Circuitos Digitais - Estrutura das Portas Lógicas - Parte d

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6/15/2010
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Circuitos Digitais
Capítulo 3
E d P Ló i
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Estrutura das Portas Lógicas
Parte d
Fabricação de CIs
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de CIs
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Crescimento do cristal
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fatiamento em wafers
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Testando a suavidade da superfície do wafer
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
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Formando uma camada de SiO2
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Marcando no wafer os cortes
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Cortando o wafer em circuitos individuais
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Oxidação do silício
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Processo litográfico para remoção seletiva da 
camada de Nitrito de silício 
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Dopagem com tipo-p seguida de um novo 
processo de oxidação. A região de nitrito de 
silício atua como uma máscara. 
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Fabricação de um transistor NMOS
„ Remoção da camada de nitrito de silício
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Deposição da primeira camada de silício 
policristalino
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Novo processo de oxidação seguido da 
deposição de uma nova camada de silício 
policristalino
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
„ Abertura da janela para o contato
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Fabricação de um transistor NMOS
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
Referências
„ Tocci, R. J. & Widmer, N. S., Sistemas Digitais: 
Princípios e Aplicações, Pearson-Prentice-Hall 
„ Katz, Randy H. (1993), Contemporary Logic Design, 
Benjamin Cummings/ Addison Wesley.
„ Hill, F. & Peterson, G. (1981), Introduction to 
Capítulo 3 – Estrutura das Portas LógicasMárcio Brandão – CIC/UnB – Circuitos Digitais
, , ( ),
Switching Theory and Logical Design, John Wiley & 
Sons.
„ Wakerly, John F., Digital Design Principles and 
Practices
„ Application Specific Integrated Circuits, Addisson-
Wesley