A difusão intersticial é normalmente mais rápida do que a difusão por vacância devido à sua natureza de movimento. Na difusão intersticial, os átomos ou moléculas se movem através dos espaços vazios entre os átomos da rede cristalina, enquanto na difusão por vacância, os átomos se movem através de lacunas na estrutura cristalina. Como os espaços intersticiais são mais abundantes do que as lacunas, há mais caminhos disponíveis para a difusão intersticial, o que resulta em uma taxa de difusão mais rápida.
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