ABNT NBR ISO 14644-32009

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© ISO 2005 - © ABNT 2009
 NORMA 
BRASILEIRA 
ABNT NBR
ISO
14644-3
 Primeira edição 
01.09.2009 
Válida a partir de 
01.10.2009 
Salas limpas e ambientes controlados 
associados
Parte 3: Métodos de ensaio 
Cleanrooms and associated controlled environments 
Part 3: Test methods 
 
ICS 13.040.35 ISBN 978-85-07-01743-1
 
 
 
 
Número de referência 
ABNT NBR ISO 14644-3:2009 
70 páginas
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ou utilizada por qualquer meio, eletrônico ou mecânico, incluindo fotocópia e microfilme, sem permissão por escrito da ABNT, 
único representante da ISO no território brasileiro. 
 
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Sumário Página
Prefácio Nacional....................................................................................................................................................... iv
Introdução ...................................................................................................................................................................v
1 Escopo............................................................................................................................................................1
2 Referências normativas ................................................................................................................................1
3 Termos e definições......................................................................................................................................1
3.1 Geral................................................................................................................................................................1
3.2 Medição de partículas em suspensão no ar ...............................................................................................2
3.3 Filtros de ar e sistemas.................................................................................................................................4
3.4 Fluxo de ar e outros estados físicos ...........................................................................................................5
3.5 Medições eletrostáticas ................................................................................................................................5
3.6 Instrumentos de medição e condições de medição ..................................................................................6
3.7 Estados de ocupação....................................................................................................................................8
4 Procedimentos de ensaio .............................................................................................................................8
4.1 Ensaios para sala limpa................................................................................................................................8
4.2 Propósito ........................................................................................................................................................9
5 Relatórios de ensaio....................................................................................................................................11
Anexo A (informativo) Escolha de ensaios recomendados de uma instalação e a seqüência na qual realizá-
los..................................................................................................................................................................12
Anexo B (informativo) Métodos de ensaio.............................................................................................................18
Anexo C (informativo) Aparato de ensaio...............................................................................................................56
Bibliografia ................................................................................................................................................................69
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Prefácio Nacional 
A Associação Brasileira de Normas Técnicas (ABNT) é o Foro Nacional de Normalização. As Normas Brasileiras, 
cujo conteúdo é de responsabilidade dos Comitês Brasileiros (ABNT/CB), dos Organismos de Normalização 
Setorial (ABNT/ONS) e das Comissões de Estudo Especiais (ABNT/CEE), são elaboradas por Comissões de 
Estudo (CE), formadas por representantes dos setores envolvidos, delas fazendo parte: produtores, consumidores 
e neutros (universidade, laboratório e outros). 
Os Documentos Técnicos ABNT são elaborados conforme as regras das Diretivas ABNT, Parte 2. 
A Associação Brasileira de Normas Técnicas (ABNT) chama atenção para a possibilidade de que alguns dos 
elementos deste documento podem ser objeto de direito de patente. A ABNT não deve ser considerada 
responsável pela identificação de quaisquer direitos de patentes. 
A ABNT NBR ISO 14644-3 foi elaborada no Comitê Brasileiro de Áreas Limpas e Controladas (ABNT/CB-46), 
pela Comissão de Estudo de Aspectos Gerais de Instalações (CE-46:000.01). O Projeto circulou em Consulta 
Nacional conforme Edital nº 06, de 18.06.2009 a 17.07.2009, com o número de Projeto 46:000.01-001/3. 
Esta Norma é uma adoção idêntica, em conteúdo técnico, estrutura e redação, à ISO 14644-3:2005 que foi 
elaborada pelo Technical Committee Cleanrooms and associated controlled environments (ISO/TC 209), 
conforme ISO/IEC Guide 21-1:2005. 
A ABNT NBR ISO 14644, sob o título geral “Salas limpas e ambientes controlados associados”, tem previsão de 
conter as seguintes partes: 
� Parte 1: Classificação da limpeza do ar; 
� Parte 2: Especificações para ensaios e monitoramento para comprovar a contínua conformidade com a 
ABNT NBR ISO 14644-1; 
� Parte 3: Métodos de ensaio; 
� Parte 4: Projeto, construção e partida; 
� Parte 5: Operação; 
� Parte 6: Terminologia; 
� Parte 7: Dispositivos de separação (isoladores, miniambientes); 
� Parte 8: Classificação da contaminação molecular em suspensão. 
O Escopo desta Norma Brasileira em inglês é o seguinte: 
Scope
This part of ABNT NBR ISO 14644 specifies test methods for designated classification of airbrone particulate 
cleanliness and for characterizing the performance of cleanrooms and clean zones. Performance tests are 
specified for two types of cleanrooms and clean zones: those with unidirectional flow and those with 
non-unidirectional flow, in three possible occupancy states: as-built, at-rest and operational. The test methods 
recommend test apparatus and test procedures for determining performance parameters. Where the test method 
is affected by the type of cleanroom or clean zone, alternative procedures are suggested. For someof the tests, 
several different methods and apparatus are recommended to accommodate different end-use considerations. 
Alternative methods not included ins this part of ABNT NBR ISO 14644 may be used if based on agreement 
between customer and supplier. Alternative methods do not necessarily provide equivalent measurements 
This part of ABNT NBR ISO 14644 is not applicable to the measurement of products or of processes in cleanrooms 
or separative devices. 
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Introdução
Salas limpas e ambientes controlados associados fornecem graus apropriados de controle de contaminação no ar, 
de modo a atender às atividades sensíveis à contaminação. Produtos e processos que se beneficiam do controle 
da contaminação do ar incluem indústrias tais como a aeroespacial, microeletrônica, farmacêutica, alimentícia, 
dispositivos e equipamentos médicos e hospitalares. 
Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 estabelece métodos de ensaios que podem ser usados com o propósito de 
caracterizar uma sala limpa, conforme descrito e especificado em outras partes da ABNT NBR ISO 14644. 
NOTA Nesta parte da ABNT NBR ISO 14644 não estão sendo dados os procedimentos de ensaio para todos os 
parâmetros de uma sala limpa. Os procedimentos e equipamentos para caracterizar outros parâmetros, relevantes em salas e 
zonas limpas usadas para produtos ou processos específicos, são discutidos em outros documentos preparados pelo 
ISO/TC 209 [por exemplo, procedimentos para controle e medição de materiais viáveis (ISO 14698), ensaio da funcionalidade 
de uma sala limpa (ABNT NBR ISO 14644-4) e ensaio de dispositivos de separação (ABNT NBR ISO 14677-7)]. Além disso, 
podem ser consideradas outras normas que possam ser aplicáveis. 
Indicações contidas nesta parte da ABNT NBR ISO 14644 referem-se às normas ASTM, CEN, DIN, IEST, JACA, 
JIS e SEMI. 
AVISO — A utilização desta parte da ABNT NBR ISO 14644 pode envolver materiais, operações 
e equipamentos perigosos. Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 não tem a pretensão de apontar todos os 
problemas de segurança associados à sua utilização. É de inteira responsabilidade do usuário desta parte 
da ABNT NBR ISO 14644 estabelecer as práticas apropriadas à saúde e à segurança, além de determinar, 
previamente ao seu uso, se existem limitações regulatórias. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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Salas limpas e ambientes controlados associados 
Parte 3: Métodos de ensaio 
 
1 Escopo 
Esta parte da ISO 14644 especifica métodos de ensaio para classes designadas de limpeza do ar para partículas 
em suspensão e para caracterizar o desempenho de sala e zonas limpas. Ensaios de desempenho são 
especificados para dois tipos de salas limpas: com fluxo unidirecional e com fluxo não-unidirecional, em 
três possíveis estados de ocupação: como construído, em repouso e em operação. Os métodos de ensaios 
recomendam os instrumentos de medição e procedimentos de ensaio para determinar os parâmetros de 
desempenho. Quando o método de ensaio for afetado pelo tipo de sala ou zona limpa, são sugeridos 
procedimentos alternativos. Para alguns ensaios são recomendados diferentes métodos e instrumentos, de forma 
a atender às considerações específicas de cada aplicação. Métodos alternativos, não incluídos nesta parte da 
ABNT NBR ISO 14644, podem ser usados se acordados entre usuário e fornecedores. Métodos alternativos não 
oferecem, necessariamente, medições equivalentes. 
Esta parte da ABNT NBR ISO 14644 não é aplicável às medições de produtos ou de processos em salas limpas 
ou em dispositivos de separação. 
2 Referências normativas 
Os documentos listados a seguir são indispensáveis para a aplicação deste documento. Para referências com 
data, somente a edição citada é aplicável. Para referências sem data, utiliza-se a edição mais recente (incluindo 
quaisquer emendas) do documento indicado. 
ABNT NBR ISO 14644-1:2005, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 1: Classificação da 
limpeza do ar 
ABNT NBR ISO 14644-2:2006, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 2: Especificações para 
ensaios e monitoramento para comprovar a contínua conformidade com a NBR ISO 14644-1 
ABNT NBR ISO 14644-4:2004, Salas limpas e ambientes controlados associados – Parte 4: Projeto, construção 
e partida 
ISO 7726:1998, Ergonomics of the thermal environment - Instruments for measuring physical quantities. 
3 Termos e definições 
Para os efeitos desta parte da ABNT NBR ISO 14644, aplicam-se os seguintes termos e definições. 
3.1 Geral 
3.1.1
sala limpa 
sala na qual a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada; é construída e utilizada de maneira 
a minimizar a introdução, geração e retenção de partículas dentro da sala, na qual outros parâmetros relevantes, 
como, por exemplo, temperatura, umidade e pressão, são controlados conforme necessário 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.1] 
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3.1.2
zona limpa 
espaço exclusivo no qual a concentração de partículas em suspensão no ar é controlada; é construído e utilizado 
de maneira a minimizar a introdução, geração e retenção de partículas dentro da zona, no qual outros parâmetros 
relevantes, como, por exemplo, temperatura, umidade e pressão, são controlados conforme necessário 
NOTA A zona limpa pode estar aberta ou fechada e pode estar, ou não, localizada dentro de uma sala limpa. 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.2] 
3.1.3
instalação 
sala limpa ou uma ou mais zonas limpas, incluindo todas as estruturas associadas, sistemas de tratamento de ar, 
serviços e utilidades 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.1.3] 
3.1.4
dispositivo de separação 
equipamento que utiliza meios construtivos e dinâmicos para criar níveis seguros de separação entre o interior e o 
exterior de um volume definido 
NOTA Alguns exemplos de dispositivos de separação para indústrias específicas são: compartimento de ar limpo, barreira 
de contenção, gloveboxes, isoladores e miniambientes. 
3.2 Medição de partículas em suspensão no ar 
3.2.1
gerador de aerossol 
equipamento capaz de gerar material particulado com faixa de tamanho apropriado (por exemplo, de 0,05 μm 
a 2 �m) em uma concentração constante, o qual possa ser produzido térmica, hidráulica, pneumática, acústica 
ou eletrostaticamente 
3.2.2
partícula em suspensão no ar 
porção de matéria sólida ou líquida suspensa no ar, viável ou não viável, com tamanho (para os efeitos desta parte 
da ABNT NBR ISO 14644) entre 1 nm e 100 �m 
NOTA Para efeito de classificação, ver ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.1. 
3.2.3
diâmetro da partícula mediana por contagem 
DMC 
diâmetro da partícula mediana, baseada no número de partículas 
NOTA Para a mediana da contagem, metade da quantidade de partículas é formada por partículas de tamanho menor que 
o diâmetro da partícula mediana por contagem e metade por partículas maiores que o diâmetro da partícula mediana 
por contagem. 
3.2.4
macropartícula 
partículacom um diâmetro equivalente maior que 5 �m 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.6] 
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3.2.5
indicador M 
concentração medida ou especificada de macropartículas, por metro cúbico de ar, expressa em termos 
do diâmetro equivalente que é característico do método de medição utilizado 
NOTA O indicador M pode ser visto como um limite superior para as médias nos pontos de medição (ou como limite 
superior de confiança, dependendo do número de pontos de medição utilizados para caracterizar a sala limpa ou zona limpa). 
Indicadores M não podem ser usados para definir classes de limpeza do ar para partículas em suspensão, mas podem ser 
citados independentemente ou em conjunto com classes de limpeza para partículas em suspensão no ar. 
 [ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.2] 
3.2.6
diâmetro da partícula mediana por massa 
DMM
diâmetro da partícula mediana, baseada na massa das partículas 
NOTA Para a mediana da massa, metade da massa de todas as partículas é formada por partículas de tamanho menor 
que o diâmetro da partícula mediana por massa e metade por partículas maiores que o diâmetro da partícula mediana 
por massa. 
3.2.7
concentração de partículas 
quantidade de partículas individuais por unidade de volume de ar 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.3] 
3.2.8
tamanho de partícula 
diâmetro de uma esfera de referência que produza uma resposta equivalente ao da partícula medida por 
um instrumento que classifica tamanhos de partículas 
NOTA Para contagem de partículas discretas, com instrumentos de dispersão de luz, é utilizado o diâmetro óptico 
equivalente. 
 [ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.2] 
3.2.9
distribuição por tamanho de partícula 
distribuição cumulativa da concentração de partículas em função do tamanho das partículas 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.4] 
3.2.10
aerossol de ensaio 
suspensão gasosa de partículas sólidas e/ou líquidas, com distribuição e concentração conhecidas e de tamanhos 
controlados 
3.2.11
indicador U 
concentração medida ou especificada, em partículas por metro cúbico de ar, incluindo as partículas ultrafinas 
NOTA O indicador U pode ser visto como um limite superior para as médias nos pontos de medição (ou como um limite 
superior de confiança, dependendo do número de pontos de medição utilizados para caracterizar a sala limpa ou zona limpa). 
Indicadores U não podem ser usados para definir classes de limpeza do ar para partículas em suspensão, mas podem ser 
citados, independentemente ou em conjunto com classes de limpeza para partículas em suspensão no ar. 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.3.1] 
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3.2.12
partícula ultrafina 
partícula com um diâmetro equivalente menor que 0,1 �m 
[ABNT NBR ISO 14644-1:2005, 2.2.5] 
3.3 Filtros de ar e sistemas 
3.3.1
desafio com aerossol 
desafio de um filtro ou de um sistema de filtros instalados, por meio de um aerossol de ensaio 
3.3.2
vazamento admissível designado 
penetração máxima permitida através de um vazamento, detectável durante a varredura de uma instalação, 
utilizando contador de partículas discretas ou fotômetro para aerossol; esta penetração é acordada entre usuário 
e fornecedores 
3.3.3
sistema de diluição 
sistema no qual o aerossol é misturado com um ar de diluição isento de partículas, em uma razão volumétrica 
conhecida, de modo a reduzir a concentração 
3.3.4
sistema de filtragem 
sistema composto por filtro, moldura e outro sistema de apoio ou de suporte 
3.3.5*
filtro final
filtros na última posição antes do ar entrar na sala limpa 
3.3.6
sistema de filtro instalado 
sistema de filtragem montado no forro, na parede, em equipamentos ou dutos 
3.3.7
ensaio para detecção de pontos de vazamento no sistema de filtro instalado 
ensaio executado para confirmar que os filtros estejam perfeitamente instalados, verificando que não haja 
vazamento do tipo bypass na instalação e que os filtros e estrutura de suporte estejam livres de defeitos 
e vazamentos 
3.3.8
vazamento 
<do sistema de filtragem> penetração de contaminantes que exceda um valor esperado de concentração a jusante 
devido à falha na integridade ou a defeitos 
3.3.9
varredura 
método para descobrir vazamentos nas unidades filtrantes e partes de unidades, no qual a abertura de entrada da 
sonda de um fotômetro de aerossol ou de um contador de partículas discretas é movida em faixas sobrepostas 
através da área de ensaio definida 
 
* NOTA DA TRADUÇÃO: No Brasil, o filtro final instalado dentro da sala limpa é também chamado de filtro terminal. 
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3.3.10
penetração padrão de vazamento 
penetração do vazamento detectado pelo contador de partículas discretas ou fotômetro para aerossol, com fluxo 
de ar de amostra padrão, quando a sonda de amostragem fica parada sobre o vazamento 
NOTA Penetração é a razão entre a concentração de partículas a jusante do filtro e a concentração a montante do filtro. 
3.4 Fluxo de ar e outros estados físicos 
3.4.1
taxa de troca de ar 
taxa de volume de ar trocado, expresso como o número de trocas de ar por unidade de tempo, a qual é calculada 
através da divisão do volume de ar fornecido na unidade de tempo pelo volume do ambiente 
3.4.2
vazão média de ar 
volume médio de ar dividido pela unidade de tempo, para determinar a taxa de troca de ar na sala ou zona limpa 
NOTA Vazão de ar é expressa em metros cúbicos por hora (m³/h). 
3.4.3
plano de medição 
seção transversal para ensaio ou medição dos parâmetros de desempenho, tal como velocidade do fluxo de ar 
3.4.4
fluxo de ar não-unidirecional 
distribuição de ar na qual o ar insuflado na zona limpa mistura-se com o ar interno, por indução 
[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.6] 
3.4.5
vazão de ar insuflado 
volume de ar insuflado em uma instalação, através dos filtros finais ou dutos de ar, por unidade de tempo 
3.4.6
vazão de ar total 
volume de ar que passa através de uma seção transversal em uma instalação, por unidade de tempo 
3.4.7
fluxo de ar unidirecional 
fluxo de ar controlado através de toda a seção transversal de uma zona limpa, com uma velocidade constante e 
linhas de fluxo aproximadamente paralelas 
NOTA Este tipo de fluxo de ar resulta no transporte direto das partículas da zona limpa para fora. 
[ABNT NBR ISO 14644-4:2004, 3.11] 
3.4.8
uniformidade do fluxo de ar 
condição do fluxo de ar unidirecional, no qual as leituras de velocidade ponto a ponto estão dentro da média 
percentual definida para velocidade média de fluxo de ar 
3.5 Medições eletrostáticas 
3.5.1
tempo de descarga 
tempo necessário para reduzir a tensão, positiva ou negativa, para o nível ao qual uma placa de monitoramento 
condutora isolada tenha sido previamente carregada 
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3.5.2
tensão de compensação *
tensão que será acumulada sobre uma placa condutiva isolada, sem carga inicial, quando essa placa for exposta 
a um ambientede ar ionizado 
3.5.3
propriedade estático-dissipativa 
capacidade de redução da carga eletrostática em superfícies de trabalho ou de produtos, resultante da condução 
ou de outro mecanismo, para um valor específico ou para um nível de carga nominal zero 
3.5.4
nível de tensão superficial 
nível de tensão, positiva ou negativa, de carga eletrostática na superfície de trabalho ou na superfície do produto, 
indicado por um instrumento adequado 
3.6 Instrumentos de medição e condições de medição 
3.6.1
fotômetro de aerossol 
indicador de concentração de massa de partículas em suspensão no ar por espalhamento de luz, o qual usa 
um compartimento óptico de espalhamento frontal de luz para efetuar a medição 
3.6.2
amostragem não-isocinética 
condição de amostragem na qual a velocidade média do ar entrando na sonda é significativamente diferente 
da velocidade média do fluxo de ar unidirecional naquele ponto 
3.6.3
impactador de cascata 
dispositivo de amostra que coleta partículas de um aerossol, utilizando o princípio de impactação sobre diversos 
coletores de superfície 
NOTA Cada superfície coletora subseqüente é exposta a uma corrente de aerossol com velocidade maior que a anterior, 
permitindo assim a coleta de partículas menores que as coletadas na superfície anterior. 
3.6.4
contador de núcleo de condensação 
CNC 
instrumento com a capacidade de aumentar partículas ultrafinas através da condensação, para uma subseqüente 
contagem através de técnicas de contagem de partículas por meio óptico 
3.6.5
eficiência de contagem 
razão entre a concentração medida de partículas em uma dada faixa de tamanhos e a concentração real de tais 
partículas 
3.6.6
analisador de mobilidade diferencial
AMD 
instrumento para medição da distribuição de tamanho de partículas, baseado na mobilidade elétrica destas 
partículas 
 
* NOTA DA TRADUÇÃO: No Brasil, a tensão de compensação é também conhecida por tensão de offset. 
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3.6.7
elemento múltiplo de difusão 
componente individual de um dispositivo separador de tamanho de partícula de múltiplos estágios, operando 
com o princípio de difusão para remover partículas menores de um fluxo de aerossol 
3.6.8
contador de partículas discretas 
CPD
instrumento que tenha a capacidade de mostrar e armazenar a contagem e o tamanho de partículas discretas 
(com uma discriminação de tamanho) para um volume específico de ar 
3.6.9
contagem falsa 
contagem de ruído de fundo 
contagem zero 
contagem apresentada por um contador de partículas discretas (CPD) devido a sinais eletrônicos indesejáveis, 
internos ou externos, quando não existem partículas 
3.6.10
coletor tipo coifa com medidor de vazão 
dispositivo com instrumento de medição capaz de medir diretamente o volume de ar de cada filtro final ou difusor 
de uma instalação, cobrindo completamente a face do filtro ou do difusor 
3.6.11
amostragem isoaxial 
condição de amostragem na qual a direção do fluxo de ar na entrada da sonda de amostragem é a mesma direção 
que a do fluxo unidirecional da amostra 
3.6.12
amostragem isocinética 
condição de amostragem na qual a velocidade média do ar que entra na sonda de amostragem é a mesma que 
a velocidade média do fluxo unidirecional naquele ponto de medição 
3.6.13
dispositivo separador de tamanho de partícula 
dispositivo capaz de remover partículas menores que aquelas de interesse e que é montado na entrada 
de um CPD ou de um CNC 
3.6.14
limite inferior de tamanho da partícula 
menor tamanho de partícula escolhido para se medir a concentração de partículas de tamanho igual e maiores 
que este tamanho escolhido 
3.6.15
medida do tempo de vôo da partícula 
medição do diâmetro aerodinâmico da partícula, determinado pelo tempo requerido para percorrer a distância 
entre dois planos fixos 
NOTA Esta medição utiliza a mudança de velocidade da partícula que é causada quando a partícula é introduzida 
em um campo de fluxo com velocidade diferente. 
3.6.16
impactador virtual 
instrumento para separar as partículas em função do tamanho, usando a força inercial para provocar a colisão em 
uma superfície hipotética (virtual) 
NOTA Grandes partículas atravessam a superfície em direção a um volume estagnado e as partículas pequenas desviam, 
seguindo a grande parte do fluxo de ar original. 
3.6.17
placa-testemunha 
material sensível à contaminação, de área superficial definida, usado em substituição à avaliação direta 
uma superfície específica quando esta é inacessível ou muito sensível para ser manuseada 
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3.7 Estados de ocupação 
3.7.1
como construído 
condição na qual a instalação está completa, com todos os serviços interligados e funcionando, mas sem 
a presença de equipamentos de produção, material ou pessoal 
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.1] 
3.7.2
em repouso 
condição na qual a instalação está completa, com equipamentos de produção instalados e operando de forma 
acordada entre o usuário e o fornecedor, mas sem presença de pessoal 
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.2] 
3.7.3
em operação 
condição na qual a instalação está funcionando nas condições especificadas, com o número de pessoas 
presentes conforme o especificado e trabalhando de forma acordada. 
[ABNT NBR ISO 14664-1: 2005, 2.4.3] 
4 Procedimentos de ensaio 
4.1 Ensaios para sala limpa 
4.1.1 Ensaio requerido 
Um ensaio de contagem de partículas em suspensão no ar (ver a Tabela 1) deve ser realizado para classificar 
uma instalação de acordo com ABNT NBR ISO 14644-1, em intervalos especificados na ABNT NBR ISO 14644-2. 
Tabela 1 — Ensaio requerido para a instalação 
Referência em ABNT NBR ISO 14644-3: 2009 
Ensaios requeridos 
Propósito Procedimento Instrumento 
Referenciado em 
Contagem de partículas em 
suspensão no ar para a 
classificação e ensaio de medição 
de salas limpas e de dispositivos de 
ar limpo. 
4.2.1 B.1 C.1 
ABNT NBR ISO 14644-1 e
ABNT NBR ISO 14644-2 
4.1.2 Ensaios opcionais 
A Tabela 2 relaciona outros ensaios apropriados para uma instalação. Estes ensaios podem ser aplicados em 
cada um dos três estados de ocupação designados. Para um determinado projeto de certificação,alguns destes 
ensaios podem ser requeridos ou todos eles. Convém que os ensaios e os métodos de ensaio sejam selecionados 
conforme acordado entre o cliente e fornecedores. Os ensaios selecionados podem também ser repetidos 
periodicamente como parte da rotina do programa de monitoramento da instalação (ver ABNT NBR ISO 14644-2). 
Diretrizes para a seleção dos ensaios e uma lista de verificação dos ensaios estão indicadas no Anexo A. 
Os métodos de ensaio estão descritos no Anexo B. 
Os métodos de ensaios no Anexo B estão descritos em uma forma genérica. Convém que métodos específicos 
sejam desenvolvidos para atender às necessidades de uma aplicação específica. 
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Tabela 2 — Ensaios opcionais para a instalação 
Referência em ABNT NBR ISO 14644-3:2009 
Ensaios opcionais 
Propósito Procedimento Instrumentos 
Referenciado em 
Contagem de partículas ultrafinas em 
suspensão no ar 
4.2.1 B.2 C.2 ABNT NBR ISO 14644-1
Contagem de macropartículas em 
suspensãono ar 
4.2.1 B.3 C.3 ABNT NBR ISO 14644-1
ABNT NBR ISO 14644-1 
e Ensaio de fluxo de ar ª 4.2.2 B.4 C.4 
ABNT NBR ISO 14644-2
ABNT NBR ISO 14644-1 
e Ensaio de medição da diferença de 
pressão do ar ª 
4.2.3 B.5 C.5 
ABNT NBR ISO 14644-2
Ensaio para detecção de pontos de 
vazamento em sistema de filtragem 
instalado 
4.2.4 B.6 C.6 ABNT NBR ISO 14644-2
Ensaio de sentido e visualização do 
fluxo de ar 
4.2.5 B.7 C.7 ABNT NBR ISO 14644-2
Ensaio de temperatura 4.2.6 B.8 C.8 ISO 7726 
Ensaio de umidade 4.2.6 B.9 C.9 ISO 7726 
Ensaio eletrostático e do gerador de 
íons 
4.2.7 B.10 C.10 
Ensaio de partículas sedimentadas 4.2.8 B.11 C.11 
Ensaio de recuperação 4.2.9 B.12 C.12 ABNT NBR ISO 14644-2
ABNT NBR ISO 14644-1 
e Ensaio da contenção 4.2.10 B.13 C.13 
ABNT NBR ISO 14644-2
 a Este é um ensaio requerido baseado na ABNT NBR ISO 14644-2. Os ensaios opcionais não estão apresentados em ordem 
de importância. A ordem para realização dos ensaios pode ser baseada nos requisitos de um documento específico 
ou previamente acordada entre usuário e fornecedores. 
4.2 Propósito 
4.2.1 Contagem de partículas em suspensão no ar 
Este ensaio é executado para determinar a classe de limpeza do ar e pode consistir em três partes, como segue: 
a) ensaio de classificação (ver B.1); 
b) ensaio de partículas ultrafinas (opcional) (ver B.2); 
c) ensaio de macropartículas (opcional) (ver B.3). 
Os ensaios b) e c) podem ser usados com finalidades informativas ou como a base para um requisito especificado, 
mas não podem ser usados para finalidades de classificação. 
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4.2.2 Ensaio de fluxo de ar 
Este ensaio é executado para determinar a vazão de ar de insuflamento em uma sala limpa com fluxo de ar 
não-unidirecional e a distribuição da velocidade do ar em uma sala limpa com fluxo de ar unidirecional. 
Geralmente é executado ou o ensaio da velocidade do fluxo de ar ou o ensaio da vazão de ar, e os resultados são 
requeridos em um único formato: velocidade média, vazão de ar média ou vazão de ar total. A vazão de ar total 
pode ser usada para determinar a taxa de troca do ar (número de movimentações do ar por hora) para uma 
instalação com fluxo de ar não-unidirecional. A velocidade do ar é determinada em salas limpas com fluxo de ar 
unidirecional. Procedimentos para o ensaio de fluxo de ar estão descritos em B.4. 
4.2.3 Ensaio da diferença de pressão de ar 
Este ensaio tem por objetivo verificar a capacidade da instalação como um todo de manter as diferenças de 
pressão especificadas entre a instalação e seus arredores. É recomendado que o ensaio da diferença de pressão 
de ar seja executado após a instalação ter atendido os critérios de aceitação para a velocidade do fluxo de ar 
ou o volume, a uniformidade do fluxo de ar e outros ensaios aplicáveis. Os detalhes do ensaio da diferença de 
pressão de ar estão descritos em B.5. 
4.2.4 Ensaio para detecção de pontos de vazamento em sistema de filtragem instalado 
Este ensaio é executado para confirmar se o sistema de filtragem final com filtros de alta eficiência está instalado 
corretamente através da verificação da ausência de vazamento relevante na instalação, e se os filtros estão sem 
defeitos (pequenos furos e outros danos no meio filtrante e na selagem da moldura) e vazamentos (vazamentos 
relevantes na moldura, vedação e estrutura de fixação do filtro). Este ensaio não verifica a eficiência do sistema. 
O ensaio é executado através da introdução de um aerossol de desafio a montante dos filtros e rastreado 
imediatamente a jusante dos filtros e quadro de sustentação ou através de amostragem no duto a jusante. 
Duas técnicas diferentes de detecção de vazamento estão descritas em B.6. 
4.2.5 Ensaio e visualização do sentido do fluxo de ar 
O propósito deste ensaio é confirmar se o sentido do fluxo de ar ou sua configuração ou ambos estejão 
em conformidade com o projeto e as especificações de desempenho. Se requerido, as características espaciais 
do fluxo de ar na instalação podem ser confirmadas. Os procedimentos para este ensaio estão descritos em B.7. 
4.2.6 Ensaios da uniformidade de temperatura e da umidade 
O propósito destes ensaios é demonstrar a capacidade do sistema de tratamento de ar da instalação em manter 
os níveis de temperatura e de umidade do ar (expressa como umidade relativa ou ponto de orvalho) dentro dos 
limites de controle, e durante o período, ambos especificados pelo usuário para a área em ensaio. 
Os procedimentos para estes ensaios estão descritos em B.8 e B.9. 
4.2.7 Ensaios eletrostáticos e do íon do gerador 
O propósito destes ensaios é avaliar níveis de tensão eletrostática em objetos, propriedades estático-dissipativas 
de materiais e o desempenho dos geradores de íons (ionizadores) usados para o controle eletrostático nas 
instalações. Ensaio eletrostático é realizado para avaliar o nível eletrostático da tensão em superfícies de trabalho 
e do produto, e as propriedades estático-dissipativas de pisos, superfícies de trabalho etc. O ensaio do gerador de 
íons é realizado para avaliar o desempenho do ionizador em eliminar cargas estáticas em superfícies. 
Os procedimentos para estes ensaios estão descritos em B.10. 
4.2.8 Ensaio de partículas sedimentadas 
O propósito deste ensaio é medir a quantidade (em número ou em massa) ou os efeitos (espalhamento de luz 
ou área coberta) das partículas depositadas sobre superfícies em qualquer direção. Alguns procedimentos para 
este ensaio estão descritos em B.11. 
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4.2.9 Ensaio de recuperação 
O ensaio de recuperação é realizado para determinar se a instalação é capaz de retornar a um nível especificado 
de limpeza, dentro de um tempo finito, após ter sido exposta brevemente a uma geração de partículas em 
suspensão no ar, como desafio. Este ensaio não é recomendado para instalações de fluxo de ar unidirecional. 
O procedimento para este ensaio está descrito em B.12. 
Quando um aerossol artificial é usado, convém que seja evitada a contaminação da instalação com os resíduos. 
4.2.10 Ensaio da contenção 
Este ensaio é realizado para determinar se há penetração, na sala ou zona limpa, de ar não filtrado vindo de fora 
da área de contenção, através de juntas, passagem de portas e forros pressurizados. O procedimento para este 
ensaio está descrito em B.13. 
5 Relatórios de ensaio 
O resultado de cada ensaio deve ser registrado em um relatório de ensaio e este deve conter as seguintes 
informações: 
a) nome e endereço da empresa responsável pelo ensaio e a data em que o ensaio foi executado; 
b) número e ano de publicação desta parte da ABNT NBR ISO 14644, isto é, ABNT NBR ISO 14644-3: data da 
publicação atual; 
c) identificação clara da localização física da área limpa ou zona limpa sendo ensaiada, incluindo referência a 
áreas adjacentes, se necessário, e as designações específicas de coordenadas de todos os pontos de 
medição; 
d) os critérios especificados de designação para a sala limpa ou zona limpa, incluindo o número da classificação 
ISO (classe N), os estados de ocupação relevantes e os tamanhos de partículas considerados; 
e) detalhes do método de ensaio utilizado, incluindo quaisquer condições especiais relativas ao ensaio ou 
variações relativas ao método de ensaio; identificação do instrumento de ensaio e seu certificado de 
calibração vigente; 
f) o resultado do ensaio, incluindo os dados que foram registrados conforme exigência específicana seção 
apropriada do Anexo B, e uma declaração relativa à conformidade com os critérios especificados; 
g) quaisquer outros requisitos especiais que tenham sido definidos como relevantes em relação à seção do 
Anexo B, para um ensaio específico. 
 
 
 
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Anexo A 
(informativo) 
Escolha de ensaios recomendados de uma instalação e a seqüência 
na qual realizá-los 
A.1 Geral 
Os procedimentos de ensaio descritos nesta parte da NBR ISO 14644 podem ser usados para demonstrar 
conformidade com os critérios de desempenho de uma instalação especificada pelo usuário e para realização de 
ensaios de desempenho periódicos. 
A escolha de ensaios pode ser baseada parcialmente em fatores como projeto da instalação, estados de 
ocupação e nível requerido de certificação. 
Recomenda-se que a seqüência dos ensaios seja previamente determinada entre usuário e fornecedores, 
de forma a minimizar esforços desnecessários caso se tenha uma não-conformidade. 
A.2 Lista de verificação de ensaios 
A Tabela A.1 fornece uma lista de verificação de ensaios e aparatos. É recomendado que detalhes da seqüência 
de ensaios sejam acordados entre usuário e fornecedores. 
Tabela A.1 — Lista de verificação dos ensaios recomendados e sua seqüência para 
uma instalação limpa 
Seleção do 
procedimento 
e seqüência 
de ensaio a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de ensaio
Referência
do aparato Comentários
 Contagem de 
partículas em 
suspensão no 
ar para 
classificação e 
medições 
B.1 
Contador de 
partículas 
discretas (CPD) 
C.1 
 Contador de 
núcleo de 
condensação 
(CNC) 
C.2.1 
 Contador de 
partículas 
discretas (CPD) 
C.2.2 
 Contagem de 
partículas em 
suspensão no 
ar para 
partículas 
ultrafinas 
B.2 
 
 Dispositivo 
separador de 
tamanho de 
partícula 
C.2.3 
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Tabela A.1 (continuação) 
Seleção do 
procedimento 
e seqüência 
de ensaio a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de ensaio
Referência
do aparato 
Comentários
Contagem de 
partículas em 
suspensão no ar 
para 
macropartículas 
B.3 C.3 
Medição sobre 
papel filtrante por 
meio de 
microscópio 
C.3.1 
Contagem de 
partículas em 
suspensão no ar 
para 
macropartículas 
com coleta de 
partículas 
B.3.3.2 
Impactador de 
cascata 
C.3.2 
Contador de 
macropartículas 
discretas 
C.3.3 
Contagem de 
partículas em 
suspensão no ar 
para 
macropartículas 
sem coleta de 
partículas 
B.3.3.3 
Dispositivo de 
dimensionamento 
de partícula 
através do tempo 
de vôo 
C.3.4 
Fluxo de ar B.4 C.4 
Termoanemômetro C.4.1.1 
Anemômetro de 
ultra-som, 
tridimensional ou 
equivalente. 
C.4.1.2 
Anemômetro de pás C.4.1.3 
Medição de 
velocidade do 
fluxo de ar em 
uma instalação 
de fluxo de ar 
unidirecional 
B.4.2.2 e 
B.4.2.3
Tubo de Pitot e 
manômetro (digital)
C.4.1.4 
 Termoanemômetro C.4.1.1 
Anemômetro de 
ultra-som, 
tridimensional ou 
equivalente. 
C.4.1.2 
Anemômetro de 
pás 
C.4.1.3 
Medição de 
velocidade do ar 
de insuflamento 
em uma 
instalação de 
fluxo de ar não-
unidirecional 
 
B.4.3.3 
Tubo de Pitot e 
manômetro (digital)
C.4.1.4 
Coifa com medidor 
de fluxo 
C.4.2.1 
Placa de orifício C.4.2.2 
Medição de 
vazão total de ar 
a jusante dos 
filtros instalados
B.4.3.2 
Tubo Venturi C.4.2.3 
 
 
 
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Tabela A.1 (continuação) 
Seleção do 
procedimento e 
seqüência de ensaio 
a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de 
ensaio 
Referência
do aparato 
Comentários 
 Coifa com 
medidor de fluxo 
C.4.2.1 
 Placa de orifício C.4.2.2 
 Tubo Venturi C.4.2.3 
 Vazão de ar 
em dutos 
B.4.2.5 
 Tubo de Pitot e 
manômetro 
(digital) 
C.4.1.4 
 Micromanômetro 
eletrônico 
C.5.1 
 Manômetro de 
coluna inclinada 
C.5.2 
 Medição da 
diferença de 
pressão do ar 
B.5 
 Manômetro 
mecânico 
C.5.3 
 Vazamento 
em filtros 
instalados
B.6 
 C.6 
 Fotômetro de 
aerossol linear 
C.6.1.1 
 Fotômetro de 
aerossol 
logarítmico 
C.6.1.2 
 Contador de 
partículas
discretas (CPD) 
C.6.2 
 Gerador de 
aerossol C.6.3 
 
 Substâncias 
para aerossol de
ensaio 
C.6.4 
 Sistema de 
diluição C.6.5 
 
 Varredura no 
sistema de 
filtro instalado 
para detecção 
de vazamento 
B.6.2 
e 
B.6.3 
 Contador de 
núcleo de 
condensação 
(CNC) 
C.2.1 
 Fotômetro de 
aerossol linear 
C.6.1.1 
 Fotômetro de 
aerossol 
logarítmico 
C.6.1.2 
 Ensaio para 
filtros 
instalados em 
dutos ou em 
unidades de 
tratamento de 
ar 
B.6.4 
 Contador de 
partículas
discretas 
C.6.2 
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Tabela A.1 (continuação) 
Seleção do 
procedimento e 
seqüência de ensaio 
a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de ensaio
Referência
do aparato 
Comentários 
Gerador de 
aerossol 
C.6.3 
Substâncias para 
aerossol de ensaio 
C.6.4 
Sistema de diluição C.6.5 
 
Contador de núcleo 
de condensação 
(CNC) 
C.2.1 
Indicadores C.7.1 
Termoanemômetro C.7.2 
Anemômetro de 
ultra-som, 
tridimensional 
dimensional 
C.7.3 
Gerador de 
aerossol 
C.7.4 
Sentido e 
visualização 
do fluxo de ar 
B.7 
Gerador de névoa C.7.4 
 Temperatura B.8 C.8 
Termômetro de 
vidro 
C.8.1 
Termômetro C.8.2 
RTD (dispositivo 
ôhmico para 
medição de 
temperatura) 
C.8.3 
Ensaio geral 
de 
temperatura 
B.8.2.1 
Termistor C.8.4 
Termômetro de 
vidro 
C.8.1 
 
Termômetro C.8.2 
RTD (dispositivo 
ôhmico para 
medição de 
temperatura) 
C.8.3 
 
Ensaio 
completo de 
temperatura 
B.8.2.2 
Termistor C.8.4 
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Tabela A.1 (continuação) 
Seleção do 
procedimento e 
seqüência de ensaio 
a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de ensaio
Referência
do aparato 
Comentários 
Monitor capacitivo 
de umidade 
C.9.1 
 
Monitor de 
umidade de fio de 
cabelo 
C.9.2 
 
Sensor de ponto de 
orvalho 
C.9.3 
 
Umidade B.9 
Psicrômetro C.9.4 
Eletrostático 
e do gerador 
de íons 
B.10 C.10 
Voltímetro 
Eletrostático 
C.10.1 
Medidor de ohm 
para resistências 
altas 
C.10.2 
Ensaio 
eletrostático 
B.10.2.1 
Placa de 
monitoramento 
carregada 
C.10.3 
 
Voltímetro 
eletrostático 
C.10.1 
 
Medidor de ohm 
para resistências 
altas 
C.10.2 
 
Ensaio do 
gerador de 
íons 
B.10.2.2 
Placa de 
monitoramento 
carregadaC.10.3 
 
Placa testemunha 
Microscópio 
bi-ocular 
 
 
Fotômetro de 
partículas 
sedimentadas 
C.11.1 
 
Contador de 
partículas em 
superfície 
C.11.2 
 
Partículas 
sedimentadas 
B.11 
Gerador de 
Partículas de LPE 
(látex de 
poliestireno) 
C.11.3 
 
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Tabela A.1 (continuação) 
Seleção do 
procedimento e 
seqüência de ensaio 
a
Procedimento 
de ensaio 
Referência do 
procedimento 
de ensaio 
Seleção 
do
aparato 
de 
ensaiob
Aparato de ensaio
Referência
do aparato 
Comentários 
Contador de 
partículas 
discretas (CPD) 
C.12.1 
 
Gerador de 
aerossol 
C.12.2 
 
Recuperação B.12 
Sistema de 
diluição 
C.12.3 
 
 Contenção B.13 C.13 
Contador de 
partículas 
discretas (CPD) 
C.13.1 
 
Gerador de 
aerossol 
C.13.2 
 
Método CPD B.13.2.1 
Sistema de 
diluição 
C.13.3 
 
Fotômetro C.13.4 Método 
fotômetro 
B.13.2.2 
Gerador de 
aerossol 
C.13.2 
a Nas células da coluna 1, os responsáveis pelo planejamento dos ensaios podem numerar os métodos de ensaio selecionados de
 acordo com a seqüência dos ensaios. 
b Na quarta coluna, os responsáveis pelo planejamento dos ensaios podem selecionar instrumentos de acordo com os métodos de
 ensaio selecionados. 
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Anexo B 
(informativo) 
Métodos de ensaio 
B.1 Contagem de partículas em suspensão no ar para classificação e medições 
B.1.1 Princípio 
Este método de ensaio especifica a medição da concentração de partículas em suspensão no ar com distribuição 
de tamanho no intervalo de 0,1 μm a 5 μm. As medições podem ser feitas em qualquer um dos três estados de 
ocupação definidos: como construído, em repouso e em operação. As medições são feitas para certificar ou 
verificar a classificação de limpeza do ar da instalação de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1 ou para 
medições periódicas de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-2. O procedimento dado em B.1 foi adaptado 
da IEST-G-CC1001:1999 [11]. 
B.1.2 Procedimento de ensaio 
B.1.2.1 Geral 
É recomendado que o número de pontos de medição, a sua localização, a definição da classificação da limpeza 
do ar e a quantidade de dados requeridos estejam de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1. Métodos de 
referência para amostragem do ar em cada ponto de medição são fornecidos em B.1. Outros métodos apropriados, 
que sejam equivalentes tanto na exatidão como nos dados obtidos, podem ser utilizados, se acordados entre 
usuário e fornecedores. Se nenhum outro método tiver sido acordado na ocasião, ou em caso de divergências, 
convém que seja utilizado o método de referência contido neste anexo. 
NOTA Onde forem requeridas informações detalhadas sobre ensaio em sala limpa utilizando CPD (contador de partículas 
discretas), ou quando forem requeridas maiores informações sobre normas de CPD, podem ser utilizados métodos 
normalizados [2][3][4][11][23][24]. 
B.1.2.2 Procedimento para contagem de partículas em suspensão no ar 
Posicionar a entrada de ar do CPD no ponto de medição especificado e ajustar a vazão de ar do CPD 
selecionando os limites de tamanho da(s) partícula(s) de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1. É recomendado 
que a sonda de amostragem seja selecionada de forma a permitir que a amostragem se aproxime da condição 
isocinética em áreas com fluxo unidirecional [1]. Convém que não haja diferença maior do que 20 % entre a 
velocidade na sonda de amostragem e a velocidade do ar amostrado. Se isto não for possível, posicionar a 
abertura da sonda de amostragem na direção predominante do fluxo de ar; em locais onde o fluxo de ar 
amostrado não é controlado ou não é previsível (por exemplo, fluxo de ar não-unidirecional), a abertura da sonda 
do CPD deve ser direcionada verticalmente para cima. É recomendado que o tubo de ligação entre a sonda e o 
sensor do CPD seja o mais curto possível. Para amostragem de partículas maiores ou iguais a 1 μm, convém que 
o comprimento do tubo de ligação não exceda o diâmetro e o comprimento recomendados pelo fabricante. 
É recomendado que erros de amostragem devidos à perda de partículas pequenas por difusão e perda de 
partículas maiores por sedimentação e impacto não sejam maiores do que 5 %. 
B.1.3 Instrumento para contagem de partículas em suspensão no ar 
É recomendado que um CPD, como descrito em C.1, seja capaz de contar e discriminar tamanho as partículas no 
ar com discriminação de tamanho de acordo com a classe de limpeza do ar da instalação sendo ensaiada. 
Convém que o CPD seja capaz de apresentar ou registrar a contagem de partícula nessas faixas de tamanho 
e que tenha um certificado de calibração válido como descrito em C.1. 
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B.1.4 Relatórios de ensaio 
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, para classificação ou ensaio da instalação é recomendado que, 
além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5, sejam também registrados os dados e as informações 
a seguir: 
a) ruído de fundo do CPD; 
b) tipo de medição: classificação ou monitoramento; 
c) classificação do grau de limpeza do ar da instalação; 
d) faixa(s) de tamanho das partículas e contagens; 
e) vazão de amostragem na entrada do CPD e vazão de ar através da câmara do sensor; 
f) localização dos pontos de medição; 
g) protocolo de amostragem para classificação ou plano de amostragem para monitoramento; 
h) estado de ocupação; 
i) outros dados relevantes para a medição. 
B.2 Contagem de partículas ultrafinas em suspensão no ar 
B.2.1 Princípio 
B.2.1.1 Geral 
Este método de ensaio especifica a medição da concentração de partículas em suspensão no ar com distribuição 
de tamanhos menores que 0,1 μm; esta concentração é referida como Indicador U. O procedimento dado em B.2 
foi adaptado da IEST-G-CC1002:1999 [12]. As medições podem ser feitas em sala limpa ou em zona limpa, em 
qualquer um dos três estados de ocupação designados. As medições são feitas para definir a concentração de 
partículas ultrafinas na instalação de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1:2005, Anexo E, ou para efetuar 
medições periódicas de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-2:2006. 
B.2.1.2 Eficiência da contagem 
É recomendado que a eficiência da contagem do sistema utilizado para medição do Indicador U fique dentro da 
região sombreada da Figura B.1[12]. Esta região de desempenho aceitável baseia-se em uma eficiência de 
contagem de 50 % no tamanho de partícula ultrafina definida, mostrado como tamanho “U”. Esta região inclui uma 
tolerância de ± 10 % do tamanho da partícula ultrafina, mostrado como tamanho “1,1U” e “0,9U” na Figura B.1. 
Para partículas acima e abaixo dos ± 10 % de tolerância, as eficiências mínima e máxima aceitáveis de contagem 
são baseadas na penetração calculada de um elemento de difusão tendo pelo menos 40 % de eficiência de 
penetração para partículas 10 % maiores do que o tamanho definido de partícula ultrafina e pelo menos 60 % de 
eficiência de penetração para partículas 10 % menores do que o tamanho definido de partícula ultrafina. 
 
 
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Legenda 
X diâmetro da partícula, μm 
Y eficiência de contagem, % 
 0,5U 0,9U U 1,1U 5U 
Exemplo U=0,02 0,010 0,018 0,02 0,022 0,10 
Exemplo U=0,03 0,015 0,027 0,03 0,033 0,15 
Exemplo U=0,05 0,025 0,045 0,05 0,055 0,25 
Figura B.1 — Região de aceitação para a eficiência de contagem do instrumento selecionado 
Se o CPD ou o CNC (contador de núcleo de condensação) tiver uma curva de eficiência de contagem que cai 
à direita da região sombreada da Figura B.1, não convém que o CPD ou o CNC seja utilizado para medir ou 
verificar o Indicador U. Se a curva cair à esquerda da região sombreada, a eficiência de contagem pode ser 
diminuída, modificando-a com um dispositivo separador de tamanho de partícula como descrito em B.2.1.3. 
Neste caso, a eficiência do CPD ou do CNC modificados vem a ser o produto da fração de penetração deste 
dispositivo pela eficiência de contagem do CPD ou CNC não modificados. 
B.2.1.3 Dispositivo separador de tamanho da partícula 
Para conseguir a característica desejada de eficiência de contagem requerida para medir ou verificar um indicador 
U, um dispositivo separador de tamanho de partícula pode ser acoplado na entrada de amostras do CPD ou CNC 
cuja curva de eficiência de contagem se localiza à esquerda da região sombreada da Figura B.1. A curva 
de eficiência de contagem do conjunto CPD ou CNC e o dispositivo separador de tamanho de partícula na entrada 
de amostragem será modificada para cair dentro da região sombreada da Figura B.1. Im
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O dispositivo separador de tamanho de partículas retira partículas menores do que um tamanho definido, 
reduzindo a penetração de uma forma reproduzível e bem definida. Dispositivos de corte de tamanho de partículas 
estão disponíveis em uma larga variedade de tamanhos e configurações, sendo aceitáveis desde que forneçam as 
características de penetração requeridas. Como dispositivos de corte de partículas adequados, elementos de 
bateria de difusão e impactadores virtuais podem ser utilizados. A penetração depende das propriedades físicas 
da partícula, da configuração do dispositivo e da vazão volumétrica. É necessário tomar cuidado com todos 
os dispositivos de corte de partículas para assegurar que eles sejam utilizados apenas para as vazões para as 
quais foram projetados e que sejam instalados de maneira a evitar o acúmulo de cargas eletrostáticas. A 
acumulação de cargas pode ser minimizada, assegurando-se de que o dispositivo separador de tamanho de 
partículas esteja adequadamente aterrado. 
B.2.2 Procedimento para contagem de partículas ultrafinas 
Ajustar a sonda de amostragem do CPD ou CNC (com o dispositivo separador de tamanho de partículas, se 
necessário). Amostrar o volume de ar necessário em cada ponto de medição e repetir as medições, se necessário, 
de acordo com a ABNT NBR ISO 14644-1, Anexo B, ou ABNT NBR ISO 14644-2. A amostragem de partículas 
ultrafinas realizada com uma vazão pequena e um tubo de amostragem comprido pode causar uma perda 
significativa por difusão. O erro de amostragem devido à perda de partículas ultrafinas por difusão não pode ser 
maior que 5 %. Calcular a concentração do Indicador U nas faixas de tamanho definidas das partículas ultrafinas, 
como combinado entre usuário e fornecedores, e registrar os dados. Onde for requerida a informação sobre 
a estabilidade da concentração de partículas ultrafinas, fazer três ou mais medições nos pontos selecionados 
e em intervalos de tempo, como acordado entre usuário e fornecedores. 
B.2.3 Instrumentos para contagem de partículas ultrafinas 
São utilizados CPD, como descrito em C.3, ou CNC, como descrito em C.2. Se for utilizado um CPD, convém que 
a eficiência de contagem seja de 50 % para partículas ultrafinas, como definido na ABNT NBR ISO 14644-1, 
Anexo B, e ter capacidade para determinação de tamanho de partícula até 1 μm, no mínimo. É recomendado que 
o limite na eficiência de contagem seja definido de acordo com a Figura B.1. Se for utilizado um CPD ou CNC com 
capacidade de detectar partículas menores que o tamanho desejado, convém que seja utilizado um dispositivo 
separador de tamanho, com desempenho de penetração por tamanho de partícula conhecido, como descrito em 
B.2.1. 
B.2.4 Relatórios de ensaio 
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que para medições do indicador U da 
instalação, além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5 , sejam também registrados os dados 
e as informações a seguir: 
a) identificação do CPD ou CNC e, se utilizado, do dispositivo separador de tamanho de partículas, e a condição 
de calibração; 
b) limite do tamanho das partículas ultrafinas definido para o Indicador U; 
c) ruído de fundo para o CPD, quando utilizado; 
d) dados do desempenho do dispositivo separador de tamanho de partículas, como requerido; 
e) tipo de medição: medição do Indicador U ou monitoramento; 
f) classe de limpeza do ar da instalação; 
g) sistema de amostragem de partículas ultrafinas e vazão volumétrica passando pelo sensor 
h) localização dos pontos de amostragem; Im
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i) plano de amostragem para determinação do Indicador U ou plano de amostragem para ensaio, como 
especificado; 
j) estados de ocupação; 
k) outros dados relevantes para a medição. 
B.3 Contagem de partículas em suspensão no ar para macropartículas 
B.3.1 Princípio 
Este método de ensaio descreve a medição de partículas em suspensão no ar para tamanhos maiores que 5 �m 
em diâmetro (macropartículas). O procedimento descrito em B.3 foi adaptado do documento IEST-G-CC1003:1999 
[13]. As medições podem ser feitas numa instalação de sala limpa ou zona limpa, em qualquer um dos três estados 
ocupacionais designados. As medições são feitas para definir a concentração de macropartículas em áreas limpas 
de acordo com a ABNT NBR ISO 146444-1:2005, Anexo E, ou para fazer medições periódicas de acordo com 
ABNT NBR ISO 14644-2:2006. Enfatiza-se a necessidade de coleta e manuseio da amostra de forma apropriada, 
de modo a minimizar perdas de macropartículas nestas operações. 
B.3.2 Considerações para manuseio da amostra 
Cuidados com a coleta e o manuseio da amostra são requeridos em se tratando de macropartículas. Pode ser 
encontrada em outros documentos [1] [13] uma discussão completa dos requisitos para sistemas, os quais podem 
ser usados para amostragem isocinética ou anisocinética e para o transporte de partículas até o ponto de medição. 
B.3.3 Métodos de medição para macropartículas 
B.3.3.1 Geral 
Há duas categorias gerais de métodos para medição de macropartículas. Os resultados podem não ser 
comparáveis quando diferentes métodos de medição forem usados. Por isto, a correlação entre diferentes 
métodos pode não ser possível. As informações sobre o tamanho da partícula, geradas por vários métodos, são 
sumarizadas abaixo: 
a) coleta por filtragem ou efeitos inerciais, seguida por medição microscópica do número e tamanho, ou 
medição da massa das partículas coletadas: 
1) coleta por filtragem e medição microscópica (B.3.3.2.1) registra macropartículas utilizando o tamanho de 
partícula baseado em um diâmetro acordado; 
2) coleta por impactador de cascata e medição microscópica [B.3.3.2.2 a)] registra as macropartículas, 
utilizando o tamanho de partícula baseado na escolha feita pelo microscopista para o diâmetro da 
partículaa ser registrada; 
3) coleta por impactador de cascata e medição de peso [B.3.3.2.2 b)] registra as macropartículas utilizando 
tamanho da partícula baseado em um diâmetro aerodinâmico; 
b) medição no local, da concentração e do tamanho das macropartículas com um contador de partícula 
de tempo de vôo ou um CPD: 
1) medição com CPD (B.3.3.3.2) registra macropartículas utilizando tamanho de partícula baseado num 
diâmetro óptico equivalente; 
2) medição do tamanho de partícula através do tempo de vôo (B.3.3.3.3) registra macropartículas 
utilizando tamanho de partícula baseado em um diâmetro aerodinâmico. 
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B.3.3.2 Medição de macropartícula com coleta de partícula 
B.3.3.2.1 Coleta por filtragem e medição microscópica 
Selecionar um filtro de membrana e um suporte ou um monitor de aerossol pré-montado; é recomendado que seja 
usada uma membrana com tamanho de poro de 2 �m ou menor. Marcar o suporte do filtro para identificar a sua 
localização e instalação. Conectar a saída a uma fonte de vácuo, succionando o ar na vazão requerida. 
Caso o local da amostragem para determinação da concentração de macropartículas for uma área de fluxo 
unidirecional, convém que a vazão seja estabelecida para permitir a amostragem isocinética na entrada do suporte 
do filtro ou do monitor de aerossol e que a entrada esteja posicionada no sentido oposto ao do fluxo unidirecional. 
É recomendado que a entrada do suporte do filtro ou do monitor de aerossol esteja posicionada verticalmente para 
cima. Para instalações ISO Classe 6 e mais limpas (ver ABNT NBR ISO 14644-1), convém que o volume do ar 
amostrado não seja menor que 0,28 m3. Para instalações de classes menos limpas que ISO Classe 6, convém 
que o volume de ar amostrado não seja menor que 0,028 m3. 
Remover a tampa do suporte do filtro de membrana ou do monitor de aerossol e guardá-la em um local limpo. 
Amostrar o ar nos pontos de amostragem determinados, conforme acordado entre cliente e fornecedores. 
Se uma bomba de vácuo portátil for usada para succionar o ar através do filtro de membrana, é recomendado que 
a descarga desta bomba seja filtrada apropriadamente ou direcionada para fora da instalação limpa. Após a 
finalização da coleta de amostras, recolocar a tampa no suporte do filtro ou no monitor de aerossol. 
É recomendado que o suporte seja transportado de tal maneira que o filtro de membrana seja mantido na posição 
horizontal o tempo todo e que não fique sujeito à vibração ou choque entre o momento em que a amostra 
é coletada e quando ela é analisada. Contar as partículas na superfície do filtro [4]. 
B.3.3.2.2 Coleta e medição por impactador de cascata 
No caso de impactadores de cascata, o fluxo de ar amostrado passa através de uma série de furos com os 
tamanhos de orifícios decrescentes. As partículas maiores são depositadas diretamente abaixo dos orifícios 
maiores e as partículas menores são depositadas em cada estágio sucessivo do impactador. Dois tipos de 
impactadores de cascata podem ser usados para coleta de macropartículas. Em um deles, as partículas são 
depositadas nas superfícies das placas removíveis, as quais são encaminhadas para subseqüente pesagem ou 
exame microscópico. Vazões de amostragem de 0,00047 m3/s ou mais são normalmente usadas para este tipo de 
impactador de cascata. No outro tipo, as partículas são depositadas nas microbalanças constituídas de sensores 
de massa piezoelétricos (quartzo), as quais pesam as partículas coletadas em cada estágio do impactador. 
Este tipo de impactador de cascata normalmente usa vazões de ar significativamente menores. 
a) Para o primeiro tipo de impactador de cascata, a tara inicial de cada estágio de coleta é registrada ou o 
número de partículas inicial por unidade de área de cada estágio é contado antes da realização de qualquer 
medição. O impactador é operado por um período de 10 minutos ou mais. No final deste período, ele é selado 
e levado para a balança ou microscópio para avaliação. Os estágios de coleta são removidos e é registrado o 
peso ou o número de partículas acumulados em cada estágio capaz de coletar macropartículas. 
A concentração de macropartículas no estágio de impactação pertinente é então definida como o peso ou o 
número total de partículas, dividido pelo fluxo total de ar que passou através do impactador. 
b) Para o segundo tipo de impactador de cascata, os dados de massa da partícula são coletados no momento da 
amostragem. Como os sensores da microbalança para cada estágio podem ser programados para indicar 
a variação em massa, normalmente não é necessário determinar as taras iniciais antes do início da 
amostragem. Assim como o outro tipo de impactador de cascata, os estágios podem ser removidos e as 
medições podem ser feitas para partículas individuais através de um microscópio óptico ou para composição 
de partículas através de um microscópio eletrônico. A vazão de ar amostrado é ajustada para 0,00039 m3/s e 
a duração da amostragem é ajustada para períodos desde 10 min até algumas horas, dependendo da classe 
da zona limpa. O impactador é posicionado no local do ponto de amostragem pré-selecionado e ligado. 
No final do período de amostragem, o impactador pode ser levado para outros locais e medições adicionais 
podem ser feitas. A concentração de macropartículas é então definida como o peso ou o número total no 
estágio de impactação pertinente dividido pelo fluxo total de ar que passou através do impactador. I
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B.3.3.3 Medição de macropartícula sem coleta 
B.3.3.3.1 Geral 
Macropartículas podem ser medidas sem coletar as partículas do ar. O processo envolve medição óptica das 
partículas suspensas no ar. Uma amostra de ar é captada a uma vazão específica através de um CPD, o qual 
registra o diâmetro óptico equivalente ou o diâmetro aerodinâmico das partículas. 
B.3.3.3.2 Medição com contador de partículas discretas (CPD) 
Os procedimentos para medição de macropartícula são os mesmos que aqueles utilizados em B.1 para contagem 
de partícula em suspensão no ar, com uma exceção. A exceção é que neste caso, o CPD não requer sensibilidade 
para detecção de partículas menores que 1 �m, pois os dados são requeridos somente para contagem de 
macropartícula. Cuidados são necessários para assegurar que o CPD tome amostras de partículas diretamente do 
ar, no local de amostragem. Não convém que sejam usados tubos de ligação maiores que 1 m entre a sonda de 
amostragem e o CPD. É recomendado que o CPD seja capaz de amostrar a vazão de 0,00047 m3/s e que seja 
instalado com uma sonda para amostragem isocinética em zonas de fluxo unidirecional. Nas áreas de fluxo não-
unidirecional, convém que o CPD seja colocado com a abertura da sonda de amostragem posicionada para cima. 
É recomendado que o diâmetro da abertura da sonda de amostragem não seja menor que 30 mm. 
A faixa de tamanhos de partículas é selecionada no CPD para que sejam detectadas somente as macropartículas. 
É recomendado que sejam registrados os dados de um tamanho menor que 5 �m (ver ABNT NBR ISO 14644-1, 
Tabela 1), de modo a assegurar que a concentração detectada para partículas menores que o tamanho de 
macropartículas não é suficientemente alta para causar erro de coincidência na medição efetuada pelo CPD. 
Não convém que a concentração de partículas nesta faixa de tamanho menor, quando adicionada à concentração 
de macropartículas, exceda 50 % da concentração máxima recomendada,especificada para o CPD utilizado. 
B.3.3.3.3 Medição do tamanho de partícula através do tempo de vôo 
Dimensões de macropartículas podem ser medidas com o dispositivo de tempo de vôo. Uma amostra de ar é 
succionada no dispositivo, e acelerada por expansão através de um bocal até um vácuo parcial, onde está 
localizada a região de medição. Qualquer partícula naquela amostra de ar é acelerada para atingir a velocidade do 
ar na região de medição. A taxa de aceleração das partículas varia inversamente com a massa da partícula. 
A relação entre a velocidade do ar e a velocidade da partícula no ponto de medição pode ser usada para 
determinar o diâmetro aerodinâmico da partícula. Conhecendo a diferença de pressão entre o ar ambiente e a 
pressão na região de medição, a velocidade do ar pode ser calculada diretamente. A velocidade da partícula 
é medida através do tempo de vôo entre dois feixes de laser. É recomendado que o dispositivo de tempo de vôo 
meça diâmetros aerodinâmicos de partículas até 20 �m, com resolução de tamanho melhor do que 10 %. 
Procedimentos para aquisição de amostra são os mesmos que aqueles requeridos utilizando um CPD para a 
medição de macropartícula. Além disso, os mesmos procedimentos do CPD são usados com este dispositivo para 
estabelecer as faixas de tamanho de partículas a serem reportadas. 
B.3.4 Procedimento para contagem de macropartícula 
Ajustar o sensor de entrada da amostra do dispositivo selecionado. Amostrar o volume de ar requerido para 
coletar no mínimo 20 macropartículas em cada ponto de amostragem e fazer medições conforme especificado no 
ABNT NBR ISO 14644-1 ou ABNT NBR ISO 14644-2. Calcular a concentração do indicador M na(s) faixa(s) de 
tamanho de partícula selecionada(s), conforme acordado entre usuário e fornecedores, e registrar os dados. 
Onde informação da estabilidade da concentração de macropartícula é requerida, fazer três ou mais medições nos 
locais selecionados em intervalos de tempo acordados entre usuário e fornecedores. 
 
 
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B.3.5 Relatórios de ensaio 
Conforme acordado entre usuário e fornecedores, é recomendado que para classificação ou medição da 
instalação, além do relatório de ensaios conforme descrito na Seção 5, sejam também registrados os dados e as 
informações a seguir: 
a) definição do parâmetro da partícula ao qual o dispositivo responde; 
b) tipo de medição: classificação ou ensaio de determinação de indicador M ou monitoramento; 
c) designação do tipo de cada dispositivo e instrumento de medição utilizado, bem como sua condição de 
calibração; 
d) classe de limpeza da instalação; 
e) faixa(s) de tamanho de macropartícula e a contagem para cada faixa de tamanho registrada; 
f) vazão da amostra na entrada do dispositivo e vazão passando pela câmara do sensor; 
g) localização dos pontos de medição; 
h) plano de amostragem para classificação ou protocolo de amostragem para ensaio; 
i) estado(s) de ocupação; 
j) estabilidade da concentração de macropartícula, se requerida; 
k) outros dados relevantes para medição. 
B.4 Ensaio de fluxo de ar 
B.4.1 Princípio 
O propósito destes ensaios é medir a velocidade e a uniformidade do fluxo de ar, e a vazão de insuflamento de ar 
em salas limpas e zonas limpas. A medição da distribuição de velocidade é necessária em salas e zonas limpas 
com fluxo unidirecional, e a vazão de insuflamento de ar é necessária em salas limpas com fluxo não-unidirecional. 
A medição da vazão de insuflamento de ar é realizada para verificar o volume de ar insuflado por unidade de 
tempo na instalação, e este valor pode também ser utilizado para determinar o número de movimentações de ar 
por unidade de tempo. A vazão de insuflamento de ar é medida a jusante dos filtros terminais ou nos dutos de 
insuflamento; ambos os métodos estão baseados na medição da velocidade do ar atravessando uma área 
conhecida, sendo a vazão de ar o produto da velocidade pela área. É recomendado que a escolha do 
procedimento seja acordada entre usuário e fornecedores. Estes ensaios são aplicáveis nos três estados de 
ocupação. 
B.4.2 Procedimento para o ensaio da instalação de fluxo unidirecional 
B.4.2.1 Geral 
A velocidade do fluxo unidirecional determina o desempenho de uma sala com fluxo unidirecional. A velocidade 
pode ser medida próximo à face dos filtros terminais, ou dentro da sala. Isto e realizado definindo um plano de 
medição perpendicular ao fluxo de ar e dividindo este plano em uma grade de áreas iguais [15]. 
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B.4.2.2 Velocidade do fluxo de ar de insuflamento 
É recomendada que a velocidade do fluxo de ar seja medida a uma distância aproximada de 150 mm a 300 mm 
da face do filtro. Convém que o número de pontos de medição seja suficiente para determinar a vazão de ar de 
insuflamento em salas e zonas limpas, e que seja a raiz quadrada de 10 vezes a área em metros quadrados, 
porém não menor que 4. É recomendado que pelo menos um ponto seja medido para cada filtro ou para cada 
unidade de filtro-ventilador. Uma cortina pode ser utilizada para evitar turbulências no fluxo unidirecional. 
É recomendado que o tempo de medição em cada ponto seja também suficiente para assegurar a repetibilidade 
da leitura. Convém que os valores dos tempos médios das velocidades medidas sejam registrados para as 
múltiplas localizações. 
B.4.2.3 Uniformidade da velocidade na sala limpa 
É recomendada que a uniformidade da velocidade seja medida a uma distância aproximada de 150 mm a 300 mm 
da face do filtro e que a subdivisão da grade seja definida conforme acordado entre usuário e fornecedores. 
Quando os equipamentos de produção e as bancadas de trabalho estão instalados, é importante verificar a 
ocorrência de variações significativas de fluxo de ar. Portanto, recomenda-se que a medição da uniformidade da 
velocidade não seja efetuada em posições próximas a estes obstáculos. 
Os dados medidos podem não refletir as características da instalação da sala ou da zona limpa. É recomendado 
que sejam acordados entre usuário e fornecedores os dados a serem utilizados para determinar a uniformidade da 
velocidade, ou seja, a distribuição da velocidade. 
É recomendado que o tempo de medição em cada ponto seja suficiente para assegurar a repetibilidade da leitura. 
B.4.2.4 Vazão de ar de insuflamento medida pela velocidade na face do filtro 
Os resultados do ensaio de velocidade de fluxo, realizado de acordo com o procedimento descrito em B.4.2.2, 
podem ser utilizados para calcular a vazão total de insuflamento, como segue: 
Q = � (Uc x Ac) (B.1) 
onde 
Q é a vazão total de ar; 
Uc é a velocidade do ar no centro de cada célula; 
AC é a área da célula, definida como a área da instalação dividida pelo número de pontos de medição; 
� é a somatória para todas as células. 
B.4.2.5 Vazão de ar em dutos 
A vazão de ar em dutos pode ser medida por medidores volumétricos de fluxo tais como: placas de orifício, tubos 
Venturi e anemômetros, referenciados nas ISO 5167-1 a ISO 5167-4 [19][20][21][22]. 
No caso de medição por tubo de Pitot e manômetros ou por anemômetros (termoanemômetros ou de pás) em 
duto retangular, é recomendado que o plano de medição no duto seja dividido em grade de células de áreas iguais 
e que a velocidade do fluxo seja medida no centro de cada célula. O número de células é acordado entre usuário 
e fornecedores, por exemplo, 9 ou 16. É recomendado que a vazão de ar seja calculada da mesma