A alternativa correta é a letra b) 2, 1, 4, 3, 5. A sequência correta de processos para a fabricação de circuitos integrados é: 1) Deposição de camada de óxido; 2) Deposição de camada de nitreto; 3) Fotolitografia; 4) Gravação química; 5) Difusão de íons.
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