Filmes Finos de CCTO Modificados

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DESENVOLVIMENTO DE FILMES FINOS DE CACU3TI4O12 MODIFICADOS COM NB VISANDO APLICAÇÃO EM MEMÓRIAS RESISTIVAS DE ACESSO ALEATÓRIO
Lilian L. Silva (IC)1, Ana C. Cabral (PG)1, Kevinny C. Florencio (IC)1, Francisco M. Filho (PQ)1
1Universidade Federal de Itajubá , UNIFEI, Campus de Itabira
Palavras-chave: CCTO. Filmes finos. Memórias resistivas. Propriedades elétricas.
 	Introdução	
Técnicas para obtenção de filmes finos, assim como o entendimento fundamental de suas estruturas físicas e químicas, têm levado a resultados promissores, com funções em dispositivos e circuitos integrados. O CaCu3Ti4O12, Titanato de cálcio e cobre (CCTO), é um material promissor pelas características ópticas, destacando-se no grande interesse científico, desta forma foi desenvolvido filmes finos de CCTO puro e modificado com Nióbio no local B, visando aplicação em memórias resistivas não voláteis. Filmes Finos de CCTO foram obtidos por meio da técnica spin coating, e posteriormente tratados termicamente na gama de 800 a 1000°C/2h. Os Filmes foram caracterizados pela técnica de Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV).
 	Resultados e discussão	
O desenvolvimento dos filmes finos, como indicado na micrografia da figura 1, apresentou uma boa aderência à superfície do substrato, com espessura de aproximadamente 243,89 nm, após a deposição de seis camadas. Foi possível obter uma boa aderência do filme fino à superfície, ao estimar a viscosidade das resinas de CCTO em 20 Cp e efetuar a limpeza correta do substrato. Outro fator importante pela difusão dos átomos bem como boa aderência, foi variar o tempo e a temperatura na produção dos filmes finos.
Figura 1 – Microscopia Eletrônica de Varredura do filme fino de CCTO dopado com 5% de Nióbio tratado à 800°C durante 2 horas. a) 500x b) 100kx
(a) (b)
 	Conclusões	 Por meio dos resultados foi possível observar que o grau de limpeza dos substratos é um dos fatores essenciais para a adesão e a qualidade dos filmes, sendo que o filme deve ficar com uma superfície homogênea e lisa. Este resultado foi evidenciado por meio da micrografia, de acordo com a espessura e formato da mesma. Observou-se também que a variação do tratamento térmico permitiu melhor aderência e difusão dos átomos de CCTO.
 	Agradecimentos	 Agradeço ao CNPq, à FAPEMIG, ao LIMAV, ao Professor e Orientador Francisco Moura Filho e a Ana Cristina Cabral pelo apoio e orientação, e à colega de trabalho Kevinny Chaves Florencio.
 	Referências	 MOURA, F.; Simões, A.Z.; DEUS, R.C.; SILVA, M.R.; Varela, J.A.; Longo, E.. Intense Photoluminescence Emission At Room Temperature In Calcium Copper Titanate Powders. Ceramics International, v. 39, p. 3499-3506, 2012.
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