estados ρred, y de la fracción de pares de estados disponibles, ya que la transición sólo puede ocurrir entre un estado inicial lleno y uno final vacío. Las tasas de transición de la absorción (R12), de la recombinación estimulada (R21) y de la recombinación espontánea ( spR ) pueden escribirse como [Col95]: )1( )1( )1( 12 1221 2112 ffRR ffRR ffRR fv rsp r r −= −= −= − (1.14) E BV BC R21 ∝ f2(1-f1) R12 ∝ f1(1-f2) E2 E1 E BV BC R21 ∝ f2(1-f1) R12 ∝ f1(1-f2) E2 E1 Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 18 donde Rr representa la tasa de transición radiativa que tendría lugar si todos los pares de estados fueran disponibles1, y fi son las funciones de Fermi, que describen las probabilidades de ocupación en la estadística de Fermi. Como R12 y R21 son efectos que compiten, eliminando y generando fotones, respectivamente, la tasa neta de generación de fotones en el semiconductor (o tasa neta de emisión estimulada Rst) es )( 121221 ffRRRR rst −⋅=−≡ (1.15) Si se define la ganancia material g por unidad de longitud como el aumento proporcional de la densidad de fotones Np al propagarse en una dirección z del cristal, se puede relacionar la ganancia con las tasas de recombinación en la forma: )(111 1221 RR Nvdt dN Nvdz dN N g pg p pg p p −=== (1.16) donde se ha usado la velocidad de grupo vg para transformar la tasa de aumento espacial en tasa de aumento temporal. Introduciendo en esta expresión la ecuación (1.15) queda: pg st Nv R g = (1.17) La ganancia es por tanto directamente proporcional a la tasa neta de generación de fotones Rst, y será positiva cuando lo sea Rst. Las funciones de Fermi son 1 1 /)(1 1 + = − kTEE Fve f y 1 1 /)(2 2 + = − kTEE Fce f (1.18) donde EFc y EFv son los quasi-niveles de Fermi de la banda de conducción y de valencia, respectivamente (estamos en condiciones de no equilibrio). Sustituyendo estas expresiones en las de R21 y R12 puede obtenerse la siguiente relación: 1 En mecánica cuántica es frecuente considerar la emisión espontánea como una emisión estimulada no por un campo electromagnético real clásico, sino por el campo de vacío v-f (vacuum-field). Así 2// ξ∝rR y 2// fvfv rR −− ∝ ξ , siendo ξ el campo eléctrico local ( fv−ξ es el campo eléctrico de vacío). Para ver como se evalúa 2// fv−ξ puede consultarse [Col95]. Por otro lado, si 2// ξ es la magnitud del campo eléctrico para un modo óptico, las tasas (1.14) son para un solo modo, y las tasas totales se hallarán sumando a todos los modos ópticos. Capítulo 1Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 19 kTEEFe ff ff R R /)( 21 12 12 21 21 )1( )1( −∆= − − = (1.19) donde FvFcF EEE −≡∆ . Esta expresión es muy importante, ya que indica que la tasa neta de emisión estimulada (y por tanto la ganancia óptica) será positiva solo si 21EEF >∆ , (1.20) es decir, si la separación entre los quasi-niveles de Fermi es mayor que la energía del fotón en cuestión. Esto quiere decir que para conseguir emisión láser a una energía E21, hay que tener inversión de población entre los estados 1 y 2. Esta condición es necesaria para conseguir emisión láser en un semiconductor. 1.4.2. El láser de semiconductor Un láser de semiconductor es básicamente un material semiconductor (medio activo) que produce una ganancia material inmerso en una cavidad resonante. En el caso de un láser de emisión horizontal, los espejos pueden ser simplemente las intercaras semiconductor – aire, que se obtienen al clivar el cristal semiconductor por sus planos naturales de clivado. Eligiendo los planos adecuados, definimos dos planos paralelos entre sí y perpendiculares al plano de crecimiento (figura 1.4), que reflejan parcialmente la luz generada en el interior de la cavidad, permitiendo así de nuevo su interacción con el medio activo para continuar el proceso de emisión estimulada que provee la ganancia necesaria para la emisión láser. Figura 1.4. Esquema de un diodo láser de semiconductor con la nomenclatura seleccionada para los ejes. z es la dirección de crecimiento. Aunque en la figura sólo se representa emisión de luz por una de las caras, los láseres con que se trata en este trabajo emiten por las dos. z (TM) y (TE) x Flujo de corriente contacto metálico luz láser Espejo (faceta clivada) faceta atacada zona p zona n zona activa z (TM) y (TE) x z (TM) y (TE) x Flujo de corriente contacto metálico luz láser Espejo (faceta clivada) faceta atacada zona p zona n zona activa Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 20 En cuanto al medio activo, se ha visto antes que es necesario que en el mismo se dé la condición de inversión de población (1.20), lo que requiere excitar el material, ya sea ópticamente mediante una fuente externa de luz, o eléctricamente mediante la inyección de corriente. En el caso de láseres excitados mediante inyección de corriente (como los tratados en este trabajo), se trata normalmente de diodos p-i-n en cuya zona intrínseca se sitúa la zona activa del material, de modo que la estructura provee la gran cantidad de electrones y huecos necesarios para el umbral láser cuando se polariza en directa el diodo. Para confinar los portadores y el campo óptico en la zona activa del láser, se utiliza con frecuencia una configuración de heteroestructura de confinamiento separado (SCH, separate confinement heterostructure) [Pan73], en la que se consigue este efecto utilizando capas de materiales con distinto gap e índice de refracción. La figura 1.5 muestra esquemáticamente el perfil de energía y de índice de refracción de una estructura de este tipo, con un pozo cuántico en la zona activa (como las que se estudian en este trabajo). Las capas que proporcionan el confinamiento óptico se llaman capas cladding, y en nuestro caso serán siempre de AlGaAs, mientras que son las barreras de GaAs las que confinan los portadores en el pozo. Figura 1.5. (a) Esquema del perfil de potencial de una estructura SCH como las estudiadas en este trabajo: con un pozo cuántico en la zona activa. (b) Perfil esquemático de índice de refracción correspondiente a la misma estructura y distribución del campo óptico. Las capas cladding, debido a su alto índice de refracción, hacen de guía de ondas y confinan la luz (figura 1.5 (b)), pero sólo una fracción de dicha luz solapa con la zona activa y por tanto interacciona con los portadores allí presentes para producir emisión estimulada. Esta fracción de luz está determinada por el factor de confinamiento óptico Γ, que puede definirse como [Col95]: E (u .a .) z (u.a.) QW ba rr er a ca pa c la dd in g GaAs AlGaAs CB VB z (u.a.) Ín di ce d e re fr ac ci ón (u .a .) ca m po óp tic o (u .a .) p+ n+ electrones huecos (a) (b) E (u .a .) z (u.a.) QW ba rr er a ca pa c la dd in g GaAs AlGaAs CB VB z (u.a.) Ín di ce d e re fr ac ci ón (u .a .) ca m po óp tic o (u .a .) p+ n+ electrones huecos E (u .a .) z (u.a.) QW ba rr er a ca pa c la dd in g GaAs AlGaAs CB VB z (u.a.) Ín di ce d e re fr ac ci ón (u .a .) ca m po óp tic o (u .a .) p+ n+ electrones huecos (a) (b) Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 21 ∫ ∫ ∞ ∞− −=Γ dzzE dzzE d d 2 2/ 2/ 2 )( )( (1.21) donde d es el espesor de la zona activa y 2)(zE es la intensidad del campo óptico. El factor Γ tiene un efecto importante en la densidad de portadores necesaria para obtener emisión láser. Una vez conseguida la inversión de población, para que se produzca emisión láser es necesario que la ganancia material en la cavidad multiplicada por Γ (ganancia modal) iguale a las pérdidas totales. Esa ganancia es la ganancia umbral thg , que viene dada por: )1ln(1 RL g cav ith +=Γ α (1.22) donde iα es el factor de pérdidas internas (debido a diversos fenómenos, como absorción intra- banda por portadores libres e inter-banda de valencia [Pank75]) y el segundo término son las pérdidas debidas a la transmisión parcial de luz al exterior de la cavidad a través de los espejos de reflectividad R1=R2=R. La ecuación (1.22) es la condición de umbral; cuando la cantidad de portadores en el pozo es la necesaria para que la ganancia material sea thg se produce la emisión láser. 1.4.2.1. El diodo láser de pozo cuántico deformado En 1986 se propuso que la estructura de bandas modificada de un pozo cuántico III-V deformado debería resultar en una mejora sustancial de las propiedades de un diodo láser [Ada86], [Yab86], incluyendo una menor densidad de corriente umbral, mayor eficiencia, mejor comportamiento con la temperatura y mejor respuesta dinámica y propiedades de alta velocidad [Sue88], [Ghi89], [Lau89]. Estas predicciones han sido después demostradas y los láseres de pozo cuántico deformado están disponibles a nivel comercial en un rango amplio de longitudes de onda. A continuación se explica fenomenológicamente y de forma muy breve el porqué de estas ventajas. Debido a la forma de las bandas de energía en un semiconductor, los electrones y huecos presentes en la estructura pueden ocupar un amplio rango de valores de energía y momento (figura 1.3). El primer paso para llegar a la ganancia umbral es conseguir la situación de transparencia en el semiconductor, que se produce cuando los quasi-niveles de Fermi de Capítulo 1 Introducción a los diodos láser de pozo cuántico 22 electrones y huecos están separados por una energía mayor que la del gap [Ber61] (condición equivalente a (1.20)). Sin embargo, la estructura de bandas de un semiconductor III-V bulk, presenta algunos inconvenientes para conseguir esta situación, así como otros relacionados con la polarización. Se resumen a continuación
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