As impurezas substitucionais são átomos estranhos que substituem os átomos do material original. As impurezas intersticiais são átomos estranhos que se alojam nos interstícios da rede cristalina. As lacunas são espaços vazios na rede cristalina, onde deveria haver um átomo. Os auto-interstícios são átomos do próprio material que se deslocam de sua posição original para um interstício vazio. O número de lacunas é maior que o número de auto-interstícios em um dado material porque a formação de lacunas é mais fácil do que a formação de auto-interstícios. Isso ocorre porque a energia necessária para remover um átomo de sua posição original é maior do que a energia necessária para criar uma lacuna. Além disso, a formação de lacunas é favorecida em temperaturas mais altas, enquanto a formação de auto-interstícios é favorecida em temperaturas mais baixas.
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