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Dispositivos Eletrônicos Semicondutores UNIDADE 9 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Professor: Vitor Cristiano Bender, Dr. Eng. bender.vitor@gmail.com Universidade Federal do Pampa Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica http://www.electronicsurplus.com/media/catalog/product/cache/1/image/65f0867e01db0c63575926b38443f6fa/3/9/39268-1.JPG http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=7054027 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Aula de Hoje • Introdução • Novos Materiais • Novas Tecnologias • Tendências Futuras Prof. Vitor C. Bender 2 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Introdução • Semicondutores construídos a partir de Silício (Silicon – Si) já estão consolidados na indústria de dispositivos eletrônicos semicondutores de potência. • Tais dispositivos atingiram um limite onde existem poucos recursos tecnológicos que permitem um aumento significativo da eficiência. • Em função disto, nos últimos anos, pesquisas têm ocorrido com objetivo de utilizar novas tecnologias/materiais para aumentar a capacidade de tensão e corrente de tais dispositivos. • Estes avanços resultaram no surgimento de novos dispositivos eletrônicos baseados nos materiais semicondutores de amplo bandgap. • Entre eles destacam-se o Carbeto de Silício (Silicon Carbide – SiC), o Nitreto de Gálio (Gallium-Nitride – GaN) e o Arseneto de Gálio (Gallium-Arsenide – GaAS). Prof. Vitor C. Bender 3 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Introdução • O uso de tais dispositivos provavelmente proporcionará melhorias significativas de desempenho para conversores e sistemas aplicados à Eletrônica de Potência, no que diz respeito a: ▫ bloqueio de tensões elevadas; ▫ operação em frequências mais elevadas de comutação; ▫ menores perdas de condução e de comutação; ▫ otimização de estratégias empregadas na dissipação de calor; ▫ maior eficiência e viabilidade. Prof. Vitor C. Bender 4 https://static.electronicsweekly.com/news/wp-content/uploads/sites/16/2015/07/22jul15-Leti-GaN-market.jpg Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Introdução • A Figura apresenta a evolução dos semicondutores de potência e as faixas de tensão e corrente em que são atualmente encontrados. Prof. Vitor C. Bender 5 Fonte: Duarte, 2017 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Características dos materiais semicondutores • A qualidade e as características de um elemento semicondutor são determinadas pelas características do material utilizado em sua fabricação. A Tabela sumariza algumas propriedades do Si, SiC e GaN. Prof. Vitor C. Bender 6 Fonte: Duarte, 2017 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Características dos materiais semicondutores • Materiais semicondutores de amplo bandgap possuem características elétricas (propriedades físicas) superiores quando comparados com o Si, sendo algumas destas características apresentadas na Tabela. Prof. Vitor C. Bender 7 Fonte: Mohan, 2003 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Tensão de Ruptura do Semicondutor • Dentre todos os semicondutores apresentados na tabela, o diamante possui o mais amplo bandgap; consequentemente possui campo elétrico de ruptura mais elevado do que os demais. • SiC e o GaN possuem bandgap e campo elétrico com valores similares e bem mais elevados do que os semicondutores Si e GaAs. • Semicondutores com maior bandgap podem operar com temperaturas mais elevadas; portanto, dispositivos de potência de diamante tem a capacidade de operar em temperaturas ambiente mais elevadas do que os outros materiais. ▫ Exemplo: Si até 150ºC SiC até 400ºC Prof. Vitor C. Bender 8 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Tensão de Ruptura do Semicondutor • Um campo elétrico de ruptura mais elevado resulta em dispositivos de potência com tensões de ruptura mais elevadas. Como exemplo, a tensão de ruptura de um diodo é expressa pela equação (1): Prof. Vitor C. Bender 9 Fonte: Soares, 2010Ec: campo elétrico (1) Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Tensão de Ruptura do Semicondutor • Usando a equação, as tensões de ruptura de diodos construídos de materiais listados na Tabela são calculadas assumindo a mesma densidade de dopagem, sendo os resultados (valores teóricos), normalizados para a tensão de ruptura de um diodo de silício, mostrados na Figura. Prof. Vitor C. Bender 10 • De acordo com estes resultados, a tensão de ruptura de um diodo de diamante é 514 vezes maior do que a de um diodo de Si. • Analogamente, para 6H-SiC, 4H-SiC e GaN a tensão de ruptura é respectivamente 56, 46 e 34 vezes maior do que a tensão de ruptura de um diodo de Si. Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Largura da Região de Dopagem • Como consequência de um campo elétrico de ruptura elevado e maior densidade de dopagem é a redução da largura (espessura) da região drift (WD),calculada pela equação (2): Prof. Vitor C. Bender 11 • Como exemplo, a largura da região drift é calculada para todos os semicondutores listados na Tabela e os resultados são plotados na Figura para tensão de ruptura variando de 100 V a 10 kV. • O diamante, conforme esperado requer uma largura WD mínima, enquanto que o GaN e os polítipos 6H-SiC e 4H-SiC de carbeto de silício resultam larguras maiores, entretanto, ainda em torno de dez vezes menores do que a espessura da região drift do semicondutor de silício. Fonte: Soares, 2010 (2) Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Resistência de Condução • Conforme Tabela, a mobilidade de elétrons (μn) é muito maior do que a mobilidade de lacunas (μp) em todos os semicondutores analisados. • Apesar da mobilidade de elétrons diminuir com o aumento da dopagem (ND) e/ou da temperatura, em se tratando de semicondutores com amplo bandgap, é possível aumentar a densidade de dopagem e/ou trabalhar com temperaturas mais elevadas sem reduzir consideravelmente a tensão de ruptura (VB), vide Eq. (1) devido o campo elétrico de ruptura (Ec) ser bem mais elevado do que para os semicondutores de silício. • Isto favorece a construção de dispositivos unipolares usando preferencialmente região drift do tipo N-, tendo em vista a redução da resistência em condução (Ron) da região drift, a qual é calculada através das equações (3) e (4): Prof. Vitor C. Bender 12 Fonte: Soares, 2010 (3) (4) Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Resistência de Condução • O denominador de (4) é uma das figuras de mérito para análise do desempenho de dispositivos semicondutores comumente conhecida como BFM (Baliga’s Figure of Merit for Power Devices), que sinaliza o impacto das propriedades do material semicondutor na resistência da região drift. • Os resultados calculados para a resistência em condução, utilizando (4), são mostrados na Figura como função da variação da tensão de ruptura do dispositivo. • O diamante apresenta melhor desempenho seguido pelos demais semicondutores 6H-SiC, 4H-SiC e GaN que possuem resistências em condução com valores maiores do que o diamante. • Observa-se que a resistência de contato e/ou resistência do canal deve também ser considerada no cálculo da resistênciaem condução. • No entanto, a resistência em condução da região drift para o silício é em torno de dez vezes maior do a resistência em condução dos polítipos SiC e do GaN. Prof. Vitor C. Bender 13 Fonte: Soares, 2010 (4) Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Estabilidade Térmica • Semicondutores com amplo bandgap possibilitam a operação do dispositivo em temperaturas elevadas devido o seu maior campo elétrico de ruptura (Ec). • Outra vantagem que é a condutividade térmica (λ) elevada. Quanto maior for esta propriedade, melhor será a condução de calor para o ambiente, o que significa que a temperatura do dispositivo aumenta mais lentamente. • Menores investimentos em estratégias empregadas na dissipação de calor são necessários, reduzindo complexidade, peso, volume e possivelmente os custos. • O diamante supera todos os demais semicondutores constantes na Tabela 1, quanto à condutividade térmica, sendo cinco vezes maior do que os polítipos SiC. • O GaN tem condutividade térmica pior do que a do Si, porém ainda maior do que a condutividade térmica do GaAs. Prof. Vitor C. Bender 14 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Frequência de Comutação e Recuperação Reversa • A capacidade de um dispositivo semicondutor operar em frequências elevadas é diretamente proporcional à velocidade recombinação de elétrons e lacunas na região de menor dopagem (drift). • Tal propriedade, denominada “velocidade de saturação do elétron” (Vsat), é apresentada na Tabela. • Com exceção do GaAs, a velocidade recombinação de cargas dos semicondutores de amplo Bandgap é no mínimo duas vezes maior do que ocorre no silício. • Esta propriedade associada com a redução de área nos semicondutores de amplo bandgap, devido à maior dopagem, reduz a capacitância parasita (intrínseca de junção) desses dispositivos; portanto, é esperado que dispositivos de maior energia de bandgap possam comutar em frequências mais elevadas do que o dispositivo de Si. • Além disso, a velocidade elevada de saturação do elétron possibilita a remoção rápida de cargas na região de depleção de diodos. • Com isso, a corrente de recuperação reversa é menor e o tempo de recuperação reversa também é menor do que para um diodo Si. Prof. Vitor C. Bender 15 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Figuras Mérito para Semicondutores de Amplo Bandgap • Objetivando melhor comparação e análise do desempenho possível destes materiais em eletrônica de potência, duas figuras de mérito comumente conhecidas são listadas na Tabela. • Nesta tabela os valores foram normalizados com relação ao Si, sendo que o maior valor encontrado corresponde ao material que possui melhor desempenho. ▫ A figura de mérito de Baliga, BFM é uma medição da resistência específica em condução da região drift no semicondutor. ▫ A figura de mérito de Johnson, JFM (Johnson’s Figure of Merit for Power Devices), é uma medição da freqüência de comutação mais elevada que o dispositivo semicondutor suportar, conforme equação (5). Prof. Vitor C. Bender 16 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Figuras Mérito para Semicondutores de Amplo Bandgap • Os valores da figura de mérito para o diamante são pelo menos 90 vezes maior do que os demais semicondutores relacionados na Tabela. • Os polítipos SiC e o GaN possuem figuras de méritos similares, o que implica em desempenhos também similares. • O desempenho dos semicondutores Si e GaAs é o pior entre os materiais listados e o diamante possui as melhores características elétricas. • A maioria das pesquisas sobre o desenvolvimento de novos dispositivos de potência estão direcionadas para o carbeto de silício (SiC). Prof. Vitor C. Bender 17 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • O carbeto de silício (SiC) é a tecnologia mais desenvolvida entre os demais semicondutores de amplo bandgap, e tem avançado fortemente a partir do ano de 1987 com a fundação da CREE, a qual é a maior supridora de pastilhas SiC. • Alguns problemas existentes no processo de fabricação do semicondutor não têm impedido a comercialização dos primeiros dispositivos de potência SiC, tais como os diodos Schottky com capacidade de bloqueio de tensão (1200 V) três vezes maior do que os diodos de silício (300 V). • Paralelamente a estes dispositivos comerciais, muitos outros dispositivos de potência SiC na ordem de kV com resistências em condução reduzidas estão sendo pesquisados utilizando os polítipos 4H-SiC e 6H-SiC, tais como, diodos de junção PN, diodos Schottky, IGBTs, Tiristores, Transistores Bipolar de Junção (BJTs), vários MOSFETs, GTOs, MCTs e MTOs. Entretanto, com exceção de alguns diodos, os dispositivos reportados são todos dispositivos experimentais com patamares reduzidos de corrente. Carbeto de Silício (SiC) Prof. Vitor C. Bender 18 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • O uso de dispositivos SiC ao invés de Si resultam benefícios importantes para sistemas que aplicam a Eletrônica de Potência, como, redução de perdas, aumento da eficiência, e redução de tamanho e volume. • Quando dispositivos de potência de Si são substituídos por dispositivos SiC, a eficiência de drives de tração em veículo elétrico híbrido aumenta em torno 10% e os sistemas de dissipação de calor reduzem até um terço do seu tamanho original. • Portanto, um sistema de alimentação CC é considerado onde também ocorre o aumento da eficiência, redução das perdas, tamanho e volume de dissipadores de calor, e o aumento da frequência de comutação. • Os resultados mostraram que aumentando-se a frequência de comutação, o tamanho dos componentes passivos, incluindo transformadores e componentes de filtro, decrescem proporcionalmente. Carbeto de Silício (SiC) Prof. Vitor C. Bender 19 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • As aplicações de dispositivos GaN são principalmente focadas nas áreas de optoeletrônica, devido o seu bandgap direto, e rádio freqüência pelo bom desempenho em freqüências elevadas. • O material GaN também é promissor em aplicações de Eletrônica de Potência para cargas elevadas. Nos anos recentes, alguns trabalhos têm sido publicados na literatura aplicando diodos Schottky GaN para tensões elevadas. • A comparação de diodos Schottky com diodos Schottky SiC e diodos de Si junção PN, considerando a mesma tensão de bloqueio, mostra vantagens similares de desempenho aos diodos Schottky GaN e SiC, quando comparados com o diodo Si junção PN, como por exemplo, corrente de recuperação reversa desprezível e consequentemente perdas de comutação bastante reduzidas a qual independe da temperatura de operação. • Na análise da velocidade de comutação e perdas de um diodo Schottky tem sido verificado que o desempenho do GaN é levemente superior ao do semicondutor SiC, considerando dispositivos e condições similares durante a avaliação experimental. • Em contrapartida, devido o maior bandgap do material GaN, a queda de tensão em condução dos diodos Schottky GaN é muito maior do que para os diodos Schottky SiC e diodos Si de junção PN. Nitreto de Gálio (GaN) Prof. Vitor C. Bender 20 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • Na literatura existem trabalhos mostrando aplicações com diodos Schottky GaN para até 2,0 kV e 6,0 kV. • O GaN possui adesvantagem de não possuir um óxido nativo intrínseco do próprio material semicondutor, o qual é necessário para concepção de dispositivos MOS. • O SiC e Si, utilizam o mesmo óxido SiO2 do próprio material semicondutor. • Para o GaN, há muitas pesquisas em andamento com o objetivo de encontrar o óxido adequado; sem ele, dispositivos MOS baseados no GaN não poderão ser desenvolvidos. • Uma desvantagem adicional do GaN comparado ao SiC é sua condutividade térmica, que representa em torno um quarto da condutividade térmica do SiC. Nitreto de Gálio (GaN) Prof. Vitor C. Bender 21 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • O diamante demonstra melhor desempenho teórico, sendo um material muitas vezes melhor do que toda a categoria de semicondutores de amplo bandgap comparada anteriormente. • Entretanto, seus problemas de processamento ainda não foram solucionados. Após vários anos de pesquisa, o semicondutor SiC ainda tem questões de processamento devido as temperaturas elevadas requeridas no processo construtivo do dispositivo. • No entanto, o diamante é um material muito mais rígido e necessita de temperaturas muito mais elevadas durante o seu processo construtivo. • Além disso, não têm sido realizadas muitas pesquisas nesta área. Na literatura, o diamante é usado em sensores e dispositivos de emissão de campo. Não existem ainda dispositivos semicondutores de potência disponíveis, usando o diamante. Diamante Prof. Vitor C. Bender 22 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • Comparativo normalizado das características dos materiais semicondutores selecionados. Cada intervalo na escala corresponde a um acréscimo de 10% no valor do parâmetro. Comparativo Prof. Vitor C. Bender 23 Fonte: Duarte, 2017 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • Limites teóricos do Si, SiC e GaN Comparativo Prof. Vitor C. Bender 24 Fonte: Duarte, 2017 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • Comparativo entre interruptores de potência Comparativo Prof. Vitor C. Bender 25 Fonte: Duarte, 2017 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes • Com maior desenvolvimento, semicondutores de amplo bandgap têm a oportunidade de atender exigências de qualidade em diversas aplicações de engenharia elétrica. • Apesar do diamante ter as melhores propriedades elétricas, pesquisas visando sua aplicação em potências elevadas se encontram ainda em estágio preliminar. Seus problemas de processamento são mais difíceis de serem solucionados do que de outros materiais; portanto, provavelmente será um importante material a ser utilizado no desenvolvimento de dispositivos de potência no futuro, daqui 20 ou até 50 anos. • Enquanto isso, há a necessidade de um material semicondutor de transição. Os dispositivos de potência GaN e o SiC apresentam vantagens similares em relação aos dispositivos convencionais de potência de Si. Porém, a viabilidade do GaN é bem menor do que ao do SiC, devido a ausência de óxido intrínseco no material GaN e a necessidade de se utilizar pastilhas maiores para compensar sua menor condutividade térmica. • A tecnologia de dispositivos de potência SiC se encontra muito mais avançada do que a GaN e lidera em pesquisas e esforços de comercialização. Portanto, é atualmente o material semicondutor de transição mais adequando para dispositivos de potência do futuro. Expectativas para o Futuro Prof. Vitor C. Bender 26 Fonte: Soares, 2010 Dispositivos Eletrônicos Semicondutores – UNIDADE 9 – Dispositivos Eletrônicos Semicondutores Emergentes Bibliografia • DUARTE, R. R.; Estudo Comparativo Entre Semicondutores De Silício e Nitreto De Gálio Em Circuitos De Acionamento de LEDs; Dissertação de Mestrado, UFSM, 2017. • SOARES, J. O., et al.; Dispositivos semicondutores de potência com amplo bandgap; Congresso Brasileiro de Automática, 2010. • MOHAN, N.; UNDELAND, T. M.; ROBBINS, W. P.; Power Electronics: Converters, Applications, and Design; John Wiley & Sons, Inc.; 3ª ed. Estados Unidos, 2003 Prof. Vitor C. Bender 27
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