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1 Prof. Dr. Salvador Pinillos Gimenez Modelos Contínuos de Transistores MOS PEL105 Circuitos e Sistemas Analógicos Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 2 Modelo SPICE Nível 1 (Level 1): - Modelo Analítico; - Ou modelo de Shichman-Hodges; - Primeiro modelo implementado em computador para simulações de circuitos integrados (historicamente importante); - Desenvolvido pela Universidade de Califórnia/Berkeley; - É a base de modelos mais sofisticados; - Fácil de extrair os parâmetros desse modelo. Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 3 Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices Parâmetros do modelo SPICE nível I Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TPG (1) m Tipo material de porta TOX (1e-7) m Espessura de óxido de porta NSUB cm-3 Concentração da dopagem de substrato Parâmetros Elétricos U0 (600) cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização VT0 V Tensão de limiar p/ L e W grandes, com VB=0 LAMBDA V-1 Modulação do comprimento do canal (condutância de saída) CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato KP (2.10-5) A/V2 Transcondutância do processo (=µCox) GAMMA (γ) V1/2 Parâmetro do efeito de corpo (polarização de substrato) LD m Difusão lateral=Profundidade da junção de fonte/dreno (XJ) PHI (2φF=0,6) V Potencial de inversão da superfície (inversão forte) RS Ω Resistência de fonte RD Ω Resistência de dreno CJ F/m2 Capacitância de junção com polarização nula MJ (0,5) - Coeficiente de graduação da junção de corpo PB (0,8) V Potencial interno da junção de corpo ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ = 2 DSUBb ni NNln q TkPB MJ R PB V1 CJCj ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ + = 4 D S G ε VG ID Depleção Vy y L VD d y y+dy dVy z y x [ ] ox s i b F 2 1 bsFFfbgsoxinv depsinv inveff DS effinveffDS C .NSUB.q.2 n NSUBln q Tk V2)y(V2)y(VVVC)y(Q )y(Q)y(Q)y(Q )y(QW dyI)y(dV dy )y(dV)y(QinvW)y(vel).y(QWI dy )y(dV)y( dt dy)y(vel dy )y(dV)y( ε =γ =φ ⎭ ⎬ ⎫ ⎩ ⎨ ⎧ −φ+γ−φ−−−−= −= µ −= ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ µ−== µ−=µε−== =ε TPG=1 (quando a porta é de polisilício e dopada em conjunto com fonte e dreno, polisilício n+ para um nMOS); TPG=-1 (quando a porta é polisilício e dopada em oposição a fonte e dreno, polisilício n+ para um pMOS). TPG=0 (porta de alumínio) Demonstração da corrente de dreno do transistor MOS 5 No desenvolvimento do nível I, é assumido que a carga de depleção não varia com ao longo do eixo do canal, permitindo que V(y) entre em Qdepl(y) possa ser descartado. Assumindo a aproximação de canal gradual e para comprimentos de canal longo que a polarização de dreno afeta muito pouco a parte do canal. [ ]{ }2122)()( bsFFfbgsoxinv VyVVVCyQ −−−−−−= φγφ ( ){ } ( )[ ] ( )( ) ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−−−−= −−−−−= −−−−−= ⇒−= ∫∫∫ 2 22 )()()(22 )(22)( )( )( 2 2 1 00 2 1 0 2 1 VdsVVVV L CW Ids ydVyVydVVVVCWdyI ydVVyVVVCWdyI yQW dyIydV dsbsFFfbgs eff oxeff VV bsFFfbgsoxeff L ds bsFFfbgsoxeffds inveff DS dsdseef φγφ µ φγφµ φγφµ µ 6 ( ) [ ]FsbF0t 2 1 bsFFfb 2V2V V22VVt φ−+φγ+= =−φγ−φ−= ( ) ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−= 2 2 , VdsVVtV L CW I dsgs eff oxeff linds µ Comprimento efetivo de canal (Leff): Leff=L-2LD=L-2xj=Leff-2XJ, onde L é o comprimento do material de porta e difusão lateral (LD)de fonte e dreno, que é igual a difusão vertical (xj). Para o HSPICE Leff=L-2.(0,75.XJ). Estrangulamento do canal (Pinch-off) e tensão de saturação: ↑ Vds ⇒ Vgd ↓, pois a carga de inversão Qinv(y) decresce do lado do dreno. Quando Vds torna-se suficientemente grande, Qinv(y)=0. Os portadores cruzam a região de depleção e a corrente não mais aumenta com Vds. O valor de Vds quando Qinv(y)=0 (estrangulamento) é chamada de tensão de saturação (Vdsat). Quando ↑ Vds acima de Vdsat, o estrangulamento vem caminhando no sentido da fonte. [ ] { } { } tgsdsatdsattgsoxeffinv dstgsoxeffinv 2 1 bsFFdsfbgsoxeffinv VVVVVVC0)L(Q VVVC)L(Q V22VVVC)L(Q −=⇒−−−== −−−= ⎭ ⎬ ⎫ ⎩ ⎨ ⎧ −φγ−φ−−−−= ( )[ ]2, 2 tgseff oxeff satds VVL CW I −= µ Idsat é constante para Vds>Vdsat GAMMA PHI VT0 7 Modulação do comprimento do canal: ↑ Vds acima de Vdssat ⇒ o ponto no qual Qinv(y)=0 move-se na direção da fonte (S), ↓ a distância do estrangulamento para a fonte, desde que Vdsat é o mesmo, e o campo do canal lateral aumenta ⇒ ↑ Ids . S D n+ n+ Substrato-p S D n+ n+ G G Vds1 Vds2> Vds1 pinch-off Ids=Idsat+(Ids-Idsat) ID VD VG VD (sat) ds dsatds V II − =α α Ids Idsat Vds Vdsat Vds α=arco/raio Ids=Idsat+αVds=Idsat+λIdsatVds=Idsat(1+ λVds) ( ) ( )dsgs eff oxeff satds VVtVL CW I λ µ +−= 12, ( ) ( )dsdsgs eff oxeff linds V VdsVVtV L CW I λ µ +⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−= 1 2 2 , Para garantir a continuidade em Vds=Vdsat LAMBDA 8 Resistência Série de Fonte/Dreno: a integração feita anteriormente considera que Vds cai inteiramente na região de canal – da junção do canal dreno para a junção canal fonte. S D Substrato-p G Vds1 RS RD RCanal Somente incorporado nos modelos do nível II em diante. Estados de Interface: existente nas interfaces óxido- semicondutor e pode ser contabilizado neste modelo através de NSS, porém hoje NSS é quase desprezível (1010 cm-2). Modelo de Cargas: Qporta + Qinv + Qdepl = 0 (Lei da neutralidade das cargas) ⇒ Qporta = - (Qinv + Qdepl) ⇒ Se a carga é considerada constante através do canal, mas não ao longo do canal: [ ] ( ) ( ) ( ))( 2 2 )()( )( 2 1 2 1 0 yVVVCQ VCLWQ QLWQVCQ dyyQyQWQ tgsoxyinv bsFoxeffeffDEPL depleffeffDEPLbsFoxdepl Leff deplinveffporta −−−= −= =⇒−= += ∫ φγ φγ dV I yQW dy yQW dyIydV ds inveff inveff DS )( )( )( µ µ −= −= 9 ( ) depl V tgs ds oxeff porta QdVVVVI CW Q ds − ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −−= ∫ 0 2 22µ Na região linear: sendo ( ) ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−= 2 2 , ds dsgs eff oxeff linds VVVtV L CW I µ e considerando : ⇒−= gdgsds VVV ( ) ( )[ ]22, 2 tgdtgseff oxeff linds VVVVL CW I −−−= µ Dessa forma: ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 2 1 22 3322 2 3 2 bsFoxeffeff tgstgd tgstgdoxeff porta VCLWVVVV VVVVCW Q −− ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −−− −−− = φγ µ Na região de saturação: sabendo-se que Vdsat=Vgs-Vt ⇒ Vgd=Vgs-Vdsat=Vt e substituindo-se em expressão de Qporta: ( ) ( ) 21 22 2 3 2 bsFoxeffefftgs oxeff porta VCLWVV CW Q −−−= φγ µ Na região de sub-limiar: A região de sub-limiar é ignorada no modelo da corrente do nível I, é possível expandir o desenvolvimento original para incluir as condições da carga para Vgs<Vt. Nesse regime Qinv << Qdepl, assim em contraste ao caso da inversão forte, as características da carga será determinada pela carga de depleção, assim : 10 deplporta QQ −= e no regime de inversão fraca tem-se Vfb < Vgs < Vt ( ) 21bsSoxeffeffporta VCLWQ −= φγ Capacitância de porta de polarização zero: Quando o modelo do nível 1 foi desenvolvido, foi razoável desprezar as capacitâncias de porta com os outros nós comparativamente com a capacitância de porta canal, pois os dispositivos eram de grandes dimensões. Mas como as dimensões dos dispositivos vem sendo diminuída, essas capacitâncias não são mais desprezíveis. Essa dificuldade é solucionada empiricamenteno SPICE adicionando três (3) parâmetros CGS0, CGD0, e CGB0, que representam as capacitâncias de porta-fonte, porta-dreno e porta-substrato. Extração de Parâmetros do Modelo Nível 1: A forma final da corrente de dreno é dada abaixo e que contém seis (6) parâmetros, são eles TOX, NSUB, XJ, VT0, U0 e LAMBDA. Outros parâmetros são secundários, tais como GAMMA e KP computados de um ou mais parâmetros básicos. TOX é geralmente extraído de uma simples curva C-V experimental (parâmetro fornecido pelo especialistas do processo). ( ) ( )dsgs eff oxeff satds VVtVL CW I λ µ +−= 1 2 2 , ( ) ( )dsdsgs eff oxeff linds V VdsVVtV L CW I λ µ +⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−= 1 2 2 , Em modelos posteriores, NSUB e XJ (profundidade da junção) são mais complexas pois dependem do processo de fabricação (também fornecidos pelo processo). 11 Exemplo: Considerando-se TOX=100 nm, NSUB=1,0x1015 cm-3 e XJ=1,0 µm, é necessário extrair três parâmetros VT0, U0 e LAMBDA. Região Linear: Os primeiros dois parâmetros, VT0 (tensão de limiar de polarização zero) e U0 (mobilidade do canal) podem ser extraída da região linear das características de um dispositivo de canal longo (considerar neste exemplo, W/L=100 µm/50 µm) com uma polarização de dreno muito baixa (Vds=0,1V ou menor) e Vbs=0, dessa forma a corrente de dreno fica: ( ) ( ) ( )[ ] ( ) ( ) ( ) ( )[ ] ds eff oxeff dsgs eff oxeff ds dsgs eff oxeff ds ttbsfffbt fftt dstgs eff oxeff dsdsgs eff oxeff linds VVTO L CWU VV L CWU I VVTV L CWU I VVVSeVV VbsVV VVV L CW VVdsVVtV L CW I . .0.0 0 .0 0..22 22 1 2 0 2 1 0 2 1 2 1 0 2 , −= −= =⇒=⇒++= −−+= −=+⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −−= φγφ φγφγ µ λ µ A inclinação da curva Ids x Vgs pode-se extrair U0 e depois U0 é usado para extrair VT0 na expressão da corrente Ids onde ela intercepta o eixo y. Ids Vgs 12 Região de Saturação: Agora conhecendo-se VT0 e U0, pode-se determinar LAMBDA. Para um dispositivo de canal curto com Vds > Vdsat e Vbs=0 tem-se: ( ) ( ) ( ) LAMBDAVTOVCWU L LAMBDA IV XJLL VLAMBDAVTV L CWU I gsoxeff effds ds eff dsgs eff oxeff satds 1 .0 2 2 .10 2 .0 2 2 , − ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ − = −= +−= Ids Vds -1/λ Geralmente LAMBDA é extraído usando-se no mínimo três (3) curvas Ids x Vds para diferentes valores de Vgs. A capacitância de porta: é bastante pequena para W=L=100 µm e tox=100 nm, a capacitância de porta é aproximadamente: fFWLCoxC cmFx gs ox 23 3 2 /1045,3 13 ≈≈ = −ξ Representa a máxima capacitância de porta, próximo a Vt, esse valor pode ser menor. 13 Modelo SPICE Nível 1: muito longe de ser de uso prático para a tecnologia MOSFET moderna (obsoleto para o ponto de vista de projetos industriais). Entretanto o modelo é extremamente instrutivo. Seu desenvolvimento é simples e demonstra uma abordagem básica para o desenvolvimento de um modelo analítico funcional para o transistor MOS. Todos os demais modelos iniciam com a mesma abordagem e adicionam correções levando-se em consideração a redução da geometria. Adicionalmente, fórmulas matemáticas não complicadas permitem uma simples extração dos parâmetros utilizando-se a regressão linear, como por exemplo. Modelos mais complicados requerem ajustes não linear de vários parâmetros (esse modelo está limitado para dispositivos com L inferiores a 4 µm). Modelo SPICE Nível 2 - a descrição física é essencialmente aquela do capacitor MOS com um óxido de porta espesso e LAMBDA foi o único parâmetro que leva em conta os efeitos da geometria reduzida (aumento de Ids devido à modulação do comprimento do canal); - com as reduções do óxido de porta e das dimensões dos dispositivos, e algumas correções na base do modelo, foi necessário um novo modelo SPICE que leva em consideração tais efeitos (Nível 2); - assume que as cargas, que é a carga de depleção, variam ao longo do comprimento do canal, resultando numa expressão mais complexa; - em canais curtos, a sobreposição da região de depleção induzida pela porta com as regiões de depleção de fonte e dreno tornam-se mais significantes, enquanto que em dispositivos mais estreitos, a região de depleção induzida pela porta espalha-se mais além das margens do canal; - Altos campos elétricos na porta e no dreno reduzem a mobilidade do canal e em 14 dispositivos de canal curto, em adicional a modulação do comprimento do canal, a velocidade de saturação dos portadores reduz a tensão de saturação do seu valor clássico (Vdsat=Vgs-Vt); - Infelizmente, o nível 2 tornou-se matematicamente muito complexo. Isso o tornou um modelo mais ineficiente e com problemas de convergência, limitando seu uso e dando origem a um modelo semi-empírico computacionalmente mais eficiente (Nível 3); Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 15 Parâmetros do modelo SPICE nível 2 Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TPG m Tipo material de porta TOX m Espessura de óxido de porta LD m Redução do Comp. de Canal do valor da máscara WD m Redução da Larg. de Canal do valor da máscara Parâmetros Elétricos U0 cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização VT0 V Tensão de limiar p/ L e W grandes, com VB=0 UCRIT V/cm Campo Vertical Crítico da Redução da Mobilidade UEXP - Expoente no modelo de mobilidade RS Ohm Resistência Série de Fonte RD Ohm Resistência Série de Dreno DELTA Efeito de canal estreito na tensão de limiar NSUB cm-3 Dopagem do Subs. Efetiva (Sensibilidade do Substrato) XJ m Correção do canal curto p/ a sensibilidade do substrato VMAX Velocidade dos portadores máxima NEFF Redução da carga de depleção fracional devido à modulação do comprimento do canal NFS cm-2 Parâmetros de ajuste da região de sub-limiar LAMBDA V-1 Modulação do comprimento do canal (condutância de saída) CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato XQC Parâmetro de particionamento de cargas UTRA V-1 Efeito da polarização de dreno na redução da mobilidade devido ao campo elétrico vertical (implementação HSPICE ) 16 Modelo SPICE nível 3: - O modelo nível 1: desenvolvido para dispositivos de canal longo, largo e com espessura de óxido espessa e não pode contabilizar os efeitos de canal curto; - O modelo nível 2: endereça as falhas do nível 1, mas a abordagem matemática é complexa, deixando uma severa descontinuidade no ponto de transição da região linear para a região de saturação, que gera vários problemas de convergência durante a simulação. A possível sobreposição das regiões de depleção de fonte e dreno em dispositivos de canal curto, os efeitos de campo elétrico lateral que afetam a mobilidade e a redução da barreira de potencial induzida pelo dreno (DIBL) são desprezados, ou seja, os efeitos do canal curto são somente parcialmente considerados; - O nível 3 foi desenvolvido para endereçar esses defeitos do modelo 2 e apresentam um conjunto de parâmetros bastante semelhantes; - Adota um modelo semi-empírico onde o modelo para a redução da mobilidade devido ao campo elétrico normal, usando o campo crítico (representado no nível 2 por UEXP, UCRIT e UTRA) é descartadoe substituído por um simples modelo empregando um único parâmetro (ETA) que descreve o DIBL. Entretanto, o modelo da modulação do comprimento de canal empregada nos níveis 1 e 2 (LAMBDA), é substituída por um modelo um pouco mais complexo, que envolve o parâmetro VMAX e outros parâmetros semi-empíricos; - Finalmente, uma correção é introduzida para contabilizar a redução da mobilidade através do campo elétrico lateral. Modelo de muito sucesso, onde a extração dos parâmetros do modelo é muito direta, além de ser muito mais eficiente (mais rápido e menos problemas de convergência). Modelo criado para dispositivos de canal maiores que 1 µm, ele pode ser usado para dispositivos submicrométricos. 17 Parâmetros do modelo SPICE nível 3 Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TPG m Tipo material de porta TOX m Espessura de óxido de porta LD m Redução do Comp. de Canal do valor da máscara WD m Redução da Larg. de Canal do valor da máscara Parâmetros Elétricos U0 cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização VT0 V Tensão de limiar p/ L e W grandes, com VB=0 THETA V-1 Redução da mobilidade induzida pelo campo gerado pela porta RS Ohm Resistência Série de Fonte RD Ohm Resistência Série de Dreno DELTA Efeito de canal estreito na tensão de limiar NSUB cm-3 Dopagem do Subs. Efetiva (Sensibilidade do Substrato) XJ m Correção do canal curto p/ a sensibilidade do substrato VMAX Velocidade dos portadores máxima ETA Coeficiente do DIBL KAPPA V-1 Modulação do comprimento do canal na corrente de dreno NFS cm-2 Parâmetros de ajuste da região de sub-limiar LAMBDA V-1 Modulação do comprimento do canal (condutância de saída) CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato XQC Parâmetro de particionamento de cargas BEX Efeito da temperatura na mobilidade para campo baixo 18 O Modelo SPICE BSIM (Berkeley Short-Channel IGFET Models): - Muitas vezes designado por nível 4 e representa o maior desvio das abordagens das primeiras gerações de modelos e considerado como o fundador dos modelos de segunda geração; - Esses modelos colocam menores esforços no desenvolvimento de modelos analíticos exatamente físicos, mas concentram condições matemáticas para aumentar a velocidade de processamento e gerar simulações de circuitos mais robustos; - O mais importante ainda, ao invés de tentar formular equações muito complexas para descrever os fenômenos submicrométricos do FET, parâmetros empíricos são introduzidos para ajustar as várias nuances, ou seja, desloca a ação da formulação do modelo para a extração dos parâmetros; - O uso do numerosos parâmetros simplificam o conjunto das equações do modelo e permitem um ajuste mais preciso do modelo aos dados experimentais, mas isso faz aumentar significativamente a ligação entre os parâmetros do modelo com o processo de fabricação; - BSIM foi uma melhoria do CSIM (Compact Short-Channel IGFET Model) introduzido pela AT&T; - O primeiro passo foi levado no nível 3, onde a exata mas complexa expressão da carga de depleção foi substituída com a simplicidade da expansão da série de Taylor; - A expressão que descreve a redução da mobilidade do canal pelo campo vertical inclui a também a dependência com a polarização do substrato; - A expressão da tensão de limiar é expandida para incluir melhores resultados para substratos dopados não uniformemente; 19 - Um modelo da corrente de sub-limiar melhorado é introduzido e garantem que ambas as expressões da corrente de dreno e sua primeira derivada são contínuas no ponto de transição do sub-limiar para o super-limiar, evitando problemas de convergência; - Abordagens completamente diferentes para descrever a velocidade de saturação, redução da mobilidade do canal pelo campo lateral e a tensão de saturação são introduzidas; - a descrição da corrente de saturação é consideravelmente mais simples do que aqueles achados nos modelos de primeira geração; - Um mais robusto e preciso modelo de cargas é também introduzido, no qual este novo modelo conserva as cargas, mas é mais matematicamente eficiente em simulações de circuito integrados do que o modelo de Ward-Dutton; - Abordagem focando principalmente o uso dos parâmetros empíricos, resultando uma diferença radical do que as empregadas nos modelos de primeira geração; - É a base de todos os modelos de segunda geração; - Inicialmente não descrevia a dependência com a temperatura, porém mais tarde foi introduzido pelo BSIM (HSPICE nível 13). 20 Parâmetros do modelo BSIM Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TOX m Espessura de óxido de porta LD m Difusão lateral de fonte/dreno sob a Porta WD m Redução da isolação da largura do canal VDD V Tensão de alimentação aplicada máxima Parâmetros Elétricos MUZ cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização X2MZ cm2/V.s Efeito da polarização de substrato na mobilidade (campo baixo) MUS cm2/V.s Mobilidade com polarização de dreno alta X2MS cm2/V.s Efeito da polarização de substrato na mobilidade (campo alto) X3MS cm2/V.s Inclinação da mobilidade para Vds=VDD U0 V-1 Parâmetro redução da mobilidade induzido pela porta X2U0 V-2 Efeito da polarização de substrato pela redução da mobilidade devido ao campo da porta(campo alto) VFB V Tensão de banda plana PHI V Potencial de superfície K1 V1/2 Efeito de corpo na tensão de limiar (Termo de 1ª ordem) K2 Efeito de corpo na tensão de limiar (Termo de 2ª ordem) ETA Coeficiente do DIBL quando Vds=VDD e Vbs=0 X2E V1/2 Efeito da polarização de substrato no coeficiente DIBL X3E V1/2 Efeito da polarização de substrato no coeficiente DIBL U1 V-1 Parâmetro redução da mobilidade induzido pelo dreno X2U1 µm/V-2 Efeito da polarização de substrato na redução da mobilidade do campo de dreno alto X3U2 V-2 Efeito da polarização de dreno na redução da mobilidade do campo de dreno alto CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato BEX Efeito da temperatura na mobilidade para campo baixo TCV V/K Variação da tensão de limiar com a temperatura FEX Efeito da temperatura no comportamento da polarização de dreno alta 21 HSPICE Nível 28: O BSIM representa um mudança radicaldos modelos de primeira ordem que focavam no desenvolvimento de formulas baseado nos fenômenos físicos, enquanto que o BSIM concentra nas condições matemáticas das equações para melhorar a precisão final dos modelos dos FET e do comportamento das simulações de circuitos integrados. O modelo conta com vários efeitos e por adição de parâmetros que descrevem um efeito em particular; A ênfase é tornar o simulador bastante utilizável (ênfase na simulação ao invés da descrição analítica detalhada do FET); Isto incentivou o desenvolvimento de mais dois modelos de segunda geração: BSIM2, uma versão melhorada do BSIM e o outro foi o HPICE Nível 28 (Meta-Software) que se tornou o mais importante simulador de FET; É baseado no BSIM, mas melhora muitos dos defeitos intrínsecos a dispositivos de canal curto, aumentando o interesse em utilizá-lo em aplicações de circuitos integrados CMOS analógicos (as modificações foram focadas principalmente para aplicações em circuitos analógicos); Apesar de ser largamente utilizado, a formulação do modelo permanece largamente proprietária, com somente umas poucas dicas de quais modificações foram realizadas nas equações do BSIM; 22 - Para comprimentos de canal abaixo de Leff ≈ 0,8 µm ou espessura de óxido de porta menores que 15 nm, BSIM perde precisão (BSIM simplifica as fórmulas matemáticas pela substituição de expressões matemáticas com expressões polinomiais, que podem gerar problemas de convergência durante a simulação de circuitos. Adicionalmente, pode-se produzir condutâncias de saída negativas particularmente para baixos valores de polarizações de porta e dessa forma não podem ser usadas em projeto de circuitos integrados analógicos, que também podem também produzir problemas de convergência. Um gds pode ser removido por assegurar X3U1=LX3U1=WX3U1=0. Essas condições deverão ser impostas durante a extração de parâmetros; - No HSPICE Nível 28 foi reformulado a dependência quadrática da mobilidade em relação a Vds, inserindo um novo parâmetro X33M para descrever esse fenômeno da polarização de porta naquela equação; - HSPICE Nível 28 remove o problema que o BSIM possuía em relação a segunda derivada de Ids x Vgs que não é contínua em Vgs=Vt , gerando também problemas de convergência. Isto é feito por uma reformulação do modelo da condução na inversão fraca e da transição da inversão fraca para a forte e dois novos parâmetros foram adicionados (WFAC e WFACU) foram adicionados ao modelo do BSIM original; - No BSIM a corrente total é gerada somando-se as componente da inversão fraca com a componente da inversão forte, isso também acaba gerando problemas de convergência. - No BSIM, a tensão de saturação Vdsat é definida e as duas expressões da corrente (linear e saturação) são conectada nesse ponto. No HSPICE Nível 28, a região de transição é definida em Vdsat, e uma técnica matemática de suavização (smoothing) é usada para descrever a corrente de dreno nesta região. 23 Parâmetros do modelo BSIM Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TOX m Espessura de óxido de porta XL m Fonte de processo no comprimento de canal do polisilício XW m Fonte de processo no na largura do canal LD m Difusão lateral de fonte/dreno sob a Porta WD m Redução da isolação da largura do canal VDDM V Tensão de alimentação aplicada máxima Parâmetros Elétricos MUZ cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização X2M cm2/V.s Efeito da polarização de substrato na mobilidade (campo baixo) X3MS cm2/V.s Inclinação da mobilidade para Vds=VDDM X33M cm2/V.s Reducao do campo de porta de X3MS U0 V-1 Parâmetro redução da mobilidade induzido pela porta X2U0 V-2 Efeito da polarização de substrato na redução da mobilidade devido ao campo da porta VFB V Tensão de banda plana PHI V Potencial de superfície K1 V1/2 Efeito de corpo na tensão de limiar (Termo de 1ª ordem) K2 Efeito de corpo na tensão de limiar (Termo de 2ª ordem) ETA Coeficiente do DIBL quando Vds=VDD e Vbs=0 X2E V1/2 Efeito da polarização de substrato no coeficiente DIBL X3E V1/2 Efeito da polarização de substrato no coeficiente DIBL GAMMN V-1/2 Tensão de limiar linear condicionado ao parâmetro 1 ETAMN V-1/2 Tensão de limiar linear condicionado ao parâmetro 1 U1 V-1 Parâmetro redução da mobilidade induzido pelo dreno X2U1 µm/V-2 Efeito da polarização de substrato na redução da mobilidade do campo de dreno alto X3U1 V-2 Efeito da polarização de dreno na redução da mobilidade do campo de dreno alto B1 Parâmetro da região de transição de Vdsat menor B2 Parâmetro da região de transição de Vdsat menor 24 WFAC Região de inversão fraca condicionado ao parâmetro 1 WFACU Região de inversão fraca condicionado ao parâmetro 2 N0 Fator de idealidade do sub-limiar de campo baixo NB Efeito da polarização de substrato no fator de Fator de idealidade do sub-limiar de campo baixo ND Efeito da polarização de dreno no fator de Fator de idealidade do sub-limiar de campo baixo CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato Parâmetros de temperatura BEX Efeito da temperatura na mobilidade para campo baixo TCV V/K Variação da tensão de limiar com a temperatura FEX Efeito da temperatura no comportamento da polarização de dreno alta Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 25 O Modelo SPICE BSIM2: - BSIM representa o maior avanço sobre os modelos de primeira ordem e possui várias deficiências que se tornaram mais significante quando as dimensões foram sendo diminuídas (dificuldades de ajustar os dados simulados aos experimentais para comprimentos de canal abaixo de 1 µm e espessuras de óxido abaixo de 15 nm); - BSIM substituiu as expressões físicas por expressões polinomiais, que muitas vezes geram condutâncias de saída negativas e consequentemente problemas de convergência em simulações de circuitos integrados; - BSIM simplesmente soma algebricamente as correntes de dreno no regime de inversão fraca com a corrente de dreno no regime de inversão forte, acarretando também em problemas de convergência; - BSIM foi desenvolvido principalmente para a realização de simulações de CIs CMOS analógicos, que inibiam seu uso devido os vários problemas citados acima; - BSIM2 desenvolvido pela Universidade de Berkeley/Califórnia e baseado no BSIM e o HSPICE Nível 28 é baseado no BSIM com extensões; - Pela primeira vez no modelo SPICE FET, extensivamente usa a análise bidimensional para chegar em expressõesanalíticas simples dos vários tipos de comportamento do dispositivo; - O modelo de cargas do FET convencional é usado e a tensão de limiar é usada com apenas modificações pequenas; - Modificações extensas são feitas para a mobilidade e para a corrente de dreno; - Um modelo inteiramente novo para a corrente de sub-limiar e para a região de transição entre os regimes de inversão fraca e forte, similar àquela desenvolvida para o HSPICE Nível 28; 26 - Novas equações e paramentos são adicionadas para a resistência/condutância de saída; - Como o BSIM, BSIM2 não leva em consideração às variações na temperatura de operação. Vários parâmetros contem dependência com a temperatura interna, porem é inadequado para estudar o comportamento dos dispositivos; - O HSPICE que implementa o BSIM2 (HSPICE Nível 39) inclui parâmetros que levam em consideração a dependência com a temperatura do comportamento do dispositivo; O Modelo SPICE BSIM3: Modelos de primeira ordem: Nível 1 a 3 (primeira geração os modelos dos dispositivos FET, descrição analítica detalhada do comportamento do dispositivo, com pequenos números de parâmetros e relativamente fáceis de serem extraídos); - Modelos de segunda geração: BSIM, HSPICE Nível 28 e BSIM2 (enfatizam as condições matemáticas das equações do modelo para simulações robustas e eficientes de Cis (modelos semi-empíricos ou empíricos, fornecendo poucas informações físicas sobre o dispositivo e processo). Seu número de parâmetros são muito grandes - BSIM3 são os modelos de terceira geração dos modelos dos FET SPICE; - Introduz novamente a base física dos para os modelos matemáticos e para seus parâmetros associados. Permite uma conexão mais concreta entre seu conjunto de parâmetros e seu processo tecnológico, evitando as complicadas expressões polinomiais dos modelos de segunda ordem; - Estão evoluindo em três versões: primeira versão é a base do modelo que apresenta uma série de problemas matemáticos; segunda versão: corrigiu os problemas matemáticos da primeira versão e introduziu uma serie de parâmetros; terceira versão: 27 mudou a forma dos modelos e garantiu a continuidade e suavidade nas equações do modelo e foram introduzidas varias expressões de ajuste empírico adicionando bastante parâmetros (esta é a que será estudada aqui); - Ele se baseia principalmente no BSIM e BSIM2; - Os modelos da carga eletrostática e da tensão de limiar incluem um número de efeitos adicionais (descrição da dopagem do canal não uniforme em ambas as direções: vertical e lateral); - Descrição mais realística do modelo da mobilidade que leva em conta os efeitos dos campos elétricos vertical e longitudinal; - É implementado principalmente um número de funções auxiliares no qual permitem a construção de uma única expressão da corrente de dreno que é valida para todas as regiões de operação e que também é continua e uniforme em todas as regiões de transição); - Foi implementado um modelo muito detalhado da condutância de saída, baseado no modelo λ dos modelos do nível 1 e 2; - A estrutura do modelo de cargas é virtualmente idêntica ao BSIM, mas também incluem funções auxiliares (permite funções continuas e uniformes para cada equação de carga de cada nó para todas as regiões de operação). Esta foi a melhoria mais importante deste modelo; - Os modelos do FET de terceira geração focam em endereçar os problemas de segunda geração e sua estrutura geralmente é muito similar ao de primeira ordem e são válidas para todas as geometrias; - Os modelos de terceira ordem contém uma pequena quantidade de parâmetros que se baseiam na física do dispositivo, com a intenção de fornecer uma melhor descrição do processo de fabricação e suas variações; 28 A característica mais comum de todos os modelos de terceira ordem é o extensivo uso de funções de suavização (smoothing), no qual garantem a continuidade das equações do modelo sobre todas as regiões de operação e essas equações são ligadas usando uma ou mais funções de suavização. As funções de suavização servem para reduzir as expressões de regiões separadas num limite apropriado, fornecendo uma região de transição bem comportada sobre as condições de contorno operacional. Desta forma, uma única equação é feita para ser válida em todas as regiões de operação de dispositivo (Ex: o modelo contém uma equação da corrente de dreno e uma equação de carga para cada nó); - Os modelos de terceira ordem são muito novos e não existem base de dados tanto da extração dos parâmetros desses modelos como o comportamento desses modelos quando empregados em simulações de CIs. Modelos SPICE MOS Modelo 9: - É outro modelo de terceira geração, desenvolvido pelo laboratório da Philips; - Estrutura do modelo é baseada na ideia desenvolvida num livro texto escrito pelos próprios membros desse grupo; - Introduz as famosas funções de suavização numérica dentro da estrutura do modelo, em que essas funções possuem dois propósitos: a) essas funções permitem equações de continuidade e suavização sobre os pontos de transição; b) o apropriado uso das funções de suavização permitem desenvolvimento de uma única equação do modelo que é válida em todas as regiões de operação. Levadas juntas, essas melhorias permitem que os modelos de terceira ordem forneçam uma descrição melhorada dos vários fenômenos de maneira mais eficiente nas simulações. 29 - Em contraste ao BSIM3 e vários outros modelos candidatos de terceira ordem, MOS Modelos 9 retém a abordagem dos modelos de segunda ordem para descrever a dependência da geometria com as características do modelo; - A forma do modelo mostra a clara influência de sua origem no modelagem dos dispositivos e simulações de aplicações industriais. Relativamente um número pequeno de equações são desenvolvidas e essas equações são muito claras e matematicamente simples. O número de parâmetros é relativamente pequeno; - Ainda não é possível dar a avaliação detalhada do comportamento de seu uso; - Essas características sugerem que o modelos são mais eficientes nas simulações de Cis e resultam simples extração de parâmetros; - MOS Modelo 9 é também algo único, como ele é o primeiro modelo SPICE de FET que não foi desenvolvido na Universidade da Califórnia/Berkeley. 30 Modelo SPICE Nível 2: - a descrição física é essencialmente aquela do capacitor MOS com um óxido de porta espesso e LAMBDA foi o único parâmetro que leva em conta os efeitos da geometria reduzida (aumento de Ids devido à modulação do comprimento do canal); - com reduções do óxido de porta e das dimensões dos dispositivos, e algumas correções na base do modelo, foi necessário um novo modelo SPICE que leva em consideração tais efeitos (Nível 2); - assume que as cargas, que é a carga de depleção, variam ao longo do comprimento do canal, resultando numa expressão mais complexa; - em canais curtos, a sobreposição da região de depleção induzida pela porta com as regiões de depleção de fonte e dreno tornam-se mais significantes, enquanto que em dispositivos mais estreitos, a região de depleção induzida pela porta espalha-se mais além das margens do canal; - Altos campos elétricos na porta e no dreno reduzem a mobilidade do canal e em dispositivos de canal curto, em adicional a modulação do comprimento do canal, a velocidade de saturação dos portadores reduz a tensão de saturação do seu valor clássico (Vdsat=Vgs-Vt).; Infelizmente, o nível 2 tornou-se matematicamente muito complexo. Isso torna o modelo mais ineficiente e com problemas de convergência, limitando seu uso e dando origem a um modelo semi-empírico mas computacionalmente mais eficiente (Nível 3); Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 31 Parâmetros do modelo SPICE nível 2 Parâmetros Unidade Descrição Parâmetros de Processo TPG m Tipo material de porta TOXm Espessura de óxido de porta LD m Redução do Comp. de Canal do valor da máscara WD m Redução da Larg. de Canal do valor da máscara Parâmetros Elétricos U0 cm2/V.s Mobilidade de campo elétrico baixo com zero de polarização VT0 V Tensão de limiar p/ L e W grandes, com VB=0 UCRIT V/cm Campo Vertical Crítico da Redução da Mobilidade UEXP - Expoente no modelo de mobilidade RS Ohm Resistência Série de Fonte RD Ohm Resistência Série de Dreno DELTA Efeito de canal estreito na tensão de limiar NSUB cm-3 Dopagem do Subs. Efetiva (Sensibilidade do Substrato) XJ m Correção do canal curto p/ a sensibilidade do substrato VMAX Velocidade dos portadores máxima NEFF Redução da carga de depleção fracional devido à modulação do comprimento do canal NFS cm-2 Parâmetros de ajuste da região de sub-limiar LAMBDA V-1 Modulação do comprimento do canal (condutância de saída) CGS0 F/m Capacitância de porta-fonte CGD0 F/m Capacitância de porta-dreno CGB0 F/m Capacitância de porta-substrato XQC Parâmetro de particionamento de cargas UTRA V-1 Efeito da polarização de dreno na redução da mobilidade devido ao campo elétrico vertical (implementação HSPICE ) 32 O modelo eletrostático da estrutura MOSFET: - Nível 1 emprega o modelo do capacitor MOS simples para a carga de depleção, desprezando qualquer efeito devido as regiões de depleção de fonte e ao dreno e de canal curto e estreito; - Nível 2 introduz os efeitos de geometrias pequenas dentro do modelo de cargas de depleção; - Os efeitos de canal curto e estreito podem ser estudados separadamente. O modelo de canal curto: O modelo de cargas de depleção básico para o FET ao longo do eixo do canal é mostrado abaixo: As junções de fonte e dreno introduzem as regiões de depleção dentro do corpo do transistor e existe a região de depleção induzida pela porta. Em dispositivos grandes, a região de depleção induzida pela porta não é fortemente afetada pela presença das regiões de depleção de fonte e dreno. Entretanto, quando o canal é reduzido, a carga de depleção total decresce devido a sobreposição da região de depleção induzida pela porta com as regiões de depleção de fonte e dreno. Para uma dada polarização de porta, este decréscimo na carga de depleção causa uma acréscimo na carga de inversão, quando o comprimento do canal decresce, isto tem o efeito de diminuir a tensao de limiar. 33 Para contabilizar este comportamento, o modelo de nível 2 emprega o modelo de cargas de depleção de Yau, como mostra a figura abaixo: Sobreposição das regiões de depleção Os triângulos da figura representam a porção das regiões de depleção sobrepostas induzida pela porta e pelas regiões de fonte e dreno. Leff Lt Região de depleção de formato trapezoidal Wd Xc Xj Xj+Wdd A B C Qdepl=qNsubWd (ausência das regiões de depleção de fonte e dreno); Em contraste a carga de depleção na região trapezoidal: Qdepl’=qNsubWd(Leff+Lt)/(2Leff)=fs.Qdepl ⎪ ⎭ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎩ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ ++ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ +−= 1 XJ W211 XJ W21 L2 XJ1f 2 1 dd2 1 ds eff s 34 Xcs Xcs A implementação do Nível 2 estende o modelo de Yau para incorporar o efeito da polarização de dreno diferente de zero de acordo com a figura ao lado. É também assumido no modelo original que a profundidade da junção a difusão lateral sob a porta como no nível 1. No entanto, neste modelo é introduzido um parâmetro separado, LD, para descrever a difusão lateral. XJ na realidade serve como um parâmetro de correção de canal curto com relação a polarização de substrato. Existe, entretanto, um sério problema inerente a essa abordagem, se as regiões de depleção de fonte e dreno tornam-se grandes, elas então se fundem, e o trapézio se torna um triângulo (isso não considerado neste modelo), limitando a utilização deste modelo. Efeitos de canal estreito: Em adicional ao decréscimo da carga de depleção total devido a sobreposição das regiões de depleção induzida pela porta e de fonte e dreno, a carga de depleção é também aumentada pelo espalhamento da região de depleção induzida pela porta para fora das margens do canal e sob a isolação. 35 Porta Óxido de Campo W Óxido de porta Óxido de Campo Nível 2 W Porta Óxido de Campo Óxido de Campo ( ) ( ) ( ) ( ) effox s n bsfn effox bsfs ox edge eff bsfs sub bsfs eff sub edge WC4 DELTAf V2f WC4 V2 C Q W V2 qN V22 W2 qNQ πε = −φ= −φπε δ= −φπε =⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ −φεπ = Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 36 A Carga de Depleção Total - Composta de três (3) parcelas, que são as cargas devido as junções de fonte e de dreno e as cargas devido ao capacitor MOS; - O termo da redução fracional (fs), que contabiliza a redução da carga de depleção total pela sobreposição das regiões de depleção induzida pela porta com as regiões de depleção de fonte e dreno, é determinada e multiplicada pela carga de depleção total; - Finalmente, a carga de depleção adicional devido às regiões de depleção que são espalhadas para fora das margens do canal é computada e adicionada a carga de depleção para dispositivos de canal curto. Combinando os efeitos de dispositivos de canal curto e estreito, o modelo de cargas de depleção para um MOSFET de dimensões reduzidas é: ( ) ( ) ( ) ( )Vbs2fVbs2fV2 WC4 DELTA V21 XJ Wdd11 XJ Wds1 L2 XJ1 Cox edge,Qdepl Cox eargl,Qdeplfs Cox small,Qdepl fn2 1 fsbsf effox s 2 1 bsf 2 1 2 1 eff −φ+−φγ=−φ πε + −φγ ⎟⎟ ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ ⎪ ⎭ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎩ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ ++ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ +− =+= 37 O modelo da tensão de limiar: =−φ−= ox depl Ffbt C Q 2VV ( ) 2 1 bsFFfb V22V −φγ−φ− - qualquer efeito devido a dopagem da não uniformidade do substrato é desprezada; - Para definir Vfb: * quando material de porta é polisilício com a mesma dopagem que a fonte e o dreno (polisilício n+ num nFET), TPG=1; * quando material de porta é polisilício com dopagem oposta a fonte e o dreno (polisilício n+ num pFET), TPG=-1; * quando material de porta é alumínio, TPG=0; - Desde que este modelo foi desenvolvido para uma estrutura de um capacitor MOS de três terminais ele não leva em conta os efeitos de canal estreito ou do terminal de dreno. Nos FETs de canal curto, o tamanho das regiões de depleção de fonte e dreno tornam-se importantes com respeito ao comprimento de canal, e a polarização de dreno interpreta não leva em consideração a aproximação de canal gradual; ( ) ( ) ( )bsfn2 1 bsfs ox depl 2 1 bsf ox depl V2fV2f C Q V2 C Q −φ+−φγ=⇒−φγ= ( ) ( )bsfn2 1 bsfsffbt V2fV2f2VV −φ+−φγ+φ+= 38 Para MOSFETs de canal longo e largos, fs=1 e fn=0, a tensão de limiar é dada por: ( )2 1 fffb 22V0VT φγ+φ+= - VT0 nunca aparece explicitamente em qualquer dos modelos do nível 2; - a tensão de limiar é computada usando a expressão acima; - φf é determinado através do parâmetro de dopagem do substrato NSUB; - Vfb é computado como descrito anteriormente; - Isso está em contraste às simulações no nível 3, onde VT0 apareceno modelo da mobilidade; - neste modelo, todos os efeitos da polarização de dreno na tensão de limiar estão descritas para o sombreamento das cargas, entretanto, a redução da tensão de limiar devido ao abaixamento da barreira de potencial induzida pelo dreno (DIBL) é desprezada. Isto não é uma boa aproximação nos modernos MOSFETs de canal curto. O modelo de mobilidade: - no modelo do nível 1, a mobilidade do canal é tratada como uma constante. Nos MOSFETs de canal curto com espessura de oxido espesso, isto e uma boa aproximação; - foi observado por Leistiko que quando o campo elétrico normal na superfície de silício excede 6x104 V/cm, a mobilidade começa a decrescer; - Frohman-Bentchkowsky sugerem o modelo da mobilidade no qual a mobilidade da superfície µs é igual a µo somente quando o campo vertical é menor que 6x104 V/cm. 39 Quando o campo da superfície excede este valor, a mobilidade é computada como: C s crit os E E ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ µ=µ onde C é uma constante empírica (0,15 típico); ( )dsdtgsox ox ox ox ssioxox VUVVV t VE EE −−= = ε=ε (relação da continuidade na interface óxido-silício) (diretamente computada da tensão de porta, da tensão de limiar e da média da tensão de dreno ao longo do canal pela introdução do parâmetro Ud). ( ) C dsdtgs crit ox si os V.UVV E C ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ −− ε µ=µ somente válido para Es>Ecrit Ecrit, Ud e C levam em conta os efeitos do campo vertical fortes. ( ) UEXP dstgsox si s V.UTRAVV UCRIT C 0U ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ −− ε =µ Expressão usada no HSPICE nível 2. 40 O parâmetro UTRA pode causar resistência negativa para polarizações de dreno fracamente maiores do que a tensão de saturação, que podem causar problemas de convergência durante simulações de circuitos. SPICE da Berkeley do modelo de nível 2 nunca codificou o parâmetro UTRA, resultando na expressão da mobilidade: ( ) UEXP tgsox si s VV UCRIT C 0U ⎟ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎜ ⎝ ⎛ − ε =µ Este modelo não inclui os efeitos do campo lateral fortes na mobilidade, que limitou a utilização do modelo nível 2. Equações da corrente de dreno: O desenvolvimento da corrente de dreno principal usa algumas abordagens matemáticas como aquelas empregas no modelo nível 1. Entretanto, uma abordagem mais complexa para a computação da carga de depleção em dispositivos de pequenas dimensões. - Corrente de dreno abaixo do limiar: com os efeitos de pequenas dimensões adicionados, uma simples forma da carga de depleção é dada por: [ ] ( )yf)y(qN2f)y(Q sn2 1 ssubssdepl φ+φε= onde: bsfs V2)y(V)y( −φ+=φ 41 A carga total na superfície: { }bsFfbgboxs V2)y(VVVC)y(Q +φ−−−−= [ ] [ ] )Vbs2)y(V(f )Vbs2)y(V(qN2f2)y(VVVC)y(Q )y(Q)y(Q)y(Q fn 2 1 fsubssFfbgsoxinv depsinv −φ+− −φ+ε−φ−−−−= −= )y(QW dyI)y(dV inveff DS µ −= ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ−−φ+− µ = bsf 2 ds n 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 dsFfbgs eff oxeff ds V2 2 V(f V2)V2V(f 3 2 2 VdsV))2V(V( L CWI ( )( ) ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− +−−φ+φ+− µ = 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 bsfnffbgs eff oxeff ds V2)V2V(f 3 2 2 Vdsfn1V2f)2V(V L CWI Efeito de canal curto Efeito de canal estreito 42 Estrangulamento do canal (pinch-off) / Tensão de Saturação: A computação do nível 2 da tensão de estrangulamento Vdsat emprega a abordagem usada no nível 1, com a modificação de inclusão do modelo de cargas de depleção estendida. Para Vds=Vdsat, a carga de inversão entre o dreno e o final do canal Qinv(Leff), para alguns graus de aproximação, torna-se igual a zero. Examinando a expressão abaixo )y(QW dyI)y(dV inveff DS µ −= verifica-se que esta definição é insatisfatória. Se Qinv(y)→0, o campo lateral Ey e a velocidade dos portadores torna-se infinita. O nível 2 fornece a correção para a situação no qual é descrita abaixo: Primeiros princípios da Computação : [ ]Fyfbgsoxsurf depsurfinvdepinvsurf 2)y(VVVCQ QQQQQQ φ−−−−= −=⇒+= Onde Vy(y) é a tensão lateral para um ponto ao longo do canal devido a polarização de Vds. A carga de depleção é dada abaixo, levando-se em conta o campo lateral devido a Vds: ( ) ( )⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ +−φ++−φγ= )x(VV2f)x(VV2fCQ xbsfn2 1 xbsfsoxdepl Aqui o objetivo é computar Qinv(y) para y=Leff, a carga de inversão para o final do canal, quando Vds=Vdsat . Assim, Vy(y) for substituído por Vdsat, tem-se: 43 ( )( ) ( )( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ −φ+ + −φ+φ+− ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ γ + + ±⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ + γ + + −φ+φ+− = 2 1 bsf n bsfnffbgs 2 s n 2 n s n bsfnffbgs V2 f1 V2f2VV f f141 1 f1 f 2 1 f1 V2f2VV Vdsat Se os efeitos de canal curto e estreito são desprezados (fs→1 e fn→0), vem: ( ) ( ) ( )( ) ⎪ ⎪ ⎭ ⎪⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+φ+−⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ γ +±γ+φ+−= 2 1 bsfffbgs 2 2 ffbgsdsat V22VV 1411 2 12VVV ( ) ( ) ( ) ( )tlgsdsat ffbtl 2 1 bsfbgs 2 22 1 bsftlgsdsat VVV 2VV VVV211 2 1V2VVV −= φ+= ⎪ ⎪ ⎭ ⎪⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −−⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ γ +±γ+−φγ+−= Onde Vtl é a tensão de limiar com fs→1 e fn→0. Note que o sinal de + causa aumento em todos os termos da expressão acima, aumentando Vdsat, então: 44 Computação do campo elétrico crítico especificado : se o campo crítico Ecrit,l é especificado, mas VMAX (velocidade máxima dos portadores) não é especificado, então a tensão de saturação (V’dsat) é computada usando um método fracamente diferente. Uma simples expressão para corrente de saturação pode ser escrita: )L(QWvI effinveffsatdsat = Onde Qinv(Leff) é a densidade de carga de inversão bidimensional no ponto do estrangulamento que multiplicando pela largura de canal efetiva (Weff) da a corrente resultante. A velocidade de saturação pode ser descrita pelo modelo da velocidade de portadores proposta por Caughey e Thomas: l,crit y y E E 1 E v + µ = onde Ey é o campo lateral no canal e Ecrit,l (ECRIT) é o campo critico para o ponto que se alcança a velocidade de saturação. Pode-se verificar que para um campo lateral baixo (Ey<<Ecrit,l), a expressão ao lado se reduz a uma expressão ôhmica simples v=µEy, enquanto para Ey >> Ecrit,l tem-se v= µEcrit,l. ( )( ) ( )( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ −φ+ + −φ+φ+− ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ γ + + −⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ + γ + + −φ+φ+− = 2 1 bsf n bsfnffbgs 2 s n 2 n s n bsfnffbgs V2 f1 V2f2VV f f141 1 f1 f 2 1 f1 V2f2VV Vdsat 45 Neste modelo, a tensão de saturação é diretamente conectado com a velocidade de saturação: eff dsat y L 'VE = eff crit l,crit L VECRITE == A corrente de saturação também pode ser expressa pela substituição de Vds por V’dsat: effcrit 2 12 crit 2 dsatcritdsatdsat L.ECRITV )VV(VV'V = +−+= ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− −φ+− µ = dsatbsf 2 dsat n 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 dsat dsatFfbgs eff oxeff dsat 'VV2 2 'V(f V2)V2'V(f 3 2 2 'V'V))2V(V( L CWI 46 Computação com a velocidade de saturação especificada : embora o uso de um campo crítico para descrever a velocidade de saturação e assim a tensão de saturação é extremamente fundamental, em pratica ele é algo difícil de especificar um valor de Ecrit,l (ECRIT). Uma abordagem alternativa é tratar vsat como um parâmetro para ser extraído. VMAX )L(QW Iv effinveff dsat sat == ( ) ( ) [ ] ( )[ ] ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ +−φ+ +−φγ− −φ−−− ÷ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− −φ+− µ= dsatbsfn 2 1 dsatbsfs dsatFfbgs dsatbsf 2 dsat n 2 3 bsf2 3 bsfdsats 2 dsatFfbgs 'VV2f 'VV2f )'V2VV( 'VV2 2 'V(f V2)V2'V(f 3 2 2 dsat'V'V))2V(V( VMAX Por definição: 2 1 bsfdsat )V2'V(x −φ+= A equação de VMAX pode ser reescrita como um polinômio de ordem 4: x4+ax3+bx2+cx+d=0. Desde que existem quatro raízes no plano complexo, podem existir 4, 2 ou nenhuma solução real para V’sat. Desde que somente um valor real para V’sat é usado, o menor valor positivo é escolhido (a velocidade de saturação dos portadores serve para reduzir a tensão de saturação. Se não existir nenhuma raiz real é usada a seguinte equação já estudada: 47 ( )( ) ( )( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ −φ+ + −φ+φ+− ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ γ + + −⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ + γ + + −φ+φ+− = 2 1 bsf n bsfnffbgs 2 s n 2 n s n bsfnffbgs V2 f1 V2f2VV f f141 1 f1 f 2 1 f1 V2f2VV Vdsat Comentários na computação da tensão de saturação: o método mais comum empregado das características da saturação é através da extração de VMAX (terceiro método mais utilizado). Este método é tão complicado que não é completamente explicado por Berkeley e HSPICE. A abordagem matemática é ineficiente. Esta é a maior limitação do nível 2 na simulação de circuitos. Além disso, equações polinomiais de ordem superior são problemáticas e frequentemente causam problemas de convergência. Resultados obtidos com simulação nível 2 não são bons quando se considera dispositivos de canal curto. Modulação do comprimento de canal: O uso da tensão de saturação tem o efeito de cravar a corrente de dreno Ids no valor de Idsat para Vds=Vdsat. Para valores grandes de Vds, o modelo permite Ids a ser incrementado muito fracamente, devido a presença do parâmetro de cargas compartilhadas fs. Entretanto, a corrente de dreno nos desportivos de canal curto tendem a aumentar mais substancialmente quando Vds aumenta acima de Vdsat. Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 48 S D n+ n+ Substrato-p S D n+ n+ G G Vds1 Vds2> Vds1 pinch-off Quando Vds=Vdsat⇒Ey=Vdsat/Leff Quando Vds>>Vdsat⇒Ey=Vdsat/(Leff-L’) Assim, quando Vds aumenta, aumenta L’, isto faz aumentar o campo lateral Ey e faz Ids aumentar. L’ ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− −φ+− − µ = dsatbsf 2 dsat n 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 dsat dsatFfbgs eff oxeff dsat 'VV2 2 'V(f V2)V2'V(f 3 2 2 'V'V))2V(V( 'LL CWI O método Lambda modificado: O nível 2 fornece varias opções para contabilizar esse fenômeno. A versão mais simples é a “λ-modificado” usado no nível 1. Para propósito ilustrativo, a solução para L’ será derivada usando as equações do nível 1. O resultado no nível 2 será exatamente o mesmo que o nível 1. 49 ( ) ( )[ ]2gs eff oxeff ds VtV'LL2 CWI − − µ =( ) ( )ds2gs eff oxeff ds V1VtVL2 CWI λ+−µ= ds effds V1 LV'L λ− λ = Desde que λVds<<1: effdseffds L.V.LAMBDAL.V.'L =λ= Na mais simples abordagem, o nível 2 contabiliza a modulação do comprimento do canal da mesma forma que a empregada no nível 1. Entretanto note que para Vds=Vdsat, L’ não é igual a zero, no qual não é o resultado esperado das discussões anteriores. Isto indica que este método pode ser trabalhável mas não preciso fisicamente. Se λ não é especificado, o modelo do nível 2 é calculado pela fórmula: effdsLV 'LBDALAM = Reddi e Sah considera somente o campo lateral sobre a região de carga espacial (depleção total): ( ) 2 1 Si D2 1 dsatdsD yp dsatds qNSUB 2x;VVx'L; E VV'L ⎟⎟ ⎠ ⎞ ⎜⎜ ⎝ ⎛ ε =−= − = Note aqui que quando Vds=Vsat: L’=0, como esperado. 50 Este modelo tem suas falhas, pois despreza as linhas de campo (franjas) entre os eletrodos de porta e dreno. Franjas de campo Campo normal Estrangulamento Camada de Inversão O nível 2 basicamente incorpora o modelo de Reddi-Sah, porém ele causa descontinuidade na equação da corrente de dreno para Vds=Vsat e em sua primeira derivada no ponto de transição entre as regiões de triodo e saturação. Para resolver isso, foi usado uma expressão parecida de L’: 2 1 2 1 2 dsatdsdsatds D 4 VV1 4 VVx'L ⎪ ⎪ ⎭ ⎪⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ ⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ − ++ − = (solução não realística fisicamente, L≠0, para Vds=Vdsat) Um método semi-empírico melhorado: também é permitido no nível 2. Emprega uma expressão derivada para L’ proposto por Baum e Beneking, no qual leva em conta um modelo unidimensional da equação de Poisson que considera a densidade de carga espacial na região de estrangulamento igual a qNsub. ( ) eff dsat eff dsat S sat 2 1 dsatds 2 sat L V 'LL VEsat; 2 qNSUBa; a2 E a VV a2 E'L = − = ε =− ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ − +⎟ ⎠ ⎞ ⎜ ⎝ ⎛ = 51 Esat é menor do que ele deveria ser quando Vds=Vdsat e não mais depende de Vds (através da mudança de L’ com Vds). Este problema é corrigido por fazer uma alteração semi-empírica através da introdução do parâmetro Neff (razão entre a carga de depleção real e a esperada). S2 NSUB.NEFF.qa ε = Usada também no modelo nível 3. A maior falha deste modelo é que L’ pode tornar-se maior do Leff (Leff <0, fisicamente impossível, mas inclui um método matemático para prevenir que L’ exceda Leff). A versão do SPICE de Berkeley usa um esquema baseado na figura abaixo: WB Lmax Leff O termo WB é a margem da região de depleção de dreno na polarização zero (a região de depleção de fonte é desprezada), permitindo a definição de Lmax (comprimento de canal máximo): Lmax=Leff-WB qNSUB PB2W SiB ε = Se o comprimento da camada de inversão L’eff=Leff-L’ torna- se menor que WB, L’eff: B max B eff' W L'L1 WL − + = 52 O maior valor que L’ pode assumir é Leff e o mínimo valor possível para L’eff é WB/2. No HSPICE tem-se algo semelhante. Resistência serie entre fonte e dreno: a equação da corrente de dreno do nível 2 foi derivada assumindo a condutância do canal representa a maior resistência do caminho entre fonte e dreno. Entretanto, em FETs de comprimento de canal menores, a resistência de fonte e dreno torna-se significante quando comparado com a resistência do canal. É usado uma abordagem simples: S D Substrato-p G Vds1 RS RD RCanal Rtotal=Rcanal+RS+RD, reduz a tensão sobre o canal, reduzindo a corrente de dreno. Desde que a resistência elétrica é inversamente proporcional a largura do canal, este efeito é praticamente desprezível. O modelo de corrente de sub-limiar: No nível 1, a corrente de dreno é zero para qualquer polarização de porta menor que a tensão de limiar e qualquer corrente de sub-limiar é desprezada. ( ) TnK VV q onds b ongs e.II − = Ion: corrente de dreno para Vgs=Von (tensão de limiar modificada). Quando Vgs decresce abaixo de Von, a corrente de dreno decresce exponencialmente. A introdução de Von é uma tentativa de fazer uma ponte entre o intervalo da região que está completamente ligado o dispositivo (dominada pela corrente de drift – campo elétrico) e a região de sub-limiar (dominada pela corrente de difusão). Existe uma região de polarização de porta onde nenhum mecanismo domina, no qual complica a modelagem analítico. 53 O termo Von é usado nesta região para manter a continuidade da corrente nos contornos das regiões de condução do sub-limiar e do super-limiar. ox depl ox b ton C C C NFS.q1n q TnKVV ++= += n é similar ao fator de idealidade do diodo e definido por: ; onde NFS é a densidade de estados de interface rápida. Qualquer variação no comportamento de sub-limiar é atribuído a este parâmetro (gera valores não realísticos). NFS é um parâmetro de ajustepuramente empírico. Um outro problema, é que NFS não tem nenhuma dependência com as polarizações de dreno, substrato e temperatura, limitando seu uso. ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ −φ−−φγ ++= ⎥ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ −φ−−φγ = ∂ ∂ = bsf bsfn2 1 bsfs oxox bsf bsfn2 1 bsfs oxbs depl oxox dep V22 V2fV2f C 1 C qNFS1n V22 V2fV2f C 1 V Q C 1 C C Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices 54 Para Vgs=Von ⇒ Ids=Ion. Na região linear: ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− −φ+− µ = dsbsf 2 ds n 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 ds dsFfbon eff oxeff on VV2 2 V(f V2)V2V(f 3 2 2 VV))2V(V( L CWI Na região de saturação: Substituindo-se Vgs=Von tem-se: ( ) ( ) ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎭ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎬ ⎫ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎩ ⎪ ⎪ ⎪ ⎪ ⎨ ⎧ ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −φ+− ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎣ ⎡ −φ−−φ+γ− −φ+− − µ = dsatbsf 2 dsat n 2 3 bsf2 3 bsfdss 2 dsat dsatFfbon eff oxeff on 'VV2 2 'V(f V2)V2V(f 3 2 2 'V'V))2V(V( 'LL CWI 55 Note que quando Ion é substituído na expressão ( ) TnK VV q onds b ongs e.II − = Ion é constante para todos os valores de polarização de porta, quando Vgs<Von. Note que Ids é contínua para Vgs=Von, mas a primeira derivada não é neste ponto. Isto pode causar problemas de convergência durante a simulação de circuitos. Finalmente, note que o uso de Von define qual das equações da corrente Ids será usada. O modelo de cargas: entre os modelos de FET, o modelo do nível 2 é único em que o modelo de corrente não é usado para derivar o modelo de cargas do nó. Devido a complexidade do modelo de cargas e consequentemente da computação envolvida, o simples modelo de cargas do nível 1 é usado. Em todos os casos, a condição da neutralidade das cargas: QGATE+QINV+QDEPL=0 deve ser satisfeita. Cargas por unidade de área. Região Linear: ( ) 21bsFoxeffeffDEPL V2CLWQ −φγ= ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 21bsFoxeffeff2 tgs 2 tgd 3 tgs 3 tgdoxeffeff PORTA V2CLW VVVV VVVV 3 CLW2Q −φγ− ⎥ ⎥ ⎦ ⎤ ⎢ ⎢ ⎣ ⎡ −−− −−− = Região de Saturação: ( ) DEPLtgsoxeffeffPORTA QVV3 CLW2Q −−= 56 Região de Sub-limiar: nesta região, a carga de inversão QINV é desprezível e é feito igual a zero. ( ) DEPLPORTA 2 1 bsSoxeffeffDEPL QQ VCLWQ −= −φγ= Centro Universitário da FEI Fundação Educacional Inaciana Pe. Sabóia de Medeiros IED Integrated Electronics Devices Particionamento de cargas: Modelo nível 1: considera Cgd=Cdg (reciprocidade) e considera somente as cargas da porta. Método computacional eficiente para circuitos digitais, porém ineficiente para circuitos analógicos quando se estuda o transiente, pois a neutralidade das cargas não é mantida (inabilidade da conservação das cargas); Modelo nível 2: usa o modelo de Ward-Dutton, trata as capacitâncias como não recíprocas (Cgd≠Cdg) e usa a carga para a descrição desta situação, perdendo a eficiência computacional; ( ) 5.0XQC4,0 Q.XQC1Q Q.XQCQ invS invD ≤≤ −= = Obs: Pode-se selecionar o modelo do nível 1 ou do nível 2.
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