De acordo com a ordem crescente de decomposição do O3 na troposfera, os compostos em ordem são: CFCl3 < CF3Cl < CHFCl2 < CHF3. Essa classificação se deve à velocidade de reação dos compostos com O3. Os compostos menos reativos, CHFCl2 e CHF3, possuem ligações H-F muito fortes, o que não favorece suas reações com O3. Os compostos mais reativos têm dois elementos muito eletronegativos, e o momento dipolo da molécula não favorece a estabilidade do composto, além de os cloros presentes reagirem fortemente com o ozônio em escala muito grande de moléculas “destruídas” de O3 por mol de Cl.
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